技术编号:9924177
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。微机电系统(“MEMS”,此后称为“MEMS”器件)被广泛用于各种应用中。例如,当前普遍实现MEMS器件作为传声器来将声频信号转换为电信号、作为陀螺仪来检测飞行器的俯仰角、以及作为加速度计来选择性地展开汽车中的气囊。用简化的术语讲,这种MEMS器件典型地具有悬挂在基板上的可动结构,以及关联电路,该关联电路感知悬挂结构的运动并将感知到的运动数据传送至一个或更多外部器件(例如,外部计算机)。外部器件处理感知数据以计算出被测量的特征(例如,俯仰角或加速度)。ME...
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