技术编号：9905324
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 类金刚石涂层(Diamond Like Carbon-化C)近些年来被真空锻膜界愈发重视，它 具有超低的干摩擦系数、高硬度、耐腐蚀、高电阻率等诸多特性，制备的方法很多，包括磁控 瓣射、多弧离子锻、PIID等多种工艺。类金刚石涂层包括含氨的和不含氨的两种，含氨的一 般使用化学气相沉积技术制备，不含氨的一般采用物理气相沉积技术制备。 在工业化制备类金刚石涂层时，由于各种意外因素的存在，如前处理不当、人员操 作不当、设备故障等因素可能会造成类金刚石涂层掉膜W及...
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