技术编号：9907885
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。常见使用于显示器的玻璃基板，其于显示器制造中某些制程，如曝光、涂布、测长、贴合制程等，会因玻璃基板本身的温度不正确或是温度不均，使得基板产生热胀冷缩现象而产生尺寸偏差、导致制程良率下降的问题。因此于前述对于温度变化较敏感的制程，会特别关切玻璃基板本身的均温性以及温度正确性，常见显示器制程设定温度为23°C ;且要求于上述制程中，玻璃本身的温度误差需控制在±0.2或±0.1°C以内；目前对玻璃均温习用的作法为对玻璃本身吹送一经过温控的清净空气，此空气对基板的...
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