技术编号：9930505
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。金属-半导体(M-S)结是由金属和半导体接触形成的，金属-半导体接触产生两个最重要的效应整流效应和欧姆效应。利用金属-半导体整流接触特性制成的二极管称为肖特基势皇二极管，它和PN结二极管具有类似的电流-电压关系，即它们都有单向导电性。传统的肖特基二极管通常设计为平面型，因为这种结构的制造工艺简单，一般只需要有源区和金属层光刻，其缺点是电流密度低，器件耐压不高，管芯面积大，不利于集成。现有技术中三种常见的肖特基势皇二极管结构如下在图1(a)中，形成在N+硅衬...
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