流量式精准自动补液装置的制作方法

文档序号:1550730阅读:257来源:国知局
专利名称:流量式精准自动补液装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种太阳能硅片清洗设备,尤其涉及全自动清洗设备中的补液装置。
背景技术
在太阳能电池片的生产过程中,硅片的清洗工序是十分重要的工序,清洗质量直接影响到太阳能电池片的光电转换性能。硅片在清洗设备中,由于硅片与清洗液之间要发生化学反应,清洗液中的相关化学成份将被消耗,若不及时补充将直影响硅片的清洗效果。为了提高硅片清洗工艺的稳定性,在清洗一定次数后必须向清洗液中补充相应的化学药液。普通清洗机都采用人工添加方法进行补液,人工添加都存在补液量不准确的缺陷,补液精度人为因素影响很大。为了克服人工补液存在的缺陷,在先进的硅片清洗机中都设置了集中补液系统,所述集中补液系统由机械式补液泵定时向清洗槽中补充液体,在清洗设备运转过程中,根据单位时间内液清洗消耗的多少,确定相应流量的机械式补液泵,控制系统每隔预定时间间隔就向清洗槽中补一次液,这种补液系统虽然能实现对清洗槽的自动补液,但由于机械补液量的补液精度不高,且以每清洗十次确定为补液间隔,这样清洗液的化学浓度波动性很大,硅片的清洗质量波动也比较大,要想进一步提高硅片的清洗质量,必须及时补液,减小清洗液化学浓度波动值,因此,申请人设计了一种定压式自动补液装置,其补液原理是在定压、流量相同条件下,通过控制补液时间来精确控制补液量,当清洗槽每清洗一批硅片后补液装置就适时向清洗槽中补液,这就是人们所述的微量精补装置,有了这种微量补液装置,清洗槽中清洗液的化学浓度的变化波动值就能得到有效控制,从而提高了硅片的清洗质量。

发明内容
为了克服现有硅片清洗机中补液装置存在的不足,本发明提供了一种硅片清洗设备的流量式精准自动补液装置,它采用机械泵与恒压罐相配合的方式进行补液,在每清洗一次硅片后能对清洗槽即时进行微量精准补液,确保每批硅片清洗后清洗槽中的清洗液得到精准的补充,这样就能比较精确地控制清洗液的浓度,从而保证硅片的清洗质量。本发明所采用的技术方案是所述一种流量式精准自动补液装置,其特征是它包括储液罐、机械补液泵、恒压罐、上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器、下报警传感器、电磁换向阀、手动补液阀、 手动定标阀、量杯、清洗槽和控制系统,储液罐设置在全自动硅片清洗机旁,储液罐中存放待补充溶液,在储液罐顶部设有加液开口,供操作人员向其中加注溶液,恒压罐和储液罐之间由耐酸碱的输液管相连,机械补液泵设置在恒压罐和储液罐之间,在恒压罐的侧壁上从上到下依次设有上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器和下报警传感器,在恒压罐底部引出的补液管经电磁换向阀分出二条支路,一路经手动补液阀通入清洗槽,另一路经手动定标阀通向量杯,上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器和下报警传感器都与控制系统电连接,电磁换向阀和机械补液泵也与控制系统电连接。
由于将储液罐中的待加补溶液经机械补液泵先输入恒压罐中,在恒压罐的侧壁上依次设有上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器和下报警传感器,机械补液泵的开关由上液位传感器、下液位传感器和控制系统控制,确保恒压罐内液位处于预定高度范围之内,从而确保从恒压罐出放出的液体流量相对等值,通过确定量杯测定从恒压罐出放出的液体流量,再根据清洗槽每次定量清洗硅片所消耗的溶液量,经计算得出每次补液的放液时间,由控制系统进行控制,从而保证电磁换向阀在清洗槽每次清洗一次后即时精确地进行补液,使清洗槽中的溶液浓度保持稳定,从根本上保证硅片清洗质量。同时降低了机械泵开停频率,减少了对机械泵的损伤,大大提高了全自动清洗机的使用效率。


图1为本发明结构示意图;图中1-储液罐;2-机械补液泵;3-恒压罐;4-上报警传感器;5-上液位传感器; 6-下液位传感器;7-下位报警传感器;8-电磁换向阀;9-手动补液阀;10-手动定标阀; 11-量杯;12-清洗槽;13-控制系统;14-输液管;15-补液管。
具体实施例方式根据附图详细说明本发明的
具体实施例方式所述一种流量式精准自动补液装置,它包括储液罐1、机械补液泵2、恒压罐3、上报警传感器4、上液位传感器5、下液位传感器6、下报警传感器7、电磁换向阀8、手动补液阀9、手动定标阀10、量杯11、清洗槽12和控制系统13,储液罐1设置于全自动硅片清洗机旁,储液罐1中存放待补充溶液,在储液罐1顶部设有加液开口,供操作人员向其中加注溶液,恒压罐3和储液罐1之间由耐酸碱的输液管14相连,机械补液泵2设置在恒压罐3和储液罐1之间,在恒压罐3的侧壁上从上到下依次设有上报警传感器4、上液位传感器5、下液位传感器6和下报警传感器7,在恒压罐3底部设有的补液管15经电磁换向阀8分出二条支路,一路经手动补液阀9通入清洗槽12,另一路经手动定标阀10通向量杯11,上位报警传感器4、上位液位传感器5、下位液位传感器6和下位报警传感器7都与控制系统13电连接,电磁换向阀8和机械补液泵2也与控制系统13电连接。本发明的具体使用方法如下由控制系统13启动机械补液泵2将储液罐1中的添补液经输液管14输入恒压罐 3中,当液体高度达到上液位传感器5时,便向控制系统13发出信号便自动关闭机械补液泵2停止补液,然后由控制系统13使电磁换向阀8得电开通,此时关闭手动补液阀9,开启手动定标阀10,此时恒压罐3中的溶液经过补液管15通向量杯11中,当测试量杯11滴满时,记录所需时间,然后计算出补液管15的流量,通过试验测得清洗槽12中每一次硅片清洗后所消耗的溶液量,再计算出应向清洗槽补液所需的时间。打开手动补液阀9,关闭定标管的手动定标阀10,由控制系统13控制电磁换向阀8的开通时间,当清洗槽12中完成一次清洗后,由控制系统13控制电磁换向阀8开启,向清洗槽12中注入溶液,达到预定时间后关闭,然后清洗槽12即可进行下一次清洗。在使用过程中,当恒压罐3中液位低于下液位传感器6时,下液位传感器6将信号传输至控制系统13,控制系统13控制机械补液泵2开启,将储液罐1中的溶液送至恒压罐3中,当恒压罐3中液位达到上液位传感器5时,上液位传感器5将信号传输至控制系统13, 控制系统13控制机械补液泵2停止运行,若恒压罐3中液位高于上报警传感器4或低于下报警传感器7时,控制系统13控制发出警报,然后提示人们立即检修。
权利要求
1. 一种流量式精准自动补液装置,其特征是它包括储液罐(1)、机械补液泵O)、恒压罐(3)、上报警传感器G)、上液位传感器(5)、下液位传感器(6)、下报警传感器(7)、电磁换向阀(8)、手动补液阀(9)、手动定标阀(10)、量杯(11)、清洗槽(12)和控制系统(13), 储液罐(1)设置于全自动硅片清洗机旁,储液罐(1)中存放待补充溶液,在储液罐(1)顶部开口,供操作人员向其中注入溶液,恒压罐C3)和储液罐(1)之间由耐酸碱的输液管(14) 相连,机械补液泵( 设置在恒压罐C3)和储液罐(1)之间,在恒压罐C3)的侧壁上从上到下依次设有上报警传感器G)、上液位传感器(5)、下液位传感器(6)和下报警传感器(7), 在恒压罐C3)底部设有的补液管(1 经电磁换向阀(8)分出二条支路,一路经手动补液阀 (9)通入清洗槽(12),另一路经手动定标阀(10)通向量杯(11),上报警传感器G)、上液位传感器( 、下液位传感器(6)和下报警传感器(7)都与控制系统(1 电连接,电磁换向阀 ⑶和机械补液泵⑵也与控制系统(13)电连接。
全文摘要
一种流量式精准自动补液装置,它包括储液罐、机械补液泵、恒压罐、上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器、下报警传感器、电磁换向阀、手动补液阀、手动定标阀、量杯、清洗槽和控制系统,机械补液泵设置在恒压罐和储液罐之间,上报警传感器、上液位传感器、下液位传感器和下报警传感器依次从上到下设置在恒压罐的侧壁上,且都与控制系统电连接,补液管经电磁换向阀分出二条支路,一路经手动补液阀通入清洗槽,另一路经手动定标阀通向量杯。它能测定补的流量然后按工艺要求确定补液时间,及时准确地对清洗槽进行补液,使清洗槽中的溶液浓度保持稳定,从根本上保证硅片清洗质量。
文档编号B08B3/08GK102172582SQ20101061021
公开日2011年9月7日 申请日期2010年12月29日 优先权日2010年12月29日
发明者王瑞勋 申请人:常州亿晶光电科技有限公司
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