一种基于模式耦合的太赫兹调制器的制造方法技术资料下载

技术编号:9909934

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太赫兹调制器作为太赫兹无线通信系统的核心器件,成为近年来太赫兹动态器件领域的研究热点。太赫兹调制器可通过人工微结构与半导体材料相结合构成,通常是在半导体材料衬底上光刻一层人工微结构金属薄膜,在温度、光照以及电压激励条件下实现对太赫兹波的动态控制。该方案充分利用了人工微结构的频率响应特性和半导体材料的动态特性,是一种复合型结构方案。该方案所制备的太赫兹调制器虽然具备使用灵活方便、实现方式简单等优点,但同时也存在一些不足之处。首先,目前国内外采用的复合结构中的...
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