用于百级洁净室的水平层流送风装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9971460

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汽车反光膜、平板显示器保护膜等的制造和加工,其精度、纯度要求很严,通常都在洁净环境中生产。这种洁净环境要求随着产品指标的提高而不断提高。原来在万级条件下的生产环境,现在普遍提高到千级,甚至是百级。另一方面,考虑到薄膜生产过程的特殊性,若直接套用常用的垂直送风形式,存在着不少弊端I)对于整条生产线,薄膜上表面和下表面保护气流不对称从附图1可以看出,垂直的由上而下的平行气流,仅对薄膜生产过程中的上表面有洁净保护作用,而对薄膜的下表面及下部运动的薄膜洁净风无法直...
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