技术编号：9922804
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。离子源装置是离子注入设备的核心部件之一，作为产生束流的部件，其性能的优劣对离子注入的效果有着至关重要的影响。倘若前端离子源中引出的束流是不理想的(例如在束流高度方向上不均匀、束流高度较低等)，那么下游束流传输系统的压力就会比较大，需要将不理想形态的束流校正至理想注入条件。反之，若前端引出的束流就较为理想，那么对下游束流传输系统的要求就降低了，也比较容易达到理想的注入条件，更有利于形成高质量的束流。根据注入离子种类的不同，离子源装置的原料也会不同。例如，在太...
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