用于制备具有大晶粒的再结晶硅衬底的方法技术资料下载

技术编号:9932777

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在光伏电池的生产的背景下,结晶成尺寸大于20WI1的晶粒的硅事实上由于其半导 体性能而受到特别关注。 目前,光伏电池主要由多晶硅或单晶硅制成。制备晶体硅最常见的途径涉及来自 液态硅浴的锭的定向固化。这些锭然后被切割成可以转化成光伏电池的晶圆。遗憾地,锭的 锯切导致硅损失("截口损失")约50%。出于明显的原因,材料的这种与锯切有关的损失不 利于产率。 作为通过锯切锭制造晶圆的替选,已经开发了着眼于以通常厚度在lOOwii和500M1 之间变化的晶圆或带的...
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