技术编号：9925246
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。专利说明用于EUV投射光刻的照明光学装置以及照明系统德国专利申请102013 218 131.0的内容通过参考引用包含在本发明中。本发明涉及一种用于EUV(极紫外光)投射光刻的照明光学装置。本发明还涉及一种尤其具有这种照明光学装置的用于EUV投射光刻的照明系统。本发明还涉及一种具有这种照明光学装置的光学系统、用于使用在这种照明光学装置、这种光学系统或者这种照明系统中的光瞳分面反射镜、一种具有这种照明系统的投射曝光设备、一种用于微米结构化或纳米结构化的元件的...
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