技术编号:9922824
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。半导体集成电路(integrated circuit,IC)工业已经历快速增长。集成电路设计和材料的技术进步已生产多代集成电路,其中各代集成电路具有比上代更小且更复杂的电路。在集成电路演变过程中,大体功能密度(亦即,单位芯片面积互连装置的数目)已增加,同时几何尺寸(亦即,可使用工艺形成的最小元件(或接线))已缩减。降低元件尺寸具有增加生产效率及降低成本等益处,但降低元件尺寸亦增加集成电路处理及制造的复杂度。为使元件尺寸得以降低,集成电路的制造与工艺亦需要相...
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