技术编号：9930372
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关于一种离子源，特别是有关于一种具有蒸发器(vaporizer)的离子源，此蒸发器使用温度调整机构使欲蒸发材料的温度不再仅由邻近电弧室(arc chamber)的热决定，特别有关于一种具有由稀土元素构成的斥拒极(repel ler)的离子源。背景技术离子布植对于现代组件制造技术，例如半导体组件制造或平面面板制造而言，是必须但昂贵的制造工艺。离子布植主要是用于将化学活跃材料物掺杂-引入至例如通常是硅的半导体材料的工作件内。在多数的情况下并无可替代离子...
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