切割工作盘的制作方法

文档序号:16870401发布日期:2019-02-15 20:34阅读:291来源:国知局
切割工作盘的制作方法

本实用新型涉及半导体切割设备技术领域,特指一种切割工作盘。



背景技术:

在半导体行业,CSP(Chip Scale Package,芯片尺寸构装)基板的使用越来越多,在应用CSP基板之前,需要对CSP基板进行切割,切割出需要的尺寸。现有的切割工作盘,一般采用陶瓷材料制作,在移动的时候,比较容易撞裂、撞碎。另外,现在的切割工作盘的安装固定方式比较简单,不利于半导体的稳定精确切割。

因此,基于上述现有的切割工作盘的缺陷,需要对现有的切割工作盘进行改进。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足提供一种切割工作盘,该切割工作盘解决了现有的切割工作盘所存在的:易撞裂、撞碎、安装不够稳固等缺陷。

为实现上述目的,本实用新型是通过以下技术方案实现的:切割工作盘,包括主体,主体为不锈钢体,主体呈方形,主体的四边最外侧具有围边,主体的中部为相对围边下沉的切割区,主体的侧面成型有凸块,凸块上开设有安装孔。

所述的主体的四个侧面均分别成型有两个凸块。

所述的每个凸块的高度位置相同。

所述的主体呈扁平板状,主体的底面为水平面。

所述的凸块的顶面与围边的顶面平齐。

本实用新型的有益效果在于:采用不锈钢主体,移动时不会被撞裂、撞碎,通过每个侧面成型凸块实现安装更稳固,同时,既可以切圆形CSP基板,还可以切方形CSP基板,使用寿命长,生产精度高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

见图1,本实用新型切割工作盘包括:主体1、围边2、切割区3、凸块4、安装孔5、下凹槽6。

本实用新型包括有包括:主体1,主体1为不锈钢体,主体1的四边最外侧具有围边2,主体1的中部为相对围边2下沉的切割区3,主体1的侧面成型有凸块4,凸块4上开设有安装孔5。

本实用新型的主体1呈方形,既可以切圆形CSP基板,还可以切方形CSP基板,一次最大可以切8块CSP基板,提高生产效率。

本实用新型的主体1的四个侧面均分别成型有两个凸块4,每个凸块4的高度位置相同。

本实用新型的主体1呈扁平板状,主体1的底面为水平面。

本实用新型的切割区3内成型有多条下凹槽6,下凹槽6有两组,每组下凹槽6有多条且平行排列,其中一组下凹槽6与另一组下凹槽6垂直而呈交错排列状。

本实用新型的下凹槽6与主体1的围边2呈45度设置。

本实用新型移动时不会被撞裂、撞碎,而且安装更稳固,同时,既可以切圆形CSP基板,还可以切方形CSP基板。

当然,以上所述之实施例,只是本实用新型的较佳实例而已,并非限制本实用新型实施范围,故凡依本实用新型申请专利范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰,均应包括于本实用新型申请专利范围内。

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