技术编号：9996974
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及及电子束加工设备领域，具体涉及一种电子束微细加工设备加速电源装置。背景技术在电子束打孔、刻蚀、曝光等电子束微细加工设备中，对电子束流、束斑直径及扫描尺寸的稳定度要求颇为严格，而设备电子加速电源波动对电子束流大小、束斑直径及扫描尺寸都有直接影响，因而提高加速电源的稳定性和可靠性，降低其输出的纹波，是保证电子束高精度的必要措施。目前，电子束加速电源多采用电力电子脉宽调制(PWM)变流技术实现功率调节，在PffM变流器中，电感滤波元件有电流连续与电...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。