技术编号：9965853
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。通常，外延反应器的冷壁反应室设计为在其内部仅容纳在外延沉积期间水平支撑衬底的装置，这种支撑装置可以与单个或多个衬里装置相关联；这类支撑装置通过感应实现加热并且对衬底进行传导加热，这类支撑装置在英语中通常称为“衬托器(susceptor) ”。例如，PCT专利申请WO 96/10659 A2公开了一种这种类型的冷壁反应室。有时(很少时候)，在外延反应器的冷壁反应室内还存在有一部件，以便在外延沉积期间特别地有利于对由“衬托器”支撑的衬底的上表面进行温度控制；这...
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