电荷耦合元件及其制造方法、以及固体摄像装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9893732

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现有技术中,已知有多种将所入射的能量线转换为电荷的固体摄像元件(参照专利文献I?3)。尤其是,在医疗领域等中的电荷耦合元件中,要求像素尺寸较大者。这是因为,若使用较大尺寸的像素,则能够减少电荷的传送次数。专利文献I日本专利文献特开2004-303982号公报专利文献2日本专利文献特开2012-151364号公报专利文献3日本专利文献特开平6-283704号公报发明内容然而,在电荷親合元件中,利用称为边缘电场(fringing electric field)...
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