热电发生器的制造方法技术资料下载

技术编号:9890042

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集成的热电发生器装置通常包括串联耦合的小型化垂直热电偶并且使用诸如碲化铋(Bi2Te3)之类的传统热电材料。然而,这些发生器的垂直结构和通常的热电材料倾向于与传统的CMOS制造方法不兼容。发明内容根据一个实施例,一种热电发生器具有与集成制造和与CMOS制造工艺兼容的结构。根据一个实施例,提供了一种热电发生器,其有源元件具有基本上平面的结构,并且其架构允许热通量在有源元件的平面内再分布。根据另一实施例,提供了一种热电发生器,其有源元件通过声子工程设计而被构造...
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