技术编号：9996082
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。PSS刻蚀的对象是蓝宝石衬底，属于微米级加工工艺，工艺要求之一是片内均匀性高(〈3%)，特别是要求边缘区域的图形要对称且不能有粘连。随着行业标准的不断提升，边缘区域的质量越来越受重视，随之而来的是对边缘问题的处理能力构成了各PSS厂家，乃至于ICP设备厂商的核心竞争力，而在该工艺中托盘治具是影响边缘问题的关键因素。目前，市场上用于PSS刻蚀的托盘治具有大约以下2种结构。结构一金属托盘配合石英盖板。这种治具的优点是制造工艺简单，制造成本低廉。缺点是，由于刻蚀...
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