技术编号:9989264
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前,多晶硅铸锭炉主要用于以铸锭方式生产硅半导体材料,传统的多晶硅铸锭炉由炉体和炉盖组成,通常炉盖位于炉体上端,加热装置分布在炉膛的坩祸周围,存在温度分布不均,装卸料不方便的问题。实用新型内容有鉴于此,本实用新型提出一种多晶硅铸锭炉,该多晶硅铸锭炉解决了炉体内温度分布不均,装卸料不方便的技术问题。本实用新型的技术方案是这样实现的—种多晶硅铸锭炉,包括炉体、坩祸、真空装置、加热装置、支撑板、升降装置;所述炉体包括上炉体和下炉体;所述下炉体内设有保温层,所述保...
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