技术编号:9908528
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及激光精密测量,尤其涉及一种组合式反射镜光栅外差干涉的 滚转角测量装置及方法。背景技术 精密导轨运动副是现代精密工程的关键共性运动部件,广泛应用于同步辐射、数 控机床、航天军工等高科。所有导轨运动副都存在3个自由度的转角误差即俯仰 角、偏摆角和滚转角。滚转角测量是误差补偿、精度改善的前提和基础,也是精密基准计量 和几何量测量的关键技术之一。相对于前两者,现有滚转角测量方法或仪器难以满足高精 度的测量需求,如同步辐射面形检测中导轨滚转角要求2〃范围...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。