微小型中红外光波导气体传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:9908981

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随着我国工业化进程的推进和人民生活水平的提高,工业废气、汽车尾气等的超标排放,严重污染了地球的大气环境,温室效应、酸雨、臭氧层破坏、灰霾和光化学烟雾等大气污染问题频发,大气环境的破坏直接影响着人类的生存和发展,大气环境形势日趋严峻。因此,对大气环境进行监测的具有重大的意义。传统的环境监测方法存在成本高、效率低等问题。现阶段气体传感器检测系统过于庞大,灵敏度相对不高,不易于集成化,由于光波导本身其具有的高抗电磁干扰、高灵敏度等优点,因而是提高气体传感器灵敏度...
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