惯性传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:9925194

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惯性传感器用于采集加速度和角速度。在此,存在的趋势是,惯性传感器布置在越来越小的壳中。DE 10 2010 029 709 Al描述了微机电的结构元件。发明内容在这样的背景下,利用这里介绍的原理介绍了按照主权利要求的惯性传感器。有利的设计方案由各从属权利要求和接下来的说明得出。不同类型的惯性传感器元件能够在不同的频率范围中运行。在不同的频率范围中,用于惯性传感器元件的不同的紧固类型具有不同的缓冲特性。有利地,能够在带有多个不同的传感器元件的惯性传感器中如此...
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