技术编号:99459
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及氧化锡涂层,特别是涉及一种在玻璃上制备透明的无光雾氧化锡涂层的化学汽相沉积法。 氧化锡广泛用作光学仪器的一种涂层材料。为了避免对器件的光学性能产生干涉,要求氧化锡涂层是透明的和无光雾的。氧化锡涂层也可用来减少或取消玻璃窗结构中的虹彩。尽管这些氧化锡涂层为此目的起着有效的作用,但是它们会把光雾引入该系统中,除非在非常苛刻和不利的沉积条件下来制备才不致这样。因此,有人提出要避免用四氯化锡或任何其它含有囟化物的类似化合物,这些化合物会在热的玻璃表面上产生一种酸性蒸汽。 在此,本发明提供一种采用气化的...
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