专利名称：异丙醇蒸汽清洗干燥装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于玻璃片清洗干燥装置，特别涉及一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置。
背景技术：
在对玻璃进行湿法清洗之后，必须对玻璃进行有效的干燥，以防止水或清洗液等 残留物残留在玻璃表面。目前常用的干燥技术是旋转清洗干燥(SRD)、异丙醇或者马兰高尼 干燥。旋转清洗干燥工艺中，使湿玻璃晶圆高速旋转，通过利用离心力，将附着于玻璃晶圆 表面的水或清洗液从玻璃晶圆中心甩到玻璃晶圆的外部，并且进一步脱离玻璃晶圆，在玻 璃晶圆中心作用在小液滴上的离心力小，则很难将玻璃晶圆中心的残留物甩离玻璃晶圆， 因此这种方法在减少形成在玻璃晶圆表面的清洗液小液滴方面存在困难，且因为疏水性晶 片表面排斥水和水基(含水)清洗液，所以旋转清洗干燥工艺难以对疏水性晶片表面进行 干燥。
异丙醇干燥目前是通过将处理槽内的纯水从处理槽底部排出，使在处理槽内的玻 璃露出来，由处理槽上部空间的异丙醇蒸汽与附着在玻璃的表面的水滴进行置换，这样来 干燥玻璃表面。另外，取代通过使处理槽内的纯水从处理槽底部排出、在处理槽内露出玻璃片的 情况，也有通过将玻璃片从处理槽内提起，在处理槽内使玻璃片露出，并由处理槽上部空间 的异丙醇蒸汽与附着在玻璃片表面的水滴置换来进行干燥的干燥装置。然而，在上述构造的装置中，纯水清洗玻璃片时产生的异物在处理槽的纯水液面 附近呈浮游状态，处理槽内的纯水从处理槽底部排出使在处理槽内的玻璃片露出，由于有 异物微小颗粒浮游的纯水在最后排除，就会在玻璃的表面附着有上述微小颗粒，造成玻璃 无法清洗干净。另外，在上述构造的装置中，由于通过从处理槽底部排出纯水使玻璃露出，在处理 槽内含有微小颗粒的纯水不会全部都排出，则在清洗液表面异丙醇的溶入量随着时间的推 移而增大，则在清洗液表面的纯水的异丙醇的浓度将增大并且异丙醇溶入层的厚度也将变 厚，这样异丙醇蒸汽置换玻璃片表面水滴的效率就会下降，也就降低了干燥效率，并且会在 玻璃表面产生干燥斑纹。
发明内容
为了弥补以上不足，本发明提供了一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，其结构简单，使 用方便，干燥效率高。本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是一种异丙醇蒸汽清洗干燥装 置，包括氮气供气装置、第一过滤器、第一减压阀、第一气动阀、第一流量计、异丙醇喷头、第 二减压阀、第二气动阀、第二流量计、异丙醇槽、第三气动阀、第二过滤器、第三流量计、第四 气动阀、安全阀、工作腔、料盒、固定支架、加热灯、异丙醇浓度检测报警仪、排气装置和导流管，以使用方向为基准，氮气供气装置的出气端与第一过滤器进气端连接，第一过滤器出气 端分成两条支路，第一条支路依次串联了第一减压阀、第一气动阀和第一流量计，最终与异 丙醇喷头的进气端连接，将设定压力和流量的氮气供给到异丙醇喷头，另一条支路分别依 次串联了第二减压阀、第二流量计和第二气动阀，最终与异丙醇槽的进气端连接，将异丙醇 槽内的异丙醇液体压出，异丙醇槽的出液端分别依次串联了第三气动阀、第二过滤器、第三 流量计和第四气动阀，最终与异丙醇喷头的进液端连接，将异丙醇槽内的异丙醇液体以设 定液压和流量供给到异丙醇喷头，异丙醇液体在异丙醇喷头内遇到设定压力的氮气，氮气 将异丙醇液体打成雾状喷出，异丙醇槽连接有一安全阀，当异丙醇槽的进气压力过大，超过 异丙醇槽的出液端设定液压时，安全阀打开，释放异丙醇槽内过大气压，当异丙醇槽的出液 端低于设定液压时，安全阀关闭，停止释放异丙醇槽内气压；异丙醇喷头和加热灯固设于工作腔内上端，异丙醇喷头出气端朝向工作腔内侧，料盒固设于固定支架上，固定支架可移动定位于工作腔内，需要清洗干燥的玻璃晶圆可放 置于料盒内，料盒在固定支架的带动下分别置于异丙醇喷头和加热灯下方进行清洗和加热 干燥，工作腔内固设有异丙醇浓度检测报警仪和排气装置，当工作腔内的异丙醇超过设定 浓度后，异丙醇浓度检测报警仪将发出报警信号，此时工作腔的排气装置则打开排气，当工 作腔内的异丙醇低于设定浓度后，工作腔的排气装置则关闭停止排气，这样就保证了工作 腔内异丙醇浓度的稳定性及工作腔内的工作安全性，工作腔体下方设有导流管，异丙醇蒸 汽冷却后变成异丙醇小液滴，该小液滴可沿导流管排出工作腔外。作为本发明的进一步改进，工作腔上的排气装置由第五气动阀和排气管组成，当 工作腔内的异丙醇超过设定浓度后，异丙醇浓度检测报警仪将发出报警信号，此时工作腔 的排气装置的第五气动阀打开，则排气管开始排气，当工作腔内的异丙醇低于设定浓度后， 排气装置的第五气动阀关闭则排气管停止排气。作为本发明的进一步改进，设有两个异丙醇喷头，第三气动阀分两路分别串联有 第二过滤器、第三流量计和第四气动阀，最终分别与一个与异丙醇喷头的进液端连接，两个 异丙醇喷头同时清洗使清洗效率高，清洗更均勻、更彻底。作为本发明的进一步改进，料盒固设于固定支架结构为料盒上设有一把手，该把 手与固定支架上端固连，这样很方便料盒的安装与拆卸。作为本发明的进一步改进，加热灯为紫外灯管。本发明的有益技术效果是本发明用设定压力的氮气将异丙醇液体打成蒸汽对需 要清洗的玻璃晶圆进行清洗，然后再用加热灯对清洗过的玻璃晶圆进行干燥，此装置结构 简单，操作方便，清洁效率高，玻璃晶圆表面清洗的均勻又彻底，玻璃晶圆清洗干燥后表面 无干燥纹。
图1为本发明的示意图。
具体实施例方式实施例一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，包括氮气供气装置1、第一过滤器2、第一 减压阀3、第一气动阀4、第一流量计5、异丙醇喷头6、第二减压阀7、第二气动阀8、第二流量计9、异丙醇槽10、第三气动阀11、第二过滤器12、第三流量计13、第四气动阀14、安全阀15、工作腔16、料盒17、固定支架18、加热灯19、异丙醇浓度检测报警仪20、排气装置21和 导流管22，以使用方向为基准，氮气供气装置1的出气端与第一过滤器2进气端连接，第一 过滤器2出气端分成两条支路，第一条支路依次串联了第一减压阀3、第一气动阀4和第一 流量计5，最终与异丙醇喷头6的进气端连接，将设定压力和流量的氮气供给到异丙醇喷头 6，另一条支路分别依次串联了第二减压阀7、第二流量计9和第二气动阀8，最终与异丙醇 槽10的进气端连接，将异丙醇槽10内的异丙醇液体压出，异丙醇槽10的出液端分别依次 串联了第三气动阀11、第二过滤器12、第三流量计13和第四气动阀14，最终与异丙醇喷头 6的进液端连接，将异丙醇槽10内的异丙醇液体以设定液压和流量供给到异丙醇喷头6，异 丙醇液体在异丙醇喷头6内遇到设定压力的氮气，氮气将异丙醇液体打成雾状喷出，异丙 醇槽10连接有一安全阀15，当异丙醇槽10的进气压力过大，超过异丙醇槽10的出液端设 定液压时，安全阀15打开，释放异丙醇槽10内过大气压，当异丙醇槽10的出液端低于设定 液压时，安全阀15关闭，停止释放异丙醇槽10内气压；异丙醇喷头6和加热灯19固设于工作腔16内上端，异丙醇喷头6出气端朝向工 作腔16内侧，料盒17固设于固定支架18上，固定支架18可移动定位于工作腔16内，需要 清洗干燥的玻璃晶圆可放置于料盒17内，料盒17在固定支架18的带动下分别置于异丙醇 喷头6和加热灯19下方进行清洗和加热干燥，工作腔16内固设有异丙醇浓度检测报警仪 20和排气装置21，当工作腔16内的异丙醇超过设定浓度后，异丙醇浓度检测报警仪20将 发出报警信号，此时工作腔16的排气装置21则打开排气，当工作腔16内的异丙醇低于设 定浓度后，工作腔16的排气装置21则关闭停止排气，这样就保证了工作腔16内异丙醇浓 度的稳定性及工作腔内16的工作安全性，工作腔16体下方设有导流管22，异丙醇蒸汽冷却 后变成异丙醇小液滴，该小液滴可沿导流管22排出工作腔16外。所述工作腔16上的排气装置21由第五气动阀211和排气管212组成，当工作腔 16内的异丙醇超过设定浓度后，异丙醇浓度检测报警仪20将发出报警信号，此时工作腔的 排气装置21的第五气动阀211打开，则排气管212开始排气，当工作腔16内的异丙醇低于 设定浓度后，排气装置21的第五气动阀211关闭则排气管212停止排气。所述设有两个异丙醇喷头6，第三气动阀11分两路分别串联有第二过滤器12、第 三流量计13和第四气动阀14，最终分别与一个与异丙醇喷头6的进液端连接，两个异丙醇 喷头同时清洗使清洗效率高，清洗更均勻、更彻底。所述料盒17固设于固定支架18结构为料盒17上设有一把手171，该把手171与 固定支架18上端固连，这样很方便料盒17的安装与拆卸。所述加热灯19为紫外灯管。本发明的工作过程是1)将需要清洗干燥的的产品放置于料盒内，并将料盒固定到固定支架上；2)支架带着料盒一起下降到工作腔底部，同时向工作腔内注入纯水；3)支架带着料盒上升，使料盒内的玻璃晶圆从纯水中慢慢露出纯水面，同时打开 异丙醇喷头，氮气将异丙醇喷头内的异丙醇液体打成异丙醇蒸汽喷向需要清洁的玻璃晶圆 表面，使异丙醇蒸汽与附着在玻璃晶圆表面的纯水进行置换；4)当玻璃晶圆彻底离开纯水，异丙醇蒸汽与纯水置换完成后，支架带有玻璃晶圆的料盒送至工作腔的加热灯下方，加热灯对玻璃晶圆进行加热干燥。5)排气装置打开，将工作腔内异丙醇蒸汽排出 ；6)取出料盒。
权利要求
一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，其特征为包括氮气供气装置(1)、第一过滤器(2)、第一减压阀(3)、第一气动阀(4)、第一流量计(5)、异丙醇喷头(6)、第二减压阀(7)、第二气动阀(8)、第二流量计(9)、异丙醇槽(10)、第三气动阀(11)、第二过滤器(12)、第三流量计(13)、第四气动阀(14)、安全阀(15)、工作腔(16)、料盒(17)、固定支架(18)、加热灯(19)、异丙醇浓度检测报警仪(20)、排气装置(21)和导流管(22)，以使用方向为基准，氮气供气装置(1)的出气端与第一过滤器(2)进气端连接，第一过滤器(2)出气端分成两条支路，第一条支路依次串联了第一减压阀(3)、第一气动阀(4)和第一流量计(5)，最终与异丙醇喷头(6)的进气端连接，另一条支路分别依次串联了第二减压阀(7)、第二流量计(9)和第二气动阀(8)，最终与异丙醇槽(10)的进气端连接，异丙醇槽(10)的出液端分别依次串联了第三气动阀(11)、第二过滤器(12)、第三流量计(13)和第四气动阀(14)，最终与异丙醇喷头(6)的进液端连接，异丙醇槽(10)连接有一安全阀(15)；异丙醇喷头(6)和加热灯(19)固设于工作腔(16)内上端，异丙醇喷头(6)出气端朝向工作腔(16)内侧，料盒(17)固设于固定支架(18)上，固定支架(18)可移动定位于工作腔(16)内，工作腔(16)内固设有异丙醇浓度检测报警仪(20)和排气装置(21)，工作腔(16)体下方设有导流管(22)。
2.根据权利要求1所述的一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，其特征为工作腔(16)上的 排气装置(21)由第五气动阀(211)和排气管(212)组成。
3.根据权利要求1所述的一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，其特征为设有两个异丙醇 喷头(6)，第三气动阀(11)分两路分别串联有第二过滤器(12)、第三流量计(13)和第四气 动阀(14)，最终分别与一个与异丙醇喷头(6)的进液端连接。
4.根据权利要求1所述的一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，其特征为料盒固设于固定 支架结构为料盒(17)上设有一把手(171)，该把手(171)与固定支架(18)上端固连。
5.根据权利要求1所述的一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，其特征为加热灯(19)为紫 外灯管。
全文摘要
本发明公开了一种异丙醇蒸汽清洗干燥装置，氮气供气装置输出的氮气经过第一过滤器分成两条支路，第一条支路依次经过第一减压阀、第一气动阀和第一流量计，最终到达异丙醇喷头，另一条支路分别依次经过第二减压阀、第二流量计和第二气动阀，最终到达异丙醇槽，并将异丙醇槽内的异丙醇液体通过第三气动阀、第二过滤器、第三流量计和第四气动阀，压入异丙醇喷头，异丙醇槽连接有一安全阀；异丙醇喷头和加热灯固设于工作腔内，料盒固设于固定支架上，固定支架可移动定位于工作腔内，工作腔内还固设有异丙醇浓度检测报警仪、排气装置和导流管，此装置结构简单，操作方便，清洁效率高，玻璃晶圆表面清洗的均匀又彻底，干燥后表面无干燥纹。
文档编号B08B3/00GK101844140SQ20091002950
公开日2010年9月29日 申请日期2009年3月23日 优先权日2009年3月23日
发明者吴高军 申请人:昆山西钛微电子科技有限公司