专利名称：一种净化厂房的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种厂房的结构，更具体地说涉及一种净化厂房。
背景技术：
净化厂房，是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排 除，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制 在某一需求范围内，而给予特别设计的厂房。亦即是不论外在空气条件如何变化，其室内均 能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。净化厂房最主要作用 在于控制产品(如LCD、硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的 环境空间中生产、制造，此空间我们称之为净化厂房。如图2所示，现有的净化厂房，包括房体和送风系统，房体中上部设有天花板，天 花板将房体5'的内部空间分隔成位于上方的管道空间51'和位于下方的工作空间52'， 工作空间52'内通常设有多个隔墙7'，所述隔墙7'将工作空间52'内的空间分成多个 车间521'，隔墙7'通常采用彩钢板，各车间顶部的天花板均开有进风口，底面均开有出 风口，进风口安装有过滤装置4'。送风系统包括风柜组2'、冷却装置1'、多个回风管道 6'、多个送风管道3'，冷却装置1'的冷却水管穿过风柜组2'的各个风柜，各送风管道 3'的入口分别连接风柜组2'中相对应的风柜，各送风管道3'的出口分别连接相对应的 车间521'顶部的至少一个进风口，各车间521'的底面的出风口分别连接对应的回风管 道6'的入口，各回风管道6'的出口连接风柜组2'中相对应的风柜。冷却装置1'通常 采用冷水机。但是，上述技术的缺点是每个车间均需要采用彩钢板隔开，为了控制不同车间的 风压，所述每个车间均需要一个单独对应的风柜、一条对应的回风管道和一条对应的送风 管道，通过控制风柜来控制对应的车间的风压。因此耗费的钢材非常多，并且所需的风柜、 回风管道和送风管道的数量大，制造成本高、运行成本也非常高、耗费的电能也非常多。
发明内容
本发明的目的是对现有技术进行改进，提供一种净化厂房，可以大幅降低制造成 本和运行成本，采用的技术方案如下本发明的一种净化厂房，包括房体和送风系统，其特征在于所述房体的内部空间 包括工作空间和位于工作空间周围的循环送风空间，循环送风空间包括回风区和位于工作 空间上方的静压区，所述工作空间的顶部开有至少两个进风口，底面开有至少两个出风口， 所述送风系统包括冷却装置、风柜、送风管道和至少两个风机过滤机组(FFU)，冷却装置的 冷却水管穿过风柜，风柜通过送风管道连接静压区，各进风口均设有一个风机过滤机组。也 就是说进风口的数目与风机过滤机组的数目相同，并且一一对应。所述回风区还设有至少一个回风冷却设备。所述回风冷却设备对出风口出来的回 风进行冷却，减少回风与新送入的风温差，使得新送入的风与回风混合后温度不会明显升
一种较佳的方案，所述回风冷却设备为冷水管道。冷水管道连接外来的冷水。所述工作空间分隔成至少两个车间，每个车间均包括至少一个进风口、至少一个 出风口、与进风口数目相同并且一一对应的风机过滤机组。为了有效的降低制造成本，所述车间由软廉分隔而成。FFU英文全称为Fan Filter Unit，其中文专业用语为风机过滤机组。FFU设有初、 高效两级过滤网。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤后的洁净空气 在整个出风面以0. 45米/秒左右的风速勻速送出。适用于在各种环境中获得高级别的洁 净环境。它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在 新建洁净室、洁净厂房式改造翻新中，即可提高洁净度级别，降低噪音和振动，也可大大降 低造价，安装维护方便，是洁净环境的理想部件。FFU是一个自带送风机(无壳风机)的高效过滤器送风口，FFU的使用方式是新 送入的风经过风柜处理至所需状态点后送入，在静压区内与回风混合后经FFU的风机加压 后送入室内，再流动到回风区，在此经冷处理后送回至静压区完成循环。这样的系统最为常 用于有超静要求的洁净室，如液晶显示器(LCD)、大型集成电路晶圆的制造、尖端显示器如 TFT, PDP等的制造、硬盘的制造等。本发明对照现有技术的有益效果是，由于送风系统采用了 FFU，因此具备了以下优占.
^ \\\ ·1、系统非常灵活，可随时调整。由于洁净室的壁板都以天花板格子的模数来布置， 并且由于其特殊的节点构造，洁净室的壁板可以随时调整位置，以此改变房间的布局。同时 如果房间的洁净度需要调整，可以通过增减FFU数量的方法来实现。这对于通常集中送风 的净化系统来说几乎是不可能的。2、出风均勻稳定。FFU由于自带风机，出风均勻而稳定。避免了集中送风系统各送 风口风量平衡的问题。对于垂直单向流洁净室尤为有利。3、节能显著。FFU系统风管很少，除新送入的风通过送风管道送达外，大量的回风 以小循环的方式在运行，因此大大减少了风管的阻力消耗。同时由于FFU的面风速一般为 0. 35 0. 45米/秒，过滤器阻力小，FFU的无壳风机功率很小，新型的FFU采用了高效率电 动机，同时对风机叶轮形状也进行了改进，其综合效率已大为提高。FFU系统一般可比集中 送风的净化系统节能30%以上，使FFU系统在二、三年内就可通过节省电费把增加的初投 资部分(与集中送风的净化系统相比)省回来。4、节省空间。由于省去了巨大的送、回风管，故可节省安装空间。对于层高紧张的 改建项目非常合适。带来的另一个好处因风管很少空间相对宽敞而使工期缩短。5、负压 密封。FFU送风系统的静压区为负压，因此即使风口安装存在泄漏，也是从 洁净室向静压区泄漏，不会形成对洁净室的污染。6、个别FFU出现故障对洁净度几乎没有影响。FFU系统的风机数量大，因为数量众 多而分散，通常少量的FFU出现故障，并不能对洁净度造成严重的破坏。甚至可以在对洁净 度几乎没有影响的情况下发现并修复故障单元。而集中送风系统只要一台AHU出现故障， 就会造成大面积的洁净室停止运行，对生产的影响很大。在几乎所有的项目中，冷冻机、空 压机、纯水设备、水泵、真空泵抢救无效都可以做到备份，尽量减少设备故障对生产的影响。唯独空气处理系统的备份几乎没用，而FFU系统则在某种程度上达到了这个目的。
图1是本发明优选实施例的结构示意图；图2是本发明现有技术的结构示意图。
具体实施例方式如图1所示，本优选实施例中的净化厂房，包括房体5和送风系统，房体5的内部空间包括工作空间52和位于工作空间52周围的循环送风空间51，循环送风空间51包括回 风区511和位于工作空间52上方的静压区512，所述工作空间52的顶部开有多个进风口， 底面开有多个出风口。所述送风系统包括冷却装置1、风柜2、送风管道3和多个风机过滤 机组4 (FFU)，冷却装置1的冷却水管穿过风柜2，风柜2通过送风管道3连接静压区512， 各进风口均设有一个风机过滤机组4。也就是说进风口的数目与风机过滤机组4的数目相 同，并且一一对应。所述回风区511还设有多个回风冷却设备6。所述回风冷却设备6对出风口出来 的回风进行冷却，减少回风与新送入的风温差，使得新送入的风与回风混合后温度不会明
显升高。所述回风冷却设备6为冷水管道。冷水管道连接外来的冷水。所述工作空间52分隔成多个车间521，所述车间521由软廉7分隔而成。下面介绍一下工作过程新送入的风经过风柜2，被冷却装置1冷却处理至所需状态点后，通过送风管道3 送到静压区512，在静压区512内与回风混合后经FFU的风机加压后送入各车间521内，再 流动到回风区511，在此经回风冷却设备6冷处理后送回至静压区512完成循环。以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非用来限定本发明的实施范围；即凡依本 发明的权利要求范围所做的等同变换，均为本发明权利要求范围所覆盖。
权利要求
一种净化厂房，包括房体和送风系统，其特征在于所述房体的内部空间包括工作空间和位于工作空间周围的循环送风空间，循环送风空间包括回风区和位于工作空间上方的静压区，所述工作空间的顶部开有至少两个进风口，底面开有至少两个出风口，所述送风系统包括冷却装置、风柜、送风管道和至少两个风机过滤机组，冷却装置的冷却水管穿过风柜，风柜通过送风管道连接静压区，各进风口均设有一个风机过滤机组。
2.如权利要求1所述的净化厂房，其特征在于所述回风区还设有至少一个回风冷却 设备。
3.如权利要求2所述的净化厂房，其特征在于所述回风冷却设备为冷水管道。
4.如权利要求3所述的净化厂房，其特征在于所述工作空间分隔成至少两个车间，每 个车间均包括至少一个进风口、至少一个出风口、与进风口数目相同并且一一对应的风机 过滤机组。
5.如权利要求4所述的净化厂房，其特征在于所述车间由软廉分隔而成。
全文摘要
一种净化厂房，包括房体和送风系统，其特征在于所述房体的内部空间包括工作空间和位于工作空间周围的循环送风空间，循环送风空间包括回风区和位于工作空间上方的静压区，所述工作空间的顶部开有至少两个进风口，底面开有至少两个出风口，所述送风系统包括冷却装置、风柜、送风管道和至少两个风机过滤机组，冷却装置的冷却水管穿过风柜，风柜通过送风管道连接静压区，各进风口均设有一个风机过滤机组。本发明对照现有技术的有益效果是，由于送风系统采用了FFU，因此具备了以下优点系统非常灵活，可随时调整；出风均匀稳定；节能显著；节省空间；负压密封；个别FFU出现故障对洁净度几乎没有影响。
文档编号E04H5/02GK101967893SQ201010502369
公开日2011年2月9日 申请日期2010年10月11日 优先权日2010年10月11日
发明者孙名伟, 林秀娜, 林锐群 申请人:汕头市锐科电子有限公司