技术编号:9989206
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。金刚石具有极其优异的的电学(电子学)、光学、热学、声学、电化学性能,是一种典型的多功能超极限材料,在众多高新均有极佳的应用前景。但是大尺寸高质量的天然金刚石极其稀少,而高温高压合成的金刚石大多数以金刚石颗粒形式出现,无法满足高技术应用要求。CVD(化学气相沉淀)金刚石薄膜因具有天然金刚石的高硬度、高热导率、低摩擦系数和低热膨胀系数等诸多优异的性能,而被誉为21世纪最具有发展前途的新型涂层材料。目前,常用的制备方法主要有微波CVD、热丝CVD、直流电弧等离子...
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