技术编号：9889973
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 平面式薄膜晶体管具有易与电路整合之优点，因而被广泛应用于电路中。然而，平 面式薄膜晶体管会占据较多的基板表面区域，使得电路的密集度无法提升。此外，在液晶显 示器领域中，随着画面日益精细，其单一画素之面积也越来越小，致使现有的平面式薄膜薄 膜晶体管所占据画素面积之比例越来越大，此则造成了开口率下降，对比度不高之问题。 因此，为了克服平面式薄膜晶体管的面积限制，有人提出了垂直型薄膜晶体管。然 而制造垂直型薄膜晶体管的方法因为其需复杂的多道光罩制程，因此并不适...
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