半导体装置及制造所述半导体装置的方法技术资料下载

技术编号:9916736

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日本专利申请公开第2013-48230号(JP2013-48230A)公开了形成有IGBT和二极管的半导体装置。半导体装置的IGBT包括势皇区和柱区。势皇区是具有高η型杂质浓度的η型区,并形成在体区的下侧上。柱区从半导体基板的顶表面延伸到势皇区。在半导体装置中,IGBT的体区(P型)和IGBT的势皇区(η型)形成ρη结。使得ρη结难以通过柱区导通。即,由于势皇区经由柱区连接到上部电极,所述势皇区的电位接近上部电极的电位。即使当使得上部电极变成比下部电极高的...
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