技术编号：9995921
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。由于限位开关要在真空环境下使用，真空环境对在其内部运行的零部件的材料有特殊的要求，具体要求是①在工作温度和烘烤温度下的饱和蒸气压要足够低(对超高真空系统来说尤其重要)。②化学稳定性好。不易氧化和腐蚀，不与真空系统中的工作介质及工艺过程中的放气发生化学反应。③热稳定性好。在系统的工作温度(高温与低温)范围内，保持良好的真空性能和机械性能。目前市场上存在的机械限位开关无法满足在真空环境下使用，虽然也有厂家生产能在真空环境下使用的机械限位开关，但是对于我们的行业...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。