技术编号：9914282
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。集成电路芯片制造是一个十分复杂的过程，完成一种芯片的制造可能需要花费几周时间和经历数百道工序。由于半导体相关科技发展已经趋于物理现象极限，客户的要求亦日趋多样化，使得半导体工艺的弹性和复杂程度变得越来越高，稍有差错就会使公司发生很大损失，因此信息自动化技术被大量的引入到半导体制造工厂中。信息自动化可以大大提高设备的管理水平、进行工艺数据的收集和统计工艺控制、保证物流控制更加顺利，同时还可以提高工艺方案(recipe)的管理水平，减少误操作和返工的现象，这些...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。