一种超精密低速滚珠丝杠直线进给装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9900061

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超精密加工技术作为现代高科技发展的重要支撑,是衡量一个国家科技水平的重要标志,在IC制造、航天航空与核武器制造等领域发挥着极为重要的作用。随着航空航天、高精密仪器仪表、惯导平台、光学和激光等技术的迅速发展和多领域的广泛应用,对各种高精度复杂零件、光学零件、高精度平面、曲面和复杂形状的加工需求日益迫切。金刚石飞切机床是加工光学零件的重要装备,其在加工面形精度及表面粗糙度要求很高的零件时(如KDP晶体),需要直线进给装置不仅定位精度高,而且在大行程微动运行过程...
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