技术编号：9902359
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 在鹤的氣化物中，WFs是唯一稳定并被工业化生产的品种。它的主要用途是在电子 工业中作为金属鹤化学气相沉积(CVD)工艺的原材料，特别是用它制成的WSi2可用作大规 模集成电路化SI)中的配线材料。通过混合金属的CVD工艺制得鹤和鍊的复合涂层，可用于X 一射线的发射电极和太阳能吸收器的制造。此外，WFs在电子行业中还主要用作半导体电极 和导电浆糊等的原材料。 WFs还有许多非电子方面的应用，例如通过CVD技术使鹤在钢的表面上生成坚硬的 碳化鹤可用来改善钢的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。