技术编号：9902231
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。自2004年石墨烯被发现以来，纳米材料与器件领域进入一个高速发展的阶段。人们从理论以及实验研究中发现，随着材料尺度的减小，其受到表面效应、体积效应和量子尺寸效应的影响显影增大，会产生出新奇的量子物理效应。由纳米材料制备的样品尺寸大约在I微米至100微米左右，对纳米器件进行微纳加工的精确度提出了苛刻要求。因此，需要高精度的微纳加工技术制备器件以研究材料与器件的新的物理特性。目前对1-100微米左右的纳米材料进行微纳器件加工的方法主要有紫外光刻和电子束曝光，这...
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