技术编号:9965858
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。多晶硅铸锭的制备过程包括长晶、退火和冷却三个阶段,目前,长晶和退火阶段需要对整个炉体加热,进行长晶及退火,但是长晶及退火过程一般需要非常高的温度,并且时长约为29?30h,因此对整个炉体加热需要消耗非常的能量。实用新型内容有鉴于此,本实用新型提出一种多晶硅铸锭炉,该多晶硅铸锭炉解决了多晶硅铸锭生长过程中能耗高的技术问题。本实用新型的技术方案是这样实现的—种多晶硅铸锭炉,包括炉体、坩祸、真空装置、加热装置、保温套筒、升降装置;所述炉体内所述升降装置,所述升降...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。