基于mems声传感器的可视化电子式听诊器的制造方法_2

文档序号:9478612阅读:来源:国知局
波和噪声,使得电脑端的心音波形更平滑、更准确,有利于医生准确判断患者的病情;4)该听诊器能通过蓝牙将采集的信号传送到电脑端,在电脑端显示出准确的心音波形,有利于专家会诊和远程医疗的发展。
【附图说明】
[0012]图1为本发明的结构示意图。
[0013]图2为图1的爆炸图。
[0014]图3为本发明中壳体和盖体的结构示意图。
[0015]图4为本发明中MEMS声传感器微结构的结构示意图。
[0016]图5为本发明中信号处理电路板上组成信号提取系统的各模块示意图。
[0017]图6为本发明中信号处理电路板上组成信号数据处理与显示系统的各模块示意图。
[0018]图中:1-聚氨酯透声帽、2-壳体、3-盖体、4-MEMS声传感器微结构、4_1_中心质量块、4-2-支撑边框、4-3-悬臂梁、4-4-压敏电阻、5-注油孔、6-引线孔、7-信号处理电路板仓、8-锂电池仓、9-液晶显示屏、10-功能选择按键。
【具体实施方式】
[0019]以下结合附图对本发明作进一步的说明:
如图1至图6所示,一种基于MEMS声传感器的可视化电子式听诊器,包括聚氨酯透声帽1、壳体2和盖体3 ;聚氨酯透声帽I的敞口端扣在壳体2的壳口上并用聚氨酯胶密封固定;壳体2的内腔中固定有MEMS声传感器微结构4,壳体2的壳底上开设有注油孔5和引线孔6,壳体2的壳底外表面上设有信号处理电路板仓7和锂电池仓8 ;盖体3固定于壳体2的底部,且盖体3的盖面上设有液晶显示屏9和若干功能选择按键10 ;MEMS声传感器微结构4的加工材料为SOI硅圆片,采用MEMS半导体微加工技术加工而成,具体是在硅衬底上利用ICP等离子刻蚀技术刻蚀出中心质量块4-1、支撑边框4-2以及两根对称的用于连接中心质量块4-1和支撑边框4-2的悬臂梁4-3,在每根悬臂梁4-3的两端分别利用等离子注入技术注入硼离子形成压敏电阻4-4,四个压敏电阻4-4的阻值相等且之间通过金属引线连接成一个检测心肺声信号的惠斯通全桥差动电路;信号处理电路板仓7内安装有信号处理电路板,信号处理电路板上设有依次连接的电源供压模块、可调稳压电源模块、高通滤波模块、二级差分放大模块、低通滤波器模块、转换模块、储存模块和单片机处理模块,储存模块上还连接有蓝牙传输模块,单片机处理模块与液晶显示屏9连接,MEMS声传感器微结构4的输出端导线通过引线孔6引出后与高通滤波模块连接,并且将引线孔6密封;锂电池仓8内安装有锂电池,锂电池为信号处理电路板上的各模块以及MEMS声传感器微结构4供电;通过注油孔5向聚氨酯透声帽I和壳体2内腔形成的密封腔体内灌满绝缘硅油,然后将注油孔5密封。
[0020]具体实施时,所述的壳体2与盖体3都是由铝合金材质制作而成,MEMS声传感器微结构4通过聚氨酯胶水水平粘结固定在壳体2内腔的腔壁上;所述的液晶显示屏9采用单色式图像型点阵液晶模块,其结构轻、功耗低,能显示单色图片、汉字、数字和英文字母,其采用4线SPI接口,方便与主线接口连接,通过单片机处理模块控制其实时显示测得的心率。所述的功能选择按键10有四个按键,分别为开/关机键、模式键、上下选择键、返回键,通过单片机处理模块控制实现其功能。
【主权项】
1.一种基于MEMS声传感器的可视化电子式听诊器,其特征在于:包括聚氨酯透声帽(1)、壳体(2)和盖体(3);聚氨酯透声帽(1)的敞口端扣在壳体(2)的壳口上并用聚氨酯胶密封固定;壳体(2)的内腔中固定有MEMS声传感器微结构(4),壳体(2)的壳底上开设有注油孔(5)和引线孔(6),壳体(2)的壳底外表面上设有信号处理电路板仓(7)和锂电池仓(8);盖体(3)固定于壳体(2)的底部,且盖体(3)的盖面上设有液晶显示屏(9)和若干功能选择按键(10) ;MEMS声传感器微结构(4)的加工材料为SOI硅圆片,采用MEMS半导体微加工技术加工而成,具体是在硅衬底上利用ICP等离子刻蚀技术刻蚀出中心质量块(4-1)、支撑边框(4-2)以及两根对称的用于连接中心质量块(4-1)和支撑边框(4-2)的悬臂梁(4-3),在每根悬臂梁(4-3)的两端分别利用等离子注入技术注入硼离子形成压敏电阻(4-4),四个压敏电阻(4-4)的阻值相等且之间通过金属引线连接成一个检测心肺声信号的惠斯通全桥差动电路;信号处理电路板仓(7)内安装有信号处理电路板,信号处理电路板上设有依次连接的电源供压模块、可调稳压电源模块、高通滤波模块、二级差分放大模块、低通滤波器模块、转换模块、储存模块和单片机处理模块,储存模块上还连接有蓝牙传输模块,单片机处理模块与液晶显示屏(9)连接,MEMS声传感器微结构(4)的输出端导线通过引线孔(6)引出后与高通滤波模块连接,并且将引线孔(6)密封;锂电池仓(8)内安装有锂电池,锂电池为信号处理电路板上的各模块以及MEMS声传感器微结构(4)供电;通过注油孔(5)向聚氨酯透声帽(1)和壳体(2)内腔形成的密封腔体内灌满绝缘硅油,然后将注油孔(5)密封。
【专利摘要】本发明提供了一种全新的电子听诊器,具体是一种基于MEMS声传感器的可视化电子式听诊器,其包括聚氨酯透声帽、壳体和盖体,壳体内灌满绝缘硅油,壳体内固定有MEMS声传感器微结构及充满绝缘硅油,壳体的壳底外表面上设有信号处理电路板仓和锂电池仓,盖体上设有液晶显示屏和若干功能选择按键,信号处理电路板仓内安装有信号处理电路板,信号处理电路板上设有各控制模块,信号处理电路板与液晶显示屏及MEMS声传感器微结构连接。本发明听诊器具有体积小、可视化、检测灵敏、低成本、可批量加工,无线传输到电脑端显示波形的优点,比传统听诊器检测心率更准确、更直观、更方便。
【IPC分类】A61B7/04
【公开号】CN105232080
【申请号】CN201510589217
【发明人】张国军, 郭楠, 曾瑞, 王续博, 刘梦然, 张斌珍, 薛晨阳, 张文栋
【申请人】中北大学
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年9月17日
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