氮化镓自立基板、发光元件及它们的制造方法技术资料下载

技术编号:9893223

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作为使用单晶基板的发光二极管(LED)等发光元件,已知在蓝宝石(α-氧化铝单 晶)上形成了各种氮化镓(GaN)层的发光元件。例如,已经开始批量生产具有在蓝宝石基板 上依次层叠 η型GaN层、多量子阱层(MQW)、以及p型GaN层而形成的结构的产品,所述多量子 阱层(MQW)是包含InGaN层的量子阱层和包含GaN层的势皇层交替层叠而成的。另外,还提出 了适合这样的用途的层叠基板。例如,专利文献1(日本特开2012 -184144号公报)中,提出 了一种氮...
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