全背场扩散n型硅基电池及其制备方法技术资料下载

技术编号:9889994

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目前,在太阳电池效率市场要求越来越高的形势下,N型电池作为高效电池的重要 解决切入点,越来越受到重视和普及。 N型电池较常规电池主要优势是可W大幅提高电池体寿命,由于没有B-0复合的影 响,光致衰减可W忽略不计。目前国内普遍采用BBr3液态源管式扩散方法,由于液态源管式 扩散法有如下通病1,由于管式气流基本为炉尾进气,因此各个溫区的方阻情况容易产生 差异,影响产线质量管控;2,管式扩散的片间距的问题,导致娃片中屯、和边缘的棚源沉积量 有较大差异,从而导致...
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