技术编号:9965766
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。异质结太阳能电池是一种利用晶体硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太阳能电池,相对传统单/多晶硅电池,有更高的发电效率,更好的稳定性和更低的成本。其PN结制备工序是采用板式PECVD制成,在PECVD制程中用到一种工装夹具-载板。如图1A所示,常规载板,是在一整块金属板或非金属板200 (如CFC板)上开槽和或孔201,制成大载板200A,在槽和或孔201中放置硅片。如图1B所示,在PECVD中载板200A放置在加热板300上工作,由于载板200A较大,容易变形...
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