技术编号:9909373
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前大多数压阻式加速度传感器的标定与检测都很困难,需要在离心机或振动台上进行,通常只能在封装成模块产品以后利用测试台做模块级的检测。一旦出现加速度传感器失效,那么损失的不仅包括加速度传感器,还包括模块的封装成本以及模块内集成的其他器件,例如控制1C。因此产业界急需一种可以进行晶圆级的测试、标定的加速度传感器,在封装成模块之前就剔除不良产品,降低由于加速度传感器失效造成的成本损失。中国专利文献CN10275936A采用两次硅-硅键合技术实现加速度传感器的制造...
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