一种晶棒加工系统的制作方法

文档序号:28822400发布日期:2022-02-09 11:25阅读:106来源:国知局
一种晶棒加工系统的制作方法

1.本实用新型涉及晶棒加工技术领域,尤其涉及一种晶棒加工系统。


背景技术:

2.目前,毛棒被加工成晶棒的过程中,需要将毛棒进行切断、切方以及抛光等工序处理。现有技术中,大多依靠人工搬运方式在各个工序间转运物料,这样会导致晶棒的生产效率低,人工成本高,甚至在人工搬运、转运物料过程中,容易造成安全事故。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种晶棒加工系统,以提高晶棒加工工序的自动化程度。
4.本实用新型提供的晶棒加工系统包括控制器以及分别与控制器电连接的切方设备、抛光设备、切方上下料装置、半成品方棒输送装置以及抛光上下料装置。切方设备和抛光设备沿着半成品方棒输送装置的延伸方向分布。
5.在采用上述技术方案的情况下,切方设备、抛光设备、切方上下料装置、半成品方棒输送装置以及抛光上下料装置均与控制器电连接。基于此,利用控制器控制切方上下料装置对切方设备上料,使得切方设备将圆棒加工成半成品方棒,并控制切方上下料装置将半成品方棒从切方设备加工好的半成品方棒下料至半成品方棒输送装置。由于,切方设备和抛光设备沿着半成品方棒输送装置的延伸方向分布,因此,控制器可以控制半成品方棒输送装置将半成品方棒输送至抛光设备,并控制抛光上下料装置将半成品方棒输送装置上的半成品方棒上料至抛光设备,使得抛光设备将半成品方棒加工成成品方棒,抛光上下料装置将抛光设备加工的成品方棒下料,以实现晶棒加工过程的自动化。不仅如此,利用控制器控制切方上下料装置、半成品方棒输送装置以及抛光上下料装置,对切方设备和抛光设备上下料,并利用半成品方棒输送装置将切方设备处的半成品方棒输送至抛光设备,无需人工参与,提高晶棒的生产效率,节约人工成本,避免因人工搬运、转运物料导致的安全事故。
6.另外,由于上述工序由切方上下料装置、切方设备、半成品方棒输送装置、抛光上下料装置以及抛光设备完成,且整个工序均由控制器控制,无需人工参与,故可以通过控制器控制各个装置与设备完成晶棒加工的相应工序,各个装置和设备在相应工序中可以不间歇地工作,从而实现各个装置和设备之间的并行作业,提高了晶棒加工工序的生产效率。
7.在一种可能的实现方式中,上述切方设备为至少一个由多个切方装置形成的切方设备环岛。多个切方装置分布在切方上下料装置的周向。半成品方棒输送装置为至少一个,每个半成品方棒输送装置用于输送切方设备环岛所生产的半成品方棒。
8.在采用上述技术方案的情况下,切方设备为至少一个由多个切方装置形成的切方设备环岛。多个切方装置可以同时对多个圆棒进行加工,提高生产效率。而且,多个切方装置形成切方设备环岛,可以节约多个切方装置的占用面积。多个切方装置分布在切方上下
料装置的周向,以使得切方上下料装置仅需转动的情况下,就可以对各个切方装置进行上下料操作,减小切方上下料装置与切方装置之间的距离,从而提高切方上下料装置为切方装置上下料的时间。再者,半成品方棒输送装置为至少一个,每个半成品方棒输送装置用于输送切方设备环岛所生产的半成品方棒,使得多个切方装置共用一个半成品方棒输送装置,节约成本。
9.在一种可能的实现方式中,上述半成品方棒输送装置具有至少一个半成品方棒检测工位。至少一个半成品方棒检测工位位于切方设备和抛光设备之间。
10.在采用上述技术方案的情况下,至少一个半成品方棒检测工位位于切方设备和抛光设备之间。基于此,可以在至少一个半成品方棒检测工位检测切方设备加工的半成品方棒的品质。至少一个半成品方棒检测工位位于半成品方棒输送装置上,当半成品方棒输送装置输送半成品方棒过程中,可在半成品方棒经过半成品方棒检测工位时,将半成品方棒输送装置暂停,使得半成品方棒停留在半成品方棒检测工位,即可在半成品方棒检测工位检测半成品方棒,无需人工将半成品方棒搬运至检测工位,提高检测效率,节约人工成本。
11.在一种可能的实现方式中,上述晶棒加工系统还包括分别与控制器电连接的成品方棒输送装置、拼棒上料装置和拼接设备。抛光设备与拼棒设备沿着成品方棒输送装置的输送方向分布。
12.在采用上述技术方案的情况下,成品方棒输送装置、拼棒上料装置和拼接设备均与控制器电连接。基于此,利用控制器控制抛光上下料装置将抛光设备上的成品方棒下料至成品方棒输送装置。由于,抛光设备与拼棒设备沿着成品方棒输送装置的输送方向分布,因此,控制器可以控制成品方棒输送装置将成品方棒输送至拼接设备处,并控制拼棒上料装置将成品方棒输送装置上需要拼接的成品方棒上料至拼接设备,使得拼接设备将多个成品方棒拼接,以实现晶棒加工过程的自动化。另外,利用控制器控制抛光上下料装置、成品方棒输送装置以及拼棒上料装置,将抛光设备上的成品方棒输送至拼接设备上,无需人工参与。
13.在一种可能的实现方式中,上述拼棒设备包括用于存放拼接的晶棒的配对拼接立库。
14.在采用上述技术方案的情况下,可将需要拼接的晶棒放置在配对拼接立库内进行拼接。
15.在一种可能的实现方式中,上述成品方棒输送装置具有至少一个成品方棒检测工位。至少一个成品方棒检测工位位于抛光设备与拼接设备之间。
16.在采用上述技术方案的情况下,至少一个成品方棒检测工位位于抛光设备与拼接设备之间。基于此,可以在至少一个成品方棒检测工位检测抛光设备加工的成品方棒的品质。至少一个成品方棒检测工位位于成品方棒输送装置上,当成品方棒输送装置输送成品方棒过程中,可在成品方棒经过成品方棒检测工位时,将成品方棒输送装置暂停,使得成品方棒停留在成品方棒检测工位,即可在成品方棒检测工位检测成品方棒,从而无需人工将成品方棒搬运至检测工位,提高检测效率,节约人工成本。
17.在一种可能的实现方式中,上述半成品方棒输送装置和成品方棒输送装置均包括方棒输送线以及设在方棒输送线上的方棒上料传感器和方棒下料传感器。方棒输送线沿方棒输送线的输送方向分布有方棒上料工位和方棒下料工位。方棒上料传感器用于检测方棒
上料工位是否存在方棒,方棒下料传感器用于检测方棒下料工位是否存在方棒。
18.在采用上述技术方案的情况下,半成品方棒输送装置包括方棒输送线以及设在方棒输送线上的方棒上料传感器和方棒下料传感器。方棒输送线用于输送半成品方棒,方棒上料传感器用于检测方棒上料工位是否存在半成品方棒。方棒下料传感器用于检测方棒下料工位是否存在半成品方棒。
19.成品方棒输送装置包括方棒输送线以及设在方棒输送线上的方棒上料传感器和方棒下料传感器。方棒输送线用于输送成品方棒,方棒上料传感器用于检测方棒上料工位是否存在成品方棒。方棒下料传感器用于检测方棒下料工位是否存在成品方棒。
20.在一种可能的实现方式中,上述晶棒加工系统还包括分别与控制器电连接的擦拭设备和擦拭上下料装置。沿着成品方棒输送装置的输送方向,擦拭设备位于抛光设备与拼接设备之间。
21.在采用上述技术方案的情况下,由于,沿着成品方棒输送装置的输送方向,擦拭设备位于抛光设备与拼接设备之间,因此,成品方棒输送装置输送成品方棒过程中,成品方棒会经过擦拭设备和擦拭上下料装置。而擦拭设备和擦拭上下料装置均与控制器电连接,从而利用控制器控制擦拭上下料装置将成品方棒输送装置上的成品方棒上料至擦拭设备,使得在擦拭设备对成品方棒擦拭并在擦拭过程中检测成品方棒;擦拭上下料装置将擦拭设备上擦拭后的成品方棒下料至成品方棒输送装置;使得方棒输送装置将晶棒输送至拼接设备,以实现晶棒加工过程的自动化。另外,利用控制器控制成品方棒输送装置、擦拭上下料装置以及擦拭设备,在将成品方棒从抛光设备经擦拭设备至拼接设备过程中,无需人工搬运成品方棒。
22.在一种可能的实现方式中,上述擦拭设备包括至少一个擦拭装置。每个擦拭装置具有至少一个擦拭工位。每个成品方棒输送装置的数量为至少一个,每个成品方棒输送装置用于向相应擦拭装置输送成品方棒。
23.在一种可能的实现方式中,上述晶棒加工系统还包括外发晶棒下料输送装置和内发晶棒下料输送装置。
24.在采用上述技术方案的情况下,在擦拭设备将成品方棒擦拭并检测后,擦拭上下料装置可将成品方棒按需要进行放置。
25.例如,当成品方棒的长度满足需要,无需拼接时,擦拭上下料装置可将成品方棒放置在外发晶棒下料输送装置上,外发晶棒下料输送装置将成品方棒输送至包装工位,将成品方棒包装后,发送到外部。擦拭上下料装置也可将成品方棒放置在内发晶棒下料输送装置,内发晶棒下料输送装置将成品方棒输送至且切片工序。
26.当成品方棒的长度不满足需要时,擦拭上下料装置将成品方棒放置在成品方棒输送装置上,成品方棒输送装置将成品方棒输送至拼接设备进行拼接。
27.在一种可能的实现方式中,上述晶棒加工系统还包括与控制器电连接的切断设备、切断上下料装置、切断输送装置以及尾料输送装置。切断设备与切方设备沿着切断输送装置的输送方向分布。尾料输送装置位于切断设备附近。
28.在采用上述技术方案的情况下,切断设备、切断上下料装置、切断输送装置以及尾料输送装置均与控制器电连接。基于此,利用控制器控制切断上下料装置对切断设备进行上料,使得切断设备将毛棒加工成圆棒,并控制切断上下料装置将切断设备上的圆棒下料
至切断输送装置。由于,切断设备与切方设备沿着切断输送装置的输送方向分布,因此,控制器可以控制切断输送装置将圆棒输送至切方设备,以实现方棒加工过程的自动化。另外,利用控制器控制切断上下料装置、切断设备以及切断输送装置,为切方设备提供圆棒,无需人工搬运圆棒。
29.不仅如此,尾料输送装置位于切断设备附近,可将切断设备加工毛棒过程中产生的尾料放置在尾料输送装置上,尾料输送装置可以将尾料输送至尾料收集区,无需人工搬运尾料。
30.在一种可能的实现方式中,上述晶棒加工系统还包括分别与控制器电连接的打码设备以及至少一个扫码设备。沿着切断输送装置的输送方向,打码设备位于切断设备与切方设备之间。沿着切断输送装置的输送方向,至少一个扫码设备位于打码设备与切方设备之间。
31.在采用上述技术方案的情况下,沿着切断输送装置的输送方向,打码设备位于切断设备与切方设备之间。基于此,打码设备可以对切断设备切断后的圆棒进行打码,进行圆棒信息标识。沿着切断输送装置的输送方向,至少一个扫码设备位于打码设备与切方设备之间。基于此,圆棒在切方前,扫码设备可对圆棒进行扫码,获取即将切方的圆棒信息。由于打码设备以及至少一个扫码设备均与控制器电连接,控制器可以收集、读取圆棒的信息,无需人工记录、核对圆棒的信息。
32.在一种可能的实现方式中,上述沿着半成品方棒输送装置的输送方向,至少一个扫码设备位于切方设备与抛光设备之间。
33.在采用上述技术方案的情况下,至少一个扫码设备位于切方设备与抛光设备之间。基于此,半成品方棒在抛光前,扫码设备可对半成品方棒进行扫码,获取即将抛光的半成品方棒信息。由于打码设备以及至少一个扫码设备均与控制器电连接,控制器可以收集、读取半成品方棒的信息,无需人工记录、核对半成品方棒的信息。
34.在一种可能的实现方式中,上述切断输送装置包括圆棒输送线以及设在圆棒输送线上的圆棒上料传感器和圆棒下料传感器。圆棒输送线沿圆棒输送线的输送方向分布有圆棒上料工位和圆棒下料工位。圆棒上料传感器用于检测圆棒上料工位是否存在圆棒,圆棒下料传感器用于检测圆棒下料工位是否存在圆棒。
35.在采用上述技术方案的情况下,圆棒上料传感器和圆棒下料传感器以及圆棒输送线均与控制器电连接。圆棒输送线沿圆棒输送线的输送方向分布有圆棒上料工位和圆棒下料工位。基于此,当圆棒上料传感器检测到圆棒上料工位中存在圆棒时,圆棒上料传感器将圆棒上料工位中存在圆棒的信息反馈给控制器,控制器控制圆棒输送线运行,使得圆棒输送线将圆棒上料工位中的圆棒输送至圆棒下料工位。当圆棒下料传感器检测到圆棒下料工位中存在圆棒时,圆棒下料传感器将圆棒下料工位中存在圆棒的信息反馈给控制器,控制器控制切方上下料装置将圆棒下料工位中的圆棒上料至切方设备。
36.在一种可能的实现方式中,上述晶棒加工系统还包括与控制器电连接的配棒设备,沿着切断输送装置的输送方向,配棒设备位于切断设备与切方设备之间。
37.在采用上述技术方案的情况下,由于,沿着切断输送装置的输送方向,配棒设备位于切断设备与切方设备之间,因此,切断输送装置输送圆棒过程中,圆棒会经过配棒设备。而配棒设备与控制器电连接,从而利用控制器控制配棒设备将切断输送装置上的圆棒进行
配棒,方便切方设备加工圆棒,并将配棒后的圆棒重新放回切断输送装置,以实现晶棒加工过程的自动化。另外,利用控制器控制切断输送装置和配棒设备,在将圆棒从切断设备经配棒设备至切方设备过程中,无需人工搬运圆棒。
附图说明
38.此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,构成本实用新型的一部分,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
39.图1~图3为本实用新型实施例提供的一种晶棒加工系统的各个部分结构示意图;
40.图4为本实用新型实施例中龙门输送结构示意图。
41.附图标记:
42.1-切方设备,101-切方装置,2-抛光设备,201-抛光装置,4-半成品方棒输送装置,401-半成品方棒检测工位,402-切方传输线后段, 403-抛光半成品传输线,404-升降输送机构,405-中间输送线,5-抛光上下料装置,6-成品方棒输送装置,601-成品方棒检测工位,7-拼棒上料装置,8-拼接设备,9-擦拭设备,10-擦拭上下料装置,11-外发晶棒下料输送装置,12-内发晶棒下料输送装置,13-切断设备,14-切断上下料装置,15-切断输送装置,151-圆棒手动上料工位,152-切断输送线,153-切方传输线前段,16-尾料输送装置,17
‑ꢀ
配棒设备,171-圆棒放置工位,172-配棒机械手。
具体实施方式
43.为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
44.需要说明的是,当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
45.此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上,除非另有明确具体的限定。
46.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
47.在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是通信,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普
通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
48.目前,毛棒被加工成晶棒的过程中,需要将毛棒进行切断、切方以及抛光等工序处理。现有技术中,大多依靠人工搬运方式在各个工序间转运物料,这样会导致晶棒的生产效率低,人工成本高,甚至在人工搬运、转运物料过程中,容易造成安全事故。
49.基于此,本实用新型实施例公开了一种晶棒加工系统。如图1和图2所示,
50.该晶棒加工系统包括:控制器以及分别与控制器电连接的切方设备1、抛光设备2、切方上下料装置、半成品方棒输送装置4以及抛光上下料装置5。切方设备1和抛光设备2沿着半成品方棒输送装置4的延伸方向分布。
51.如图1和图2所示,切方设备1、抛光设备2、切方上下料装置、半成品方棒输送装置4以及抛光上下料装置5均与控制器电连接。基于此,利用控制器控制切方上下料装置对切方设备1上料,使得切方设备1将圆棒加工成半成品方棒,并控制切方上下料装置将半成品方棒从切方设备1加工好的半成品方棒下料至半成品方棒输送装置4。由于,切方设备1和抛光设备2沿着半成品方棒输送装置4的延伸方向分布,因此,控制器可以控制半成品方棒输送装置4将半成品方棒输送至抛光设备2,并控制抛光上下料装置5将半成品方棒输送装置4上的半成品方棒上料至抛光设备2,使得抛光设备2将半成品方棒加工成成品方棒;抛光上下料装置 5将抛光设备2加工的成品方棒下料,以实现晶棒加工过程的自动化。不仅如此,利用控制器控制切方上下料装置、半成品方棒输送装置4以及抛光上下料装置5,对切方设备1和抛光设备2上下料,并利用半成品方棒输送装置4将切方设备1处的半成品方棒输送至抛光设备2,无需人工参与,提高晶棒的生产效率,节约人工成本,避免因人工搬运、转运物料导致的安全事故。
52.另外,如图1和图2所示,由于上述工序由切方上下料装置、切方设备1、半成品方棒输送装置4、抛光上下料装置5以及抛光设备2 完成,且整个工序均由控制器控制,无需人工参与,故可以通过控制器控制各个装置与设备完成晶棒加工的相应工序,各个装置和设备在相应工序中可以不间歇地工作,从而实现各个装置和设备之间的并行作业,提高了晶棒加工工序的生产效率。
53.本实用新型实施例提供的晶棒加工系统通过控制器控制切方设备、抛光设备、切方上下料装置、半成品方棒输送装置以及抛光上下料装置。本实用新型实施例中,在控制器控制切方设备、抛光设备、切方上下料装置、半成品方棒输送装置以及抛光上下料装置的情况下,控制器可以通过通信接口与切方设备、抛光设备、切方上下料装置、半成品方棒输送装置以及抛光上下料装置耦接。
54.如图2所示,上述抛光上下料装置5可以为桁架机械手。桁架机械手抓取半成品方棒输送装置4上的半成品方棒移动至抛光设备2,抛光设备2将半成品方棒抛光成成品方棒(成品方棒即为晶棒)后,抛光设备2向控制器发出下料请求信号,控制器控制桁架机械手加工好的成品方棒下料。
55.如图2所示,抛光设备2可以包括多个抛光装置201。多个抛光装置201沿桁架机械手的延伸方向分布。抛光装置201可以为抛光一体机设备。多个抛光装置201可共用一个桁架机械手以及一个半成品方棒输送装置4。
56.在一种示例中,如图2所示,抛光装置201的数量为44个,桁架机械手的数量为8个,半成品方棒输送装置4的数量为2个。44个抛光装置201分为8 组,每组抛光装置201对应一
个桁架机械手,每组抛光装置201所包括的抛光装置201沿相应桁架机械手的延伸方向分布。每个半成品方棒输送装置4 分别与4个桁架机械手连通。每个桁架机械手从相应半成品方棒输送装置4上抓取半成品方棒,并放置在相应组抛光装置201上。
57.作为一种可能的实现方式,如图1所示,上述切方设备1可以为至少一个由多个切方装置101形成的切方设备1环岛。多个切方装置101分布在切方上下料装置的周向。半成品方棒输送装置4为至少一个,每个半成品方棒输送装置4用于输送切方设备1环岛所生产的半成品方棒。
58.如图1所示,切方设备1为至少一个由多个切方装置101形成的切方设备1 环岛。多个切方装置101可以同时对多个圆棒进行加工,提高生产效率。而且,多个切方装置101形成切方设备1环岛,可以节约多个切方装置101的占用面积。多个切方装置101分布在切方上下料装置的周向,以使得切方上下料装置仅需转动的情况下,就可以对各个切方装置101进行上下料操作,减小切方上下料装置与切方装置101 之间的距离,从而提高切方上下料装置为切方装置101上下料的时间。再者,半成品方棒输送装置4为至少一个,每个半成品方棒输送装置4用于输送切方设备1环岛所生产的半成品方棒,使得多个切方装置101共用一个半成品方棒输送装置4,节约成本。
59.在一种示例中,如图1所示,一个切方设备1环岛可以包括8个切方装置 101,8个切方装置101分布在切方上下料装置的周向。切方装置101可以为切方机。切方上下料装置可以为机器人手臂。例如:机器人手臂可以为六轴机器人,也可以为四轴机器人。机器人手臂可以抓取圆棒,并通过转动分别对分布在机器人手臂周向的多个切方装置101上料。切方装置101将圆棒加工成半成品方棒后,切方装置101向控制器发送下料信号,控制器控制机器人手臂将切方装置101上的半成品方棒下料至半成品方棒输送装置4。
60.在一种示例中,如图1所示,切方设备1环岛的数量为2个,半成品方棒输送装置4的数量为2个,每个切方设备1环岛对应1个半成品方棒输送装置4。
61.在实际应用中,切方机在切方过程中产生的后边皮(即圆棒加工成半成品方棒后产生的边角料)由人工从切方机上取出后,使用边皮运输小车转运至原料清洗处进行处理。
62.作为一种可能的实现方式,如图2所示,上述半成品方棒输送装置4可以具有至少一个半成品方棒检测工位401。至少一个半成品方棒检测工位401位于切方设备1和抛光设备2之间。
63.如图2所示,至少一个半成品方棒检测工位401位于切方设备1和抛光设备2之间。基于此,可以在至少一个半成品方棒检测工位401检测切方设备1 加工的半成品方棒的品质。至少一个半成品方棒检测工位401位于半成品方棒输送装置4上,当半成品方棒输送装置4输送半成品方棒过程中,可在半成品方棒经过半成品方棒检测工位401时,将半成品方棒输送装置4暂停,使得半成品方棒停留在半成品方棒检测工位401,即可在半成品方棒检测工位401检测半成品方棒,无需人工将半成品方棒搬运至检测工位,提高检测效率,节约人工成本。
64.举例说明,如图2所示,半成品方棒检测工位401设在半成品方棒输送装置4靠近切方设备1的一侧。切方后,半成品方棒需要抽检时,当半成品方棒通过半成品方棒输送装置4输送至半成品方棒检测工位401并停止,人工在半成品方棒检测工位401检测半成品方棒品质正常后,半成品方棒输送装置4继续输送半成品方棒至抛光设备2。检测半成品方棒品质
不正常后,人工将不正常的半成品方棒取下,并回收。
65.在一种可选方式中,如图2所示,上述半成品方棒输送装置4可以包括方棒输送线以及设在方棒输送线上的方棒上料传感器和方棒下料传感器。方棒输送线沿方棒输送线的输送方向分布有方棒上料工位和方棒下料工位。方棒上料传感器用于检测方棒上料工位是否存在半成品方棒,方棒下料传感器用于检测方棒下料工位是否存在半成品方棒。方棒上料传感器和方棒下料传感器可以为光电传感器,但不限于此。
66.如图2所示,当方棒上料传感器检测到方棒上料工位存在半成品方棒时,方棒上料传感器将方棒上料工位存在半成品方棒的信息反馈给控制器,控制器控制方棒输送线输送运行,使得方棒输送线将方棒上料工位中的半成品方棒输送至方棒下料工位。当方棒下料感应器检测到方棒下料工位存在半成品方棒时,方棒下料感应器将方棒下料工位存在半成品方棒的信息反馈给控制器,控制器控制抛光上下料装置5将方棒下料工位中的半成品方棒上料至抛光设备2。
67.在一种可选方式中,如图1和图2所示,上述半成品方棒输送装置4可以包括相互接合的切方传输线后段402和抛光半成品传输线403。切方传输线后段 402靠近切方设备1,抛光半成品传输线403靠近抛光设备2。方棒上料工位设于切方传输线后段402,方棒下料工位位于抛光半成品传输线403,切方传输线后段402将方棒上料工位上的半成品方棒输送至抛光半成品传输线403,抛光半成品传输线403将半成品方棒输送至方棒下料工位。
68.在一种示例中,如图4所示,上述切方传输线后段402可以为龙门输送结构。龙门输送结构包括两个升降输送机构404以及中间输送线405。两个升降输送机构404分别设于所述中间输送线405两侧。两个升降输送机构404与中间输送线405之间留有供人员穿过的间隙。
69.如图1所示,方棒上料工位设在靠近切方设备1的升降输送机构404上,升降输送机构404将方棒上料工位中的半成品方棒提升至与中间输送线405同一高度,并且升降输送机构404将半成品方棒输送至中间输送线405上。中间输送线405将半成品方棒输送至靠近抛光半成品传输线403的升降输送机构404,升降输送机构404下降至与抛光半成品传输线403同一高度,并将半成品方棒输送至抛光半成品传输线403。两个升降输送机构404与中间输送线405之间留有供人员穿过的间隙,从而方便工作人员从间隙穿过半成品方棒输送装置4,避免绕路,提高生产效率。
70.作为一种可能的实现方式,如图3所示,上述晶棒加工系统还可以包括分别与控制器电连接的成品方棒输送装置6、拼棒上料装置7和拼接设备8。抛光设备2与拼接设备8沿着成品方棒输送装置6的输送方向分布。
71.如图3所示,成品方棒输送装置6、拼棒上料装置7和拼接设备8均与控制器电连接。基于此,利用控制器控制抛光上下料装置5将抛光设备2上的成品方棒下料至成品方棒输送装置6。由于,抛光设备2与拼棒设备沿着成品方棒输送装置6的输送方向分布,因此,控制器可以控制成品方棒输送装置6将成品方棒输送至拼接设备8处,并控制拼棒上料装置7将成品方棒输送装置6上需要拼接的成品方棒上料至拼接设备8,使得拼接设备8将多个成品方棒拼接,以实现晶棒加工过程的自动化。另外,利用控制器控制抛光上下料装置5、成品方棒输送装置6以及拼棒上料装置7,将抛光设备2上的成品方棒输送至拼接设备 8上,无需人工参与。
72.在一种可选方式中,如图3所示,拼棒设备可以包括用于存放拼接的晶棒的配对拼接立库。可将需要拼接的晶棒放置在配对拼接立库内进行拼接。
73.如图3所示,拼棒上料装置7可以为机器人手臂。机器人手臂可以为六轴机器人,也可以为四轴机器人。机器人手臂可以抓取成品方棒,从而将成品方棒输送装置6上的成品方棒抓取,并放置在配对拼接立库内。根据成品方棒信息识别可以配对拼接的成品方棒,机器人手臂将可以拼接的成品方棒拼接在一起,然后流转至后续工序。配对拼接立库可以ng工位,机器人手臂将超过一定时限(人为要求设定)的成品方棒,机器人手臂抓取其放置在ng工位,由人工进行配对拼接处理。
74.在一种可选方式中,如图2所示,上述成品方棒输送装置6可以具有至少一个成品方棒检测工位601。至少一个成品方棒检测工位601位于抛光设备2与拼接设备8之间。
75.如图2所示,至少一个成品方棒检测工位601位于抛光设备2与拼接设备8 之间。基于此,可以在至少一个成品方棒检测工位601检测抛光设备2加工的成品方棒的品质。至少一个成品方棒检测工位601位于成品方棒输送装置6上,当成品方棒输送装置6输送成品方棒过程中,可在成品方棒经过成品方棒检测工位601时,将成品方棒输送装置6暂停,使得成品方棒停留在成品方棒检测工位601,即可在成品方棒检测工位601检测成品方棒,从而无需人工将成品方棒搬运至检测工位,提高检测效率,节约人工成本。
76.在一种示例中,如图2所示,抛光后,成品方棒需要抽检时,当成品方棒通过成品方棒输送装置6输送至成品方棒检测工位601并停止,人工在成品方棒检测工位601检测成品方棒品质正常后,成品方棒输送装置6继续输送成品方棒至抛光设备2。检测成品方棒品质不正常后,人工将不正常的成品方棒取下,并回收。
77.在一种示例中,如2和图3所示,上述成品方棒输送装置6可以包括方棒输送线以及设在方棒输送线上的方棒上料传感器和方棒下料传感器。方棒输送线沿方棒输送线的输送方向分布有方棒上料工位和方棒下料工位。方棒上料传感器用于检测方棒上料工位是否存在成品方棒,方棒下料传感器用于检测方棒下料工位是否存在成品方棒。方棒输送线、方棒上料传感器以及方棒下料传感器的工作方式与上述半成品方棒输送装置4相同,在此不再赘述。
78.在一种可选方式中,如图2所示,上述晶棒加工系统还可以包括分别与控制器电连接的擦拭设备9和擦拭上下料装置10。沿着成品方棒输送装置6的输送方向,擦拭设备9位于抛光设备2与拼接设备8之间。
79.如图2所示,由于,沿着成品方棒输送装置6的输送方向,擦拭设备9位于抛光设备2与拼接设备8之间,因此,成品方棒输送装置6输送成品方棒过程中,成品方棒会经过擦拭设备9和擦拭上下料装置10。而擦拭设备9和擦拭上下料装置10均与控制器电连接,从而利用控制器控制擦拭上下料装置10将成品方棒输送装置6上的成品方棒上料至擦拭设备9,使得在擦拭设备9对成品方棒擦拭并在擦拭过程中检测成品方棒,经过擦拭和检测后的成品方棒为晶棒;擦拭上下料装置10将擦拭设备9上擦拭后的晶棒下料至成品方棒输送装置6;使得方棒输送装置将晶棒输送至拼接设备8,以实现晶棒加工过程的自动化。另外,利用控制器控制成品方棒输送装置6、擦拭上下料装置10以及擦拭设备9,在将成品方棒从抛光设备2经擦拭设备9至拼接设备8过程中,无需人工搬运成品方棒。
80.在一种示例中,如图2和图3所示,成品方棒输送装置6可以包括第一输送线和第二
输送线,擦拭设备9位于第一输送线和第二输送线之间。第一输送线靠近抛光设备2,第二输送线靠近拼接设备8。第一输送线将成品方棒输送至擦拭设备9,擦拭上下料装置10将成品方棒上料至擦拭设备9,使得成品方棒在擦拭设备9上擦拭并检测。成品方棒被擦拭和检测后,被擦拭上下料装置10 下料至第二输送线,第二输送线将成品方棒输送至拼接设备8。
81.在一种示例中,如图2所示,上述擦拭设备9可以包括至少一个擦拭装置,每个擦拭装置具有至少一个擦拭工位。每个成品方棒输送装置6的数量为至少一个,每个成品方棒输送装置6用于向相应擦拭装置输送成品方棒。
82.举例说明,如图2所示,擦拭上下料装置10可以为机器人手臂,机器人手臂可以为四轴机器人,也可以为六轴机器人。当擦拭设备9包括多个擦拭装置时,多个擦拭装置可以设在擦拭上下料装置10的周向。擦拭工位可以具有方棒承载装置包括旋转机构、升降输送机构以及设在升降输送机构上的方棒夹持机构。旋转机构用于驱动升降输送机构和方棒夹持机构转动。
83.如图2所示,机器人手臂将成品方棒放置在方棒夹持机构,方棒夹持机构将成品方棒夹持。然后,升降输送机构驱动方棒夹持机构和成品一起升降至人员适应高度,人员在擦拭工位擦拭成品方棒,并在擦拭过程中检测成品方棒。在人员擦拭成品方棒时,旋转机构带动升降输送机构和方棒夹持机构转动,从而使得成品方棒转动,使得方便人员擦拭和检测成品方棒的各个位置。
84.在一种示例中,如图2所示,上述晶棒加工系统还可以包括外发晶棒下料输送装置11和内发晶棒下料输送装置12。外发晶棒下料输送装置11和内发晶棒下料输送装置12位于擦拭设备9附近。外发晶棒下料输送装置11和内发晶棒下料输送装置12可以和擦拭设备9设在擦拭上下料装置10的周向。外发晶棒下料输送装置11和内发晶棒下料输送装置12可以输送线,但不限于此。
85.如图2所示,在擦拭设备9将成品方棒擦拭并检测后,擦拭上下料装置10 可将成品方棒按需要进行放置。例如,当成品方棒的长度满足需要,无需拼接时,擦拭上下料装置10可将成品方棒放置在外发晶棒下料输送装置11上,外发晶棒下料输送装置11将成品方棒输送至包装工位,将成品方棒包装后,发送到外部。擦拭上下料装置10也可将成品方棒放置在内发晶棒下料输送装置12,内发晶棒下料输送装置12将成品方棒输送至且切片工序。当成品方棒的长度不满足需要时,擦拭上下料装置10将成品方棒放置在成品方棒输送装置6上,成品方棒输送装置6将成品方棒输送至拼接设备8进行拼接。
86.作为一种可能的实现方式,如图1所示,上述晶棒加工系统还包括与控制器电连接的切断设备13、切断上下料装置14、切断输送装置15以及尾料输送装置16。切断设备13与切方设备1沿着切断输送装置15的输送方向分布。尾料输送装置16位于切断设备13附近。
87.如图1所示,切断设备13、切断上下料装置14、切断输送装置15以及尾料输送装置16均与控制器电连接。基于此,利用控制器控制切断上下料装置14 对切断设备13进行上料,使得切断设备13将毛棒加工成圆棒,并控制切断上下料装置14将切断设备13上的圆棒下料至切断输送装置15。由于,切断设备 13与切方设备1沿着切断输送装置15的输送方向分布,因此,控制器可以控制切断输送装置15将圆棒输送至切方设备1,以实现方棒加工过程的自动化。另外,利用控制器控制切断上下料装置14、切断设备13以及切断输送装置15,为切方设备1提供圆棒,无需人工搬运圆棒。
88.不仅如此,如图1所示,尾料输送装置16位于切断设备13附近,可将切断设备13加工毛棒过程中产生的尾料放置在尾料输送装置16上,尾料输送装置16可以将尾料输送至尾料收集区,无需人工搬运尾料。
89.在一种示例中,如图1所示,上述切断设备13可以包括6个切断机,每3 个切断机分为一组。每个切断机上2个上料工位。切断上下料装置14可以为桁架机械手,切断上下料装置14可以设置2个,每个切断上下料装置14对应一组切断机。切断输送装置15设置一个,一个切断输送装置15对应两个切断上下料装置14。
90.如图1所示,将毛棒加工成圆棒过程中,人工将毛棒放入切断的上料工位,每个桁架机械手抓取上料工位中的毛棒放入切断机,使得切断机将毛棒加工成圆棒。然后,每个桁架机械手将相应切断机上的圆棒抓取,放置在切断输送装置15,切断输送装置15将圆棒输送至切方设备1。
91.在一种示例中,如图1所示,为方便从外部直接获取的圆棒或者经处理的异常圆棒需要切方时,可以在每个切断输送装置15的端头设置圆棒手动上料工位151。人工将从外部直接获取的圆棒或者经处理的异常圆棒放置在圆棒手动上料工位151,切断上下料装置14将圆棒手动上料工位151中的圆棒放置在切断输送装置15,切断输送装置15将圆棒输送至切方设备1。
92.在一种示例中,如图1所示,为方便将毛棒输送至切断设备13,可使用agv (automated guided vehicle,自动导引运输车)输送毛棒,从而避免人工搬运毛棒。
93.在一种示例中,如图1所示,尾料输送装置16位于切断设备13附近,当切断设备13包括多个切断装置时,多个切断装置沿尾料输送装置16的输送方向分布。切断设备13加工毛棒时,人工将毛棒成为圆棒所产生的尾料(头尾盖) 放置在专用收集框内。当专用收集框收集一定数量的尾料后,将专用收集框放置在尾料输送装置16上,尾料输送装置16将专用收集框输送至尾料收集区,从而不用人工将尾料搬运至尾料收集区。
94.在一种示例中,如图1所示,上述切断输送装置15可以包括圆棒输送线以及设在圆棒输送线上的圆棒上料传感器和圆棒下料传感器。圆棒输送线沿圆棒输送线的输送方向分布有圆棒上料工位和圆棒下料工位。圆棒上料传感器用于检测圆棒上料工位是否存在圆棒,圆棒下料传感器用于检测圆棒下料工位是否存在圆棒。
95.如图1所示,圆棒上料传感器和圆棒下料传感器以及圆棒输送线均与控制器电连接。圆棒输送线沿圆棒输送线的输送方向分布有圆棒上料工位和圆棒下料工位。基于此,当圆棒上料传感器检测到圆棒上料工位中存在圆棒时,圆棒上料传感器将圆棒上料工位中存在圆棒的信息反馈给控制器,控制器控制圆棒输送线运行,使得圆棒输送线将圆棒上料工位中的圆棒输送至圆棒下料工位。当圆棒下料传感器检测到圆棒下料工位中存在圆棒时,圆棒下料传感器将圆棒下料工位中存在圆棒的信息反馈给控制器,控制器控制切方上下料装置将圆棒下料工位中的圆棒上料至切方设备1。
96.在一种示例中,如图1所示,切断输送装置15可以包括相互接合的切断输送线152和切方传输线前段153。切断输送线152靠近切断设备13,切方传输线前段153靠近切方设备1。圆棒上料工位位于切断输送线152,圆棒下料工位位于切方传输线前段153,切断输送线152将圆棒上料工位上的圆棒输送至切方传输线前段153,切方传输线前段153将圆棒输送至圆棒下料工位。
97.在一种示例中,如图1所示,为方便工作人员穿过切断输送装置15,切方传输线前段153可以为龙门输送结构。龙门输送结构与上述切方传输线后段402 相同,再次不再赘述。
98.在一种可选方式中,如图1所示,上述晶棒加工系统还可以包括分别与控制器电连接的打码设备以及至少一个扫码设备。沿着切断输送装置15的输送方向,打码设备位于切断设备13与切方设备1之间。沿着切断输送装置15的输送方向,至少一个扫码设备位于打码设备与切方设备1之间。
99.如图1所示,沿着切断输送装置15的输送方向,打码设备位于切断设备13 与切方设备1之间。基于此,打码设备可以对切断设备13切断后的圆棒进行打码,进行圆棒信息标识。沿着切断输送装置15的输送方向,至少一个扫码设备位于打码设备与切方设备1之间。基于此,圆棒在切方前,扫码设备可对圆棒进行扫码,获取即将切方的圆棒信息。由于打码设备以及至少一个扫码设备均与控制器电连接,控制器可以收集、读取圆棒的信息,无需人工记录、核对圆棒的信息。
100.在一种可选方式中,如图1所示,上述沿着半成品方棒输送装置4的输送方向,至少一个扫码设备位于切方设备1与抛光设备2之间。
101.如图1所示,至少一个扫码设备位于切方设备1与抛光设备2之间。基于此,半成品方棒在抛光前,扫码设备可对半成品方棒进行扫码,获取即将抛光的半成品方棒信息。由于打码设备以及至少一个扫码设备均与控制器电连接,控制器可以收集、读取半成品方棒的信息,无需人工记录、核对半成品方棒的信息。
102.在一种示例中,如图1所示,扫码设备可以为打码机。打码机可以设置在切断输送装置15上。当毛棒被切断设备13切断成圆棒,在切断输送装置15上流转时,扫码设备对圆棒的端面进行打码(激光刻字),进行圆棒信息标识。
103.在一种示例中,如图1所示,扫码设备可以为扫码镜头。扫码镜头设在打码设备与切方设备1之间,圆棒在切方前,扫码镜头可对圆棒的打码处进行扫码,获取即将切方的圆棒信息。扫码镜头设在切方设备1与抛光设备2之间,半成品方棒在抛光前,扫码镜头对半成品方棒的打码处进行扫码,获取即将抛光的半成品方棒信息。
104.在一种可选方式中,如图1所示,上述晶棒加工系统还可以包括与控制器电连接的配棒设备17,沿着切断输送装置15的输送方向,配棒设备17位于切断设备13与切方设备1之间。在实际应用中,切方机同时加工两个圆棒,为提高切方机的工作效率,需要将长度差异较小的两个圆棒进行配棒。具体的长度差异值根据需要设定。
105.如图1所示,由于,沿着切断输送装置15的输送方向,配棒设备17位于切断设备13与切方设备1之间,因此,切断输送装置15输送圆棒过程中,圆棒会经过配棒设备17。而配棒设备17与控制器电连接,从而利用控制器控制配棒设备17将切断输送装置15上的圆棒进行配棒,方便切方设备1加工圆棒,并将配棒后的圆棒重新放回切断输送装置15,以实现晶棒加工过程的自动化。另外,利用控制器控制切断输送装置15和配棒设备17,在将圆棒从切断设备 13经配棒设备17至切方设备1过程中,无需人工搬运圆棒。
106.在一种示例中,如图1所示,当切断输送装置15包括切断输送线152和切方传输线前段153时,配棒设备17可以设在切断输送线152和切方传输线前段 153之间。配棒设备17分别与切断输送线152和切方传输线前段153连通。
107.在一种示例中,如图1所示,上述配棒设备17可以包括多个圆棒放置工位 171以及位于多个圆棒放置工位171上的配棒机械手172。配棒机械手172可以为桁架机械手。桁架机械手将切断输送线152上的圆棒抓取并放置在圆棒放置工位171上。然后继续抓取切断输送线152上的圆棒,根据圆棒的长度差异,将符合长度差异值的两个圆棒进行配棒。最后,桁架机械手连续抓取配棒后的两个圆棒,并将两个圆棒依次放置在切方传输线前段153,切方传输线前段153 将配棒后的圆棒输送至切方设备1。
108.本实用新型实施例中利用控制器是基于各种传感器信号识别方法的基础上,控制各个设备或装置。这些传感器的信号识别方法可以按照传感器的种类选择现有识别算法进行识别。
109.在上述实施方式的描述中,具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
110.以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
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