技术编号：9932586
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 光刻设备是一种将所需图案应用到衬底的目标部分上的机器。例如，可W将光刻 设备用在集成电路（IC)的制造中。在运种情况下，可W将可选地称为掩模或掩模版的图案 形成装置用于生成与所述IC的单层相对应的电路图案，并且可W将该图案成像到衬底(例 如，娃晶片)上的目标部分(例如，包括一部分管忍、一个或多个管忍)上，其中所述衬底具有 福射敏感材料(抗蚀剂)层。通常，单个衬底将包含被连续曝光的相邻目标部分的网络。公知 的光刻设备包括所谓的步进机，在所述步进机中，通过将...
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