碳纳米管薄膜晶体管及其制作方法技术资料下载

技术编号:9889976

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碳纳米管以其优异的电学性能和稳定性而被认为是后摩尔定律时代最有前途的材料之一。本征的碳纳米管为2/3的半导体性和1/3的金属性,而金属性的碳纳米管限制了其作为晶体管沟道材料的应用范围。近年来,基于溶液分离提纯技术制作而成的网络状碳纳米管薄膜晶体管受到越来越多的重视,这是因为溶液分离提纯技术可以制备出99%乃至99.9%的高半导体性的碳纳米管,而网络状碳纳米管薄膜晶体管由于载流子从源极到漏极需要经过多根碳纳米管的传输,因而有可能克服金属性碳纳米管对晶体管电流...
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