硅锭流水作业系统的制作方法

技术特征：

1.一种硅锭流水作业系统，其特征在于，包括：

用于对将一硅锭进行切方作业以形成多个第一规格硅方体的切方设备；

用于对所述第一规格硅方体进行截断作业以形成第二规格硅方体的截断设备，邻设于所述切方设备；以及

用于将所述第一规格硅方体从所述切方设备转移至所述截断设备的工件转移设备，设于所述切方设备及所述截断设备之间。

2.根据权利要求1所述的硅锭流水作业系统，其特征在于，所述切方设备包括：

切方机座；

用于承载硅锭横向置放的硅锭承载台，设于所述切方机座上；所述硅锭的切割面的切割宽度小于等于所述硅锭中其他面的至少二分之一的宽度；以及

线切割单元，设于所述切方机座上；所述线切割单元中包括有形成切割线网的切割线。

3.根据权利要求1所述的硅锭流水作业系统，其特征在于，所述截断设备包括：

截断机座；

硅棒承载机构，设于所述截断机座上；所述硅棒承载机构包括互换位置的第一工位平台和第二工位平台，所述第一工位平台和所述第二工位平台上均设有用于承载所述第一规格硅方体的多个载盘；以及

线切割机构，设于所述截断机座上，包括用于切割所述第一规格硅方体的线切割单元。

4.根据权利要求1所述的硅锭流水作业系统，其特征在于，还包括：用于对所述切方设备输出的所述第一规格硅方体进行清洗的切方清洗设备，邻设于所述切方设备的输出端。

5.根据权利要求4所述的硅锭流水作业系统，其特征在于，所述工件转移设备配置有设于所述切方设备及所述切方清洗设备之间、用于将所述第一规格硅方体从所述切方设备转移至所述切方清洗设备的第一机械手。

6.根据权利要求1所述的硅锭流水作业系统，其特征在于，还包括：用于对所述切方设备输出的所述第一规格硅方体进行检测的少子检测设备，位于所述切方设备和所述截断设备之间。

7.根据权利要求6所述的硅锭流水作业系统，其特征在于，还包括位于所述少子检测设备与所述截断设备之间的硅棒储料设备，所述硅棒储料设备包括：

料座；

料支撑架，设于所述料座上；以及

用于承载所述第一规格硅方体的硅棒周转承载件，通过周转驱动机构架设于所述料支撑架上。

8.根据权利要求7所述的硅锭流水作业系统，其特征在于，所述工件转移设备配置有：

设于所述硅棒储料设备及所述截断设备之间、用于将所述第一规格硅方体从所述硅棒储料设备转移至所述截断设备的第二机械手。

9.根据权利要求1所述的硅锭流水作业系统，其特征在于，还包括：用于对所述截断设备输出的所述第二规格硅方体进行清洗作业的截断清洗设备，邻设于所述截断设备。

10.根据权利要求9所述的硅锭流水作业系统，其特征在于，所述工件转移设备配置有：

设于所述截断设备及所述截断清洗设备之间、用于将所述第二规格硅方体从所述截断设备转移至所述截断清洗设备的第三机械手。