分断方法以及分断装置与流程

1.本发明涉及沿着划线分断基板的分断方法以及分断装置。


背景技术：

2.以往，通过在基板的表面形成划线的划线工序和沿着划线分断基板的断裂工序，从玻璃基板等脆性材料基板切出产品部。
3.在以下的专利文献1中，公开了一种通过将断裂棒压接在划线的附近，并且使断裂棒沿着划线滚动，从而分断基板的分断方法。在产品部为矩形的情况下，沿着四个边形成划线，并且对各边进行按照上述方法的分断工序。由此，基板沿着各边的划线弯曲，并且基板沿着划线被分断。
4.专利文献1：日本特许第5129826号公报
5.产品部的轮廓存在包括矩形的角被圆角化后的形状等曲线部的情况。在这种情况下，由于划线沿着产品部的轮廓形成，因此划线包括曲线部。如上所述，当划线包括曲线部时，需要沿着曲线部良好地分断基板，以不在产品部侧的端面产生缺口(崩边)、裂纹。


技术实现要素：

6.鉴于上述课题，本发明的目的在于，提供一种能够沿着包括曲线部的划线良好地分断基板的分断方法和分断装置。
7.本发明的第一方式涉及分断基板的分断方法。本方式的分断方法是将具有包括直线部和曲线部的形状的产品部通过沿着所述产品部的外形形成的划线从基板分断的分断方法，所述划线具有向所述基板的外周延伸的外接部，通过按压单元按压所述划线的外侧的边材部的区域中的所述外接部附近的起点位置，使所述按压单元的按压位置在所述边材部的区域内，在所述划线的周向上变化。
8.根据本方式的结构，当利用按压单元按压起点位置时，起点位置的裂纹朝基板的厚度方向扩展并到达基板的背面，由此发生产品部和边材部的分断。随着按压单元的移动，裂纹沿着按压单元按压的按压位置不断地扩展。在该结构中，按压位置沿着划线的周向变化。因此，裂纹也沿着划线的周向扩展。由此，能够从基板分断产品部。
9.另外，如上所述，由于裂纹沿着划线的周向扩展，因此当划线具有曲线部时，也通过使按压位置沿着曲线部的外侧移动，来使裂纹沿着曲线部平稳地扩展。因此，能够以良好的状态从基板分断产品部，而不会在产品部的直线部和曲线部的端面产生缺口(崩边)或裂纹。
10.在本方式的分断方法中，可以使所述按压单元的按压位置在所述边材部的区域内，从所述起点位置沿着所述划线的周向连续地移动。
11.根据该结构，由于裂纹随着按压位置连续地移动而连续地扩展，因此裂纹能够沿着划线平稳地扩展。因此，能够以更良好的状态从基板分断产品部。
12.在本方式的分断方法中，可以使所述按压位置沿着所述划线的曲线部分移动的速
度小于所述按压位置沿着所述划线的直线部分移动的速度。
13.根据该结构，按压单元按压曲线部的附近时的速度小于按压其他部分时的速度。由此，裂纹在曲线部中缓慢地扩展，并且裂纹的扩展方向容易沿着划线的曲线部。因此，能够良好地进行曲线部的分断。另外，在曲线部中，由于能够防止裂纹向划线以外的部分扩展，因此能够以良好地状态形成产品部的端面。
14.在本方式的分断方法中，可以使所述按压单元的按压位置在所述边材部的区域内，从所述起点位置沿着所述划线的周向间歇地移动。
15.根据该结构，即使是上述的按压方法，通过适当地调整按压位置的间隔，也可以使各按压位置中的因按压而扩展的裂纹在接下来的按压位置的按压的作用下，依次沿着划线扩展。由此，能够沿着划线从基板分断产品部。
16.在本方式的分断方法中，所述基板在所述产品部的区域内可以被支撑构件支撑，并在所述边材部的下方可以设置有空间。
17.根据该结构，当基板载置于支撑构件时，边材部处于从支撑构件伸出的状态。由此，当通过按压来分断边材部时，边材部在自重的作用下依次向下方的空间下垂，并在分断位置中产生裂纹开裂方向的力。因此，能够沿着划线从基板更平稳地分断产品部。
18.在本方式的分断方法中，所述产品部可以具有矩形的角被圆角化为圆弧状的形状，所述支撑构件可以具有比所述产品部的形状小且矩形的角被圆角化为圆弧状的形状，所述支撑构件中的所述角被圆角化为圆弧状的圆弧部的曲率可以设定为小于所述产品部中的所述角被圆角化的圆弧部的曲率。
19.根据该结构，由于支撑构件的圆弧部的曲率小于产品部的圆弧部的曲率，因此在产品部的圆弧部附近产生的应力被分散。因此，在通过按压来分断时，产品部的圆弧部附近不会受到过剩的应力，从而能够沿着产品部的圆弧部良好地分断边材部。由此，能够以更良好的状态从基板分断产品部，而不会在产品部的端面产生缺口(崩边)或裂纹。
20.在本方式的分断方法中，所述按压单元可以构成为用于按压所述边材部的按压构件。
21.本发明的第二方式涉及分断基板的分断装置。本方式的分断装置是将具有包括直线部和曲线部的形状的产品部通过沿着所述产品部的外形形成的划线从基板分断的分断装置，包括：支撑构件，支撑所述产品部；按压构件，按压所述划线的外侧的边材部的区域；以及按压位置调整单元，使所述按压构件的按压位置在所述边材部的区域内，在所述划线的周向上变化。
22.根据该结构，发挥与第一方式相同的效果。
23.在本方式的分断装置中，所述按压位置调整单元可以包括：移动机构，使所述按压构件相对于所述基板移动；以及控制部，控制所述移动机构。所述控制部可以构成为通过控制所述移动机构，使所述按压构件的按压位置在所述边材部的区域内，在所述划线的周向上变化。
24.根据本结构，通过控制部的控制，能够调整按压构件的按压位置。由此，能够使产品部的分断动作平稳地进行。
25.在该情况下，所述控制部可以构成为使所述按压构件的按压位置在所述边材部的区域内，在所述划线的周向上连续地移动。
26.另外，所述控制部可以构成为将所述按压构件沿着所述划线的曲线部分移动的速度设定为小于所述按压构件沿着所述划线的直线部分移动的速度。
27.在本方式的分断装置中，所述按压位置调整单元可以包括使沿着所述边材部配置的多个所述按压构件相对于所述基板接近以及分离的升降机构，当多个所述按压构件位于所述基板的上方时，可以将多个所述按压构件与所述基板之间的距离设定为随着所述划线的周向的位置的变化而变大。
28.根据该结构，当升降机构使多个按压构件接近基板时，从与基板的距离较短的按压构件依次抵接于基板。由此，按压位置沿着划线的周向间歇地移动。如上所述，仅通过使升降机构直线驱动，就能够使按压位置在划线的周向变化。因此，可以利用简单的结构分断基板，而不需要复杂的控制。
29.在本方式的分断装置中，所述按压位置调整单元可以包括使沿着所述边材部连续地配置的所述按压构件相对于所述基板接近以及分离的升降机构，当所述按压构件位于所述基板的上方时，可以将所述按压构件与所述基板之间的距离设定为随着所述划线的周向的位置的变化而变大。
30.根据该结构，当升降机构使按压构件接近基板时，按压构件从与基板的距离较短的部分依次抵接于基板。由此，按压位置沿着划线的周向连续地移动。如上所述，仅通过使升降机构直线驱动，就能够使按压位置在划线的周向变化。因此，可以利用简单的结构分断基板，而不需要复杂的控制。
31.在本方式的分断装置中，所述支撑构件可以构成为在所述产品部的区域内支撑所述基板，所述边材部可以构成为在其下方设置有空间。
32.在该情况下，所述支撑构件可以构成为包括：载置所述基板的载置面；以及截面积小于所述载置面的台座部。
33.根据该结构，当沿着划线分断的边材部的部分在自重的作用下向下方下垂时，允许进入形成在载置面与台座部之间的台阶的空间。由此，由于能够抑制被分断的边材部与台座部的侧壁发生碰撞而弯曲，因此不会从分断的边材部向基板施加不必要的应力。因此，能够从基板良好地分断产品部。
34.在本方式的分断装置中，所述产品部可以具有矩形的角被圆角化为圆弧状的形状，所述支撑构件可以具有比所述产品部的形状小且矩形的角被圆角化为圆弧状的形状，所述支撑构件中的所述角被圆角化的圆弧部的曲率可以小于所述产品部中的所述角被圆角化的圆弧部的曲率。
35.本方式的分断装置可以包括：划线头，用于形成所述划线；支撑框，用于支撑所述基板的所述产品部的外侧的区域；以及支撑框驱动部，在支撑所述产品部的外侧的区域的第一位置与不支撑所述产品部的外侧的区域的第二位置之间驱动所述支撑框，所述支撑框驱动部在形成所述划线时，可以将所述支撑框设定于第一位置，在分断所述边材部时，可以将所述支撑框设定于第二位置。
36.根据该结构，通过一个分断装置，可以进行划线的形成和边材部的分断这两方动作。
37.在该情况下，所述支撑框可以沿着所述划线的周向被分割为多个框部，在分断所述边材部时，所述支撑框驱动部可以将与所述按压构件的按压位置对应的位置的所述框部
从所述第一位置设定为所述第二位置。
38.根据该结构，在开始分断边材部时，边材部处于在周向的起点位置未被支撑框支撑的状态，而在周向的终点位置被支撑框支撑的状态。因此，在开始分断边材部时，在隔着起点位置附近的划线而与起点位置相邻的终点位置被对应的框部支撑，并在此状态下，向起点位置施加按压力。由此，裂开方向的力更有效地施加到起点位置附近的划线，结果，可以沿着划线平稳地分断起点位置附近的边材部。
39.如上所述，根据本发明，可以提供一种能够沿着包括曲线部的划线良好地分断基板的分断方法和分断装置。
40.通过以下示出的实施方式的说明可以进一步明确本发明的效果或意义。但是，以下示出的实施方式仅是实施本发明时的一个示例，本发明不受以下实施方式中所记载的任何限制。
附图说明
41.图1a是示出实施方式1的分断装置的示意图。图1b是示出实施方式1的分断装置中所使用的按压构件的结构的立体图。
42.图2a至图2c分别是用于说明实施方式的分断装置中的支撑部的结构的示意图。图2a是示出形成划线时的支撑部的状态的示意图。图2b是示出分断动作开始时的支撑部的状态的示意图。图2c是示出分断动作进行时的支撑部的状态的示意图。
43.图3示出实施方式1的分断装置的结构的框图。
44.图4a是示出使用实施方式1的分断装置进行的基板的分断方法的流程图。图4b是详细示出图4a中的基板的分断的流程图。
45.图5a是示出实施方式1的分断装置中的分断前的基板的状态的示意图。图5b是图5a的基板和支撑构件的侧视图。图5c是在实施方式1的分断装置中当对起点位置进行按压时的基板的示意图。图5d是图5c的基板和支撑构件的侧视图。
46.图6a是在实施方式1的分断装置中沿着划线进行分断时的基板的示意图。图6b是图6a的基板和支撑构件的侧视图。
47.图7a是示出变形例1的分断装置的结构的立体图。图7b是示出变形例1的分断装置中的按压构件的结构的立体图。
48.图8是示出变形例1的分断装置的结构的立体图。
49.图9是示出变形例1的分断装置的支撑构件的结构的立体图。
50.图10a是示出在变形例1的分断装置中分断基板前的状态的示意图。图10b是示出在变形例1的分断装置中正在分断基板时的基板的状态的示意图。
51.图11是示出变形例2的分断装置的结构的立体图。
52.图12是示出变形例2的分断装置的按压构件的结构的立体图。
53.图13是示出变形例3的分断装置的按压构件的结构的立体图。
54.图14a是示出另一变形例的分断装置中的支撑部的结构的示意图。图14b是示出在另一变形例的分断装置中载置基板时的支撑部的结构的示意图。图14c是示出在另一变形例的分断装置中通过按压构件分断基板时的基板和支撑部的结构的示意图。
55.附图标记说明
56.1：分断装置2：移动台(移动机构)
57.5：滚珠丝杠(移动机构)4：断裂头(移动机构)
58.11：导轨(移动机构)16：马达(移动机构)
59.21、121：支撑构件21a、121a：载置面
60.30、140、160、180：按压构件(按压单元)
61.41：支撑框50：控制部
62.54：断裂头驱动部(按压位置调整单元)
63.55：移动台驱动部(按压位置调整单元)
64.100：分断装置110：升降机构
65.122：台座部f：基板
66.f1：产品部f2：边材部
67.l：划线l1：划线
68.l2：外接部l11：曲线部
69.l12：直线部q1：起点位置
具体实施方式
70.以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，为了便于说明，在各图中附加了彼此正交的x轴、y轴以及z轴。z轴表示铅锤方向上的上方和下方。下文中，上方和下方分别是指z轴正侧和z轴负侧。
71.此外，在本实施方式中，移动台2、滚珠丝杠5、导轨11、马达16对应于权利要求保护范围中所记载的“移动机构”。
72.图1a是示意性地示出分断装置1的结构的图。
73.分断装置1是所谓的多头搭载型划线装置。多头搭载型划线装置具有两个功能、即在基板上形成划线的功能和沿着所形成的划线分断基板的功能。在本实施方式中，为了便于说明，将该多头搭载型划线装置称为“分断装置”。
74.分断装置1包括移动台2、划线头3以及断裂头4。移动台2与滚珠丝杠5螺合。移动台2被一对导轨6支撑为能够在y轴方向上移动。滚珠丝杠5通过马达的驱动来而转，由此移动台2沿着一对导轨6在y轴方向上移动。
75.在移动台2的上表面设置有马达7。马达7使位于上部的工作台8在x-y平面旋转并在规定角度定位。在工作台8上配置有支撑部20。在支撑部20的上表面，由吸附部51(参照图3)施加有负压。基板f通过吸附部51而被吸附从而保持在支撑部20的上表面。
76.基板f例如还可以是玻璃基板、低温烧制陶瓷或高温烧制陶瓷等陶瓷基板、硅基板、化合物半导体基板、蓝宝石基板、石英基板等。另外，基板f还可以在表面或者内部或附着或包括不属于脆性材料的薄膜或者半导体材料。在本实施方式中，分断方法应用于玻璃基板，尤其是薄型玻璃基板。
77.需要说明的是，基板f还可以是由两个基板贴合而成的贴合基板。作为这样的基板f可例举，在一方基板上形成有滤色器(cf)，而在另一方基板上形成有薄膜晶体管(tft)的基板。
78.划线头3和断裂头4分别内置有用于拍摄形成在该基板f的对准标记的相机(未图
示)。另外，桥9架设于支柱10a、10b，以横跨移动台2、工作台8以及支撑部20。
79.在桥9安装有导轨11。划线头3和断裂头4分别连接于导轨11。划线头3和断裂头4被设置为，分别由马达15、16(参照图3)驱动从而沿导轨11滑动，由此在x轴方向上移动。需要说明的是，马达15内置于划线头3，马达16也同样地内置于断裂头4。
80.划线头3在基板f形成划线。安装有刃尖12的夹具单元13安装于划线头3的接合部14。断裂头4沿着由划线头3在基板f形成的划线将基板f分断为产品部f1和边材部f2(参照图5a至图6a)。断裂头4与划线头3同样地设置有接合部14。在断裂头4的接合部14安装有按压构件30。
81.图1b是示出包括按压构件30的结构体的结构的立体图。
82.如图1b所示，按压构件30以被支撑构件31支撑的状态安装于图1a所示的断裂头4的接合部14。按压构件30是轴状的构件，下端形成为半球状并构成按压部32。
83.图2a至图2c分别是用于说明支撑部20的结构的示意图。图2a是示出形成划线时的支撑部20的状态的示意图。图2b是示出分断动作开始时的支撑部20的状态的示意图。图2c是示出分断动作进行时的支撑部20的状态的示意图。需要说明的是，图2a至图2c中，以斜线表示的部分是工作台8的上表面。
84.如图2a所示，支撑部20包括支撑构件21和包围支撑构件21的外侧的支撑框22。支撑框22在周向上被分割为第一框部22a和第二框部22b。支撑构件21是形成为矩形形状的板状构件。支撑构件21的上表面是载置基板f的产品部f1(参照图5a)的载置面21a。在载置面21a的中央部分形成有五个孔23。经由这些孔23通过吸附部51(参照图3)向基板f施加正压或负压。
85.第一框部22a和第二框部22b均是形成为l字状的板状构件。第一框部22a和第二框部22b被配置为包围支撑构件21的周围。此时，支撑构件21、第一框部22a以及第二框部22b形成为，支撑构件21的载置面21a与第一框部22a和第二框部22b的各自的上表面共面。
86.如图2a所示，当在基板f形成划线时，支撑构件21、第一框部22a以及第二框部22b配置于工作台8的上表面。基板f载置于上述状态的支撑构件21的载置面21a以及第一框部22a和第二框部22b的上表面。此时，通过由吸附部51(参照图3)向基板f施加负压，使基板f被吸附并保持于支撑构件21。划线形成在支撑构件21的外侧、即形成于第一框部22a和第二框部22b的区域。
87.这样，在基板f形成了划线之后，如图2b所示，第一框部22a下降到第一框部22a的上表面与工作台8的上表面形成共面的位置。然后，断裂头4的按压构件30(参照图1b)在第一框部22a的x轴正侧的端部的位置按压基板f，进一步地，从该位置到y轴负侧的端部的位置为止，沿着第一框部22a的形状连续按压基板f。
88.进一步地，如图2c所示，在按压构件30到达第一框部22a的y轴负侧的端部的位置之前的期间，第二框部22b下降到第二框部22b的上表面与工作台8的上表面形成共面的位置。然后，按压构件30从第二框部22b的x轴负侧的端部的位置到y轴正侧的端部的位置为止，沿着第二框部22b的形状连续按压基板f。由此，完成沿划线分断基板f。稍后，参照图5a至图6b详细说明沿划线分断基板f的方法。
89.图3是示出分断装置1的结构的框图。
90.如图3所示，分断装置1除了图1a和图1b的构成之外，还包括控制部50、吸附部51、
支撑框驱动部52、划线头驱动部53、断裂头驱动部54以及移动台驱动部55。
91.控制部50包括cpu等运算处理回路和rom、ram、硬盘等存储器。控制部50根据存储于存储器的程序来控制各部。
92.吸附部51向载置于支撑构件21的基板f施加正压或负压。支撑框驱动部52使第一框部22a和第二框部22b升降移动。划线头驱动部53通过对马达15进行驱动来驱动划线头3。断裂头驱动部54通过对马达16进行驱动来驱动断裂头4。移动台驱动部55通过驱动图1a所示的滚珠丝杠5来使移动台2在y轴方向上移动。
93.接着，利用图4a和图4b的流程图以及图5a至图6b的基板f和支撑部20的状态过渡图来对使用分断装置1的基板f的分断进行说明。
94.图4a是示出分断装置1的动作的流程图。图5a和图5b是示出分断前的基板f的状态的示意图。图5c和图5d是对起点位置q1进行按压时的基板f的示意图。图6a和图6b是沿着划线l分断时的基板f的示意图。
95.需要说明的是，图5a、图5c、图6a是从z轴正侧观察基板f和支撑部20时的示意图，图5b、图5d、图6b是从x轴正侧观察时的侧视图。
96.如图4a所示，在步骤s11中，控制部50通过支撑框驱动部52使第一框部22a和第二框部22b上升至工作台8的上表面。由此，支撑部20成为图2a所示的状态。
97.在该状态下，通过机械臂等搬送单元，将划线形成前的基板f载置于支撑部20的上表面。基板f的尺寸与支撑部20的上表面大致相同。在步骤s12中，控制部50使吸附部51产生负压，由此将基板f吸附于支撑构件21。还可以由用户取代机械臂，将基板f载置于支撑部20。
98.如图5a所示，在俯视图中，基板f具有矩形形状，并被分为产品部f1和边材部f2。产品部f1配置于基板f的内侧。在此，在俯视图中，产品部f1的形状是长方形的角被圆角化后的形状，在图5a中，与被划线l1包围的区域对应。产品部f1在与长方形的角对应的位置具有圆弧部。
99.支撑部20中的支撑构件21的形状(载置面21a的形状)与产品部f1的形状同样地是长方形的角被圆角化后的形状。支撑构件21在与长方形的角对应的位置具有圆弧部。支撑构件21的圆弧部的曲率小于产品部f1的圆弧部的曲率。另外，支撑构件21的尺寸也小于产品部f1的尺寸。
100.对于基板f，将产品部f1的各圆弧部配置于支撑构件21的各圆弧部的附近，并且将产品部f1的中央部分以与支撑构件21的中央部分重叠的方式载置于支撑构件21。当基板f以上述方式载置于支撑构件21时，产品部f1的外周部分和边材部f2载置于第一框部22a和第二框部22b的上表面。
101.在该状态下，控制部50如上所述地使得从吸附部51向基板f施加负压。由此，基板f被吸附于支撑构件21，从而被保持于支撑构件21。因此，基板f不会从支撑构件21偏移。
102.返回图4a，在步骤s13中，控制部50使得在基板f形成划线l。划线l沿着产品部f1的外周形成。此时，控制部50控制划线头驱动部53和移动台驱动部55，使划线头3相对于基板f朝x轴方向和y轴方向移动。由此，划线头3的刃尖12在基板f上进行二维移动，从而在基板f的表面形成划线l。
103.在形成划线l时，通过内置于划线头3的相机来进行基板f的定位。然后，在将图5a
的黑圆圈所示的位置p1设定为形成划线l的开始位置时，控制部50通过划线头驱动部53使划线头3位于位置p1的正上方。此时，如图5b所示地，基板f被构成支撑部20的支撑构件21、第一框部22a以及第二框部22b支撑。
104.然后，控制部50使刃尖12以规定的负载与基板f接触后，使刃尖12在基板f上沿着产品部f1的形状相对移动，由此形成划线l1。
105.如此，当形成了划线l1时、即划线头3沿着产品部f1的形状相对移动从而再次位于位置p1时，控制部50使刃尖12从位置p1直线移动到基板f的外周上的位置p2(图5a中的白圆圈所示的位置)。由此，在位置p1与位于经由位置p1而延长的划线l1的延长线上的位置p2之间形成外接部l2。
106.如上所述，划线l包括沿着产品部f1的外周形成的划线l1、以及从所述划线l1到达基板f的外周的外接部l2。另外，在划线l1中，四个曲线部l11与产品部f1的四个圆弧部对应，四个直线部l12与产品部f1的四个直线部对应。
107.然后，在步骤s14中，控制部50控制支撑框驱动部52，使第一框部22a下降。由此，支撑部20成为图2b所示的状态。基板f以图5d所示的状态被支撑于支撑部20。在外接部l2附近，处于仅被第二框部22b支撑而不被第一框部22a支撑的状态。
108.接着，在步骤s15中，控制部50使断裂头驱动部54使断裂头4位于图5c的起点位置q1。起点位置q1是图5c中用白色三角标记示出的位置，在边材部f2的区域中，相对于划线l的外接部l2位于y轴正侧附近。然后，控制部50控制断裂头4，使按压构件30以规定的负载按压起点位置q1。如此，当按压构件30按压起点位置q1时，外接部l2的外周侧的端部中的裂纹向基板f的厚度方向扩展并到达基板f的背面，进一步地，裂纹向外接部l2的内侧扩展，从而边材部f2的起点位置q1附近被从基板f分断。
109.此时，在外接部l2附近，如图5d所示地，由于外接部l2的y轴负侧的边材部f2被第二框部22b支撑，因此，当由按压构件30按压外接部l2的y轴正侧时，裂纹开裂方向的力有效地施加到外接部l2。由此，裂纹从外接部l2的外周侧的端部向外接部l2平稳地扩展，从而边材部f2的起点位置q1附近被从基板f良好地分断。
110.如此，当对起点位置q1附近进行分断时，在步骤s16中，控制部50控制支撑框驱动部52，使第二框部22b下降。由此，支撑部20成为图2c所示的状态。基板f以图6b所示的状态被支撑于支撑部20。需要说明的是，在进行了起点位置q1附近的分断之后，控制部50也可以暂时使按压构件30从基板f离开。
111.然后，在步骤s17中，控制部50控制断裂头驱动部54和移动台驱动部55，使断裂头4沿着划线l在边材部f2的区域相对移动。由此，基板f上的按压构件30的按压位置沿着边材部f2移动，伴随着该移动，边材部f2被从基板f分断。
112.对由断裂头4进行的基板f的分断进行具体说明，在步骤s15中位于图6a的起点位置q1的按压构件30，在步骤s17中，从起点位置q1移动到位置q2。在图6a中，位置q2是用黑色三角标记示出的位置。伴随着该移动，在外接部l2的x轴正侧的端部开裂至基板f的背面的裂纹，沿着外接部l2朝x轴负方向扩展。然后，当按压构件30到达位置q2时，按压构件30以保持按压边材部f2的状态，进一步地，沿着划线l1在边材部f2的区域内周向移动。在图6a中用虚线箭头示出了该移动方向。伴随着该移动，产生在外接部l2的裂纹从外接部l2向划线l1的直线部l12扩展，从而边材部f2沿着直线部l12被分断。
113.如此，按压构件30在边材部f2的区域内沿着划线l1周向移动，当约一圈之后到达位置q3时，边材部f2从划线l1的整周范围内被分断。由此，基板f的分断结束。位置q3在图6a中用白色方形标记表示，位于外接部l2上。
114.如此，随着按压构件30的移动，裂纹以起点位置q1为起点，从外接部l2向划线l1扩展，进一步地，沿划线l1扩展，因此可以从基板f平稳地分断边材部f2，从而可以从基板f平稳地切出产品部f1。
115.如此，当按压构件30对基板f的分断结束时，在步骤s18中，控制部50控制吸附部51，向基板f施加正压。由此，产品部f1与支撑构件21之间的吸附被解除，从而能够从支撑构件21拆下。然后，产品部f1被机械臂等搬送单元来回收。这样，分断装置1分断基板f的一系列的动作结束。
116.需要说明的是，在图4a的步骤s17中，优选地，将按压构件30的移动速度控制为划线l1的曲线部l11处的速度小于划线l1的直线部l12处的速度。由此，可以更平稳地分断曲线部l11。
117.另外，优选地，将与划线l1的曲线部l11对应的部分的按压构件30的移动轨迹设定为旋转中心与曲线部l11一致。换言之，按压构件30的移动轨迹的曲线部的曲率设定为小于曲线部l11的曲率。由此，裂纹的扩展方向容易沿着曲线部l11。
118.图4b是示出按压构件30相对于基板f的移动控制的流程图。
119.在步骤s21中，控制部50使按压构件30以规定的负载从起点位置q1开始在边材部f2的周向移动。此时，在步骤s22中，首先，控制部50使按压构件30以第一速度相对于基板f移动。由此，如图6a所示，按压构件30在起点位置q1到位置q2之间沿着外接部l2相对地以第一速度移动，而且在边材部f2的区域内从位置q2沿着划线l1的直线部l12相对地以第一速度移动。
120.在步骤s23中，控制部50判定按压构件30是否到达划线l1的曲线部l11的附近。在按压构件30到达划线l1的曲线部l11的附近的情况下(s23：是(yes))，控制部50将按压构件30的移动速度切换为比第一速度低的第二速度(s24)。
121.然后，在步骤s25中，控制部50判定按压构件30是否通过了曲线部l11附近。在按压构件30还未通过曲线部l11附近的情况下(s25：否(no))，使按压构件30的移动速度仍保持为第二速度(s24)。
122.之后，如果按压构件30通过了曲线部l11附近(s25：是(yes))，则控制部50将处理返回至步骤s22，并且将按压构件30的移动速度从第二速度切换到第一速度。由此，按压构件30在通过了曲线部l11之后，沿着直线部l12以第一速度移动。
123.然后，控制部50直到在步骤s26中判定出按压构件30到达位置q3为止，执行与上述相同的处理。在该情况下，位置q3是按压构件30的移动终点。由此，按压构件30沿着划线l1的直线部l12以第一速度在边材部f2的区域移动，另外，沿着划线l1的曲线部l11以比第一速度慢的第二速度在边材部f2的区域移动。这样，当按压构件30到达位置q3时(s26：是(yes))，控制部50结束图4b的处理。由此，图4a的步骤s17中的基板f的分断处理结束。
124.如此，在本实施方式中，当按压构件30沿着划线l在边材部f2的区域内相对移动时，根据通过曲线部l11的附近的情况和通过直线部l12的附近的情况，切换按压构件30的相对移动速度。由此，裂纹能够在曲线部l11中缓慢地扩展，从而曲线部l11能够被平稳且良
好地分断。
125.需要说明的是，在上述的分断装置1的动作中，还可以根据需要使工作台8转动。
126.另外，在上述中，对划线头3和断裂头4在x轴方向上移动、移动台2在y轴方向上移动、工作台8的旋转的分断装置1进行了说明，但是，分断装置1只要是能够使划线头3和断裂头4相对于基板f在x-y平面的面内方向上进行二维相对移动的结构即可。例如，分断装置1可以使划线头3和断裂头4固定，而使移动台2在x轴和y轴方向上移动。
127.＜实施方式的效果＞
128.根据本实施方式，可获得以下效果。
129.如图4a、图5a至图6b所示，当利用按压构件30按压起点位置q1时，在起点位置q1中，裂纹向基板f的厚度方向扩展，发生基板f的分断。随着按压构件30的移动，产品部f1沿着按压构件30按压的按压位置从基板f分离。在该结构中，按压位置沿着划线l的周向发生变化。因此，裂纹也沿着划线l的周向扩展。由此，能够从基板f分断产品部f1。
130.另外，如上所述，由于裂纹沿着划线l的周向扩展，因此，在划线l具有曲线部l11的情况下，通过使按压位置沿着曲线部l11的外侧移动，使裂纹沿着曲线部l11平稳地扩展。从而，可以以良好的状态从基板f分断产品部f1，而不会在产品部f1的直线部l12和曲线部l11的端面产生缺口(崩边)和裂纹。
131.如图4a、图4b、图5a至图6b所示，随着按压位置的连续移动，裂纹连续地扩展，因此能够使裂纹沿着划线l平稳地扩展。从而，可以以良好的状态从基板f分断产品部f1。
132.通常，在脆性材料基板的厚度变薄的情况下，当沿着曲线形状弯折基板时，产生褶皱，从而曲线部容易受到过剩的应力。因此，在产品部的角部的形状形成为曲线状的情况下，若弯折该角部，则裂纹可能向偏离划线的方向、例如向产品部扩展。
133.但是，如图4a、图4b、图5a至图6b所示，根据本实施方式，按压构件30按压曲线部l11的附近时的速度比按压其他部分时的速度慢。由此，在曲线部l11中，裂纹缓慢地扩展，从而裂纹的扩展方向容易沿着划线l的曲线部l11。因此，能够使曲线部l11的分断良好地进行。另外，在曲线部l11中，由于能够防止裂纹向产品部f1侧扩展，因此能够使产品部f1的端面以良好的状态形成。
134.如图2c、图5a至图6b所示，当基板f载置于支撑部20时，边材部f2处于从支撑构件21伸出的状态。由此，当通过按压来分断边材部f2时，边材部f2在自重作用下，依次向下方的空间下垂，在分断位置上产生裂纹开裂方向的力。因此，能够沿着划线l从基板f更加平稳地分断产品部f1。
135.另外，如上所述，在基板f的分断位置产生裂纹开裂方向的力，这样的裂纹沿着划线l连续形成。因此，裂纹沿着划线l扩展，而不会偏离至边材部f2的区域内或产品部f1的区域内。其结果，边材部f2以连接的状态从基板f去除，而不会在中途断开。由此，在作为产品部f1与边材部f2的边界的产品部f1的端面，能够抑制产生缺口、裂纹，从而产品部f1的品质得到提高。
136.如图2c、图5a至图6b所示，由于支撑构件21(载置面21a)的圆弧部曲率小于产品部f1的圆弧部的曲率，因此产生在产品部f1的圆弧部附近的应力被分散。因此，在通过按压来分断时，圆弧部附近不会受到过剩的应力，从而可以沿着产品部f1的圆弧部良好地分断边材部f2。由此，能够以更加良好的状态从基板f分断产品部f1，而不会在产品部f1的端面产
生缺口(崩边)或裂纹。
137.如图1a、图3至图4b所示，通过控制部50的控制，能够调整按压构件30的按压位置。由此，能够使产品部f1的分断动作平稳地进行。
138.＜变形例＞
139.以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明不限于上述实施方式，本发明的实施方式还可以进行各种变形。
140.需要说明的是，在以下的各变形例中，分断对象的基板是与上述实施方式相同的基板f，产品部f1和边材部f2的形状也相同。
141.[变形例1]
[0142]
图7a是示出变形例1的分断装置100的结构的立体图。
[0143]
变形例1的分断装置100是用于将预先如图5a所示形成有划线l1和外接部l2的基板f沿着外接部l2和划线l1进行分断的装置。即，分断装置100不包括用于在基板f形成划线的结构，仅包括用于将基板f沿着划线分断的结构。
[0144]
如图7a所示，分断装置100包括升降机构110、支撑部120、框构件130以及按压构件140。参照图7b对按压构件140进行说明。另外，在变形例1的分断装置100中，用户将基板f手动安装于分断装置100，操作按压构件140。
[0145]
升降机构110设置于作为基座的设置台101。在升降机构110中，矩形形状的板部111形成有沿x轴方向排列的三个孔。在这三个孔中，除了位于x轴方向的中央的孔111a以外的两个孔，分别设置有直线衬套112。在各个直线衬套112中插入有轴113。
[0146]
在各个轴113的上部分别安装有固定环114。在各轴113的下端部分别形成有未图示的螺栓孔。另外，施力构件115分别设置为覆盖各个轴113的周围。各施力构件115以上端部被固定环114且下端部被直线衬套112夹住的方式卡止。
[0147]
在位于x轴方向的中央的孔111a嵌入有螺栓116的螺栓轴。螺栓轴的下端与支撑体117的上表面抵接。
[0148]
支撑体117形成为从矩形形状的板构件去掉了除y轴正侧的边缘部117a、x轴正侧的边缘部117b以及x轴负侧的边缘部117c之外的其他部分的形状。在边缘部117a与边缘部117b、117c之间，设置有微小的台阶。该台阶的z轴方向的宽度与框构件130的厚度方向的宽度一致。上述的螺栓116的螺栓轴的下端部与支撑体117的边缘部117a抵接。
[0149]
另外，在支撑体117的边缘部117a形成有两个螺栓孔117d(参照图8)。未图示的螺栓从下方插入到上述螺栓孔117d和上述的形成于各轴113的下端部的未图示的螺栓孔。由此，支撑体117和各个轴113成为连接的状态。
[0150]
板部111通过分别设置于台118的x轴正侧和负侧的一对支撑板119支撑。由此，构成升降机构110。
[0151]
支撑部120一体地包括支撑构件121、台座部122以及板部123。板部123设置于设置台101的上表面的工作台101a。
[0152]
支撑构件121的上表面成为基板f的载置面121a。与上述实施方式同样地，在载置面121a形成有用于通过未图示的吸附部向基板f供给空气的孔124。
[0153]
支撑部120中的支撑构件121的形状(载置面121a的形状)与上述实施方式相同。即，与产品部f1的形状同样地具有角被圆角化后的形状。支撑构件121在与角对应的位置具
有圆弧部。支撑构件121的圆弧部的曲率小于产品部f1的圆弧部的曲率，支撑构件121的尺寸小于产品部f1的尺寸。
[0154]
台座部122形成为大致矩形形状。台座部122形成为，以平行于x-y平面的平面切断时，其截面积小于支撑构件121。
[0155]
框构件130是在矩形形状的板构件的中央部分形成大开口的构件。框构件130的x轴正侧和负侧的边缘部分别载置于支撑体117的边缘部117b、117c，框构件130的y轴正侧的边缘部载置于支撑体117的边缘部117a。此时，框构件130以嵌入在支撑体117的边缘部117a与边缘部117b、117c之间的台阶的方式载置。在该状态下，框构件130的x轴正侧和负侧的角部被螺纹固定于支撑体117。由此，框构件130固定于支撑体117。
[0156]
图7b是示出按压构件140的结构的立体图。
[0157]
如图7b所示，按压构件140由握持部141、按压部142构成。握持部141是细长圆柱状的构件，下端部设置有按压部142。按压部142是轴状构件，下端部与上述实施方式的按压部32同样地形成为半球状。用户在分断基板f时，握住按压构件140的握持部141，利用按压部142的下端部按压基板f。
[0158]
接着，对使用了分断装置100的基板f的分断进行说明。
[0159]
图8是示出分断基板f时的分断装置100的结构的立体图。需要说明的是，在图8中，以斜线示出了基板f。
[0160]
如图8所示，当使用分断装置100分断基板f时，用户将形成有划线l1(参照图5a)的基板f载置于支撑构件121的载置面121a。接着，用户操作未图示的操作部，通过未图示的吸附部经由孔124向基板f施加负压。基板f的载置方法与上述实施方式相同(参照图5a)。这与上述实施方式中的图4a的流程图的步骤s12的处理对应。
[0161]
接着，用户调整框构件130的上下位置。当用户下压框构件130时，支撑体117和框构件130克服施力构件115的施力而下降。此时，用户在按压构件140的握持部141与按压部142之间的台阶抵接于框构件130的内周缘时，将框构件130下降到从按压部142的顶端向基板f施加所希望的负载的位置(调整位置)。在该状态下，用户紧固螺栓116，使螺栓的下端抵接于支撑体117的上表面。由此，框构件130通过施力构件115的施力，卡止在上述的调整位置。
[0162]
用户在调整了框构件130的高度位置之后，利用按压构件140的按压部142按压基板f。具体而言，用户使按压部142从基板f的位置q2(参照图6a)沿着划线l1在划线l1的周向上移动。此时，用户在将按压构件140的台阶紧贴于框构件130的开口的侧壁的同时，使按压构件140移动。
[0163]
即，如图6a所示，用户使按压构件140从位置q2出发，在边材部f2的区域内的划线l1的附近，沿着划线l1在周向上移动。通过一边使按压构件140的台阶紧贴于框构件130的开口的侧壁一边使按压构件140移动，来使按压构件140的按压部142形成如上所述的轨迹。当按压构件140(按压部142)位于位置q3(参照图6a)时，基板f的分断结束。这与图4a的步骤s17的处理对应。
[0164]
当基板f分断结束时，用户操作操作部，解除由未图示的吸附部产生的载置面121a(支撑构件121)与基板f之间的吸附，并回收基板f。这与图4a的步骤s18的处理对应。
[0165]
由此，分断装置100分断基板f的一系列的处理结束。
[0166]
变形例1的情况与上述实施方式同样地，用户也可以根据按压部142按压的基板f(边材部f2的区域内)的位置，变更按压构件140的移动速度。即，用户使按压构件140沿着划线l1的曲线部l11移动时的移动速度小于按压构件140沿着划线l1的直线部l12移动时的移动速度。由此，能够发挥与上述实施方式的图4b相同的作用。
[0167]
图9是示出变形例1的支撑部120的结构的立体图。
[0168]
如图9所示，支撑部120包括支撑构件121、座部122以及板部123。如参照图7a所描述，支撑部120形成为以平行于x-y平面的平面切断时的台座部122的截面积小于载置面121a。通过使板部123的四角螺纹固定于图7的工作台101a，来使支撑部120固定于设置台101。
[0169]
图10a是用于说明分断基板f前的基板f的状态的示意图。图10b是示出正在分断基板f时的基板f的状态的图。
[0170]
在使用如图10a所示的支撑部120，尤其是在使用支撑构件121和台座部122来分断基板f时，基板f载置于支撑构件121的载置面121a。
[0171]
当用户操作按压构件140，并一边沿着划线l1(参照图6a)按压基板f(边材部f2的区域内)一边移动时，在起点位置q1(参照图6a)产生的裂纹不断地扩展。由此，边材部f2中先被按压部142按压而分断的部分随着边材部f2的之后被按压的部分的变形而变形，从而被分断的边材部f2不断地向下方下垂。
[0172]
此时，如图10b所示，由于在支撑构件121与台座部122之间形成z轴方向的台阶，因此边材部f2进入支撑构件121的背侧并下垂。
[0173]
如上所述，在变形例1的结构中，当沿着划线l1分断的边材部f2的部分下垂时，允许进入到产生于支撑构件121与台座部122之间的台阶的空间。由此，能够抑制分断的边材部f2的端面与台座部122的侧壁发生碰撞而弯曲，从而不会从分断的边材部f2向基板f施加不必要的应力。因此，能够从基板f良好地分断产品部f1。
[0174]
[变形例2]
[0175]
图11是示出变形例2的分断装置100的结构的立体图。
[0176]
如图11所示，分断装置100包括升降机构110、支撑部120、框构件150以及按压构件160。在变形例2的分断装置100中，框构件150和按压构件160与变形例1的框构件130和按压构件140不同。由于其他结构与变形例1相同，因此省略说明。另外，在图11中，省略了基板f。
[0177]
框构件150与上述变形例1的框构件130同样地，形成为在板状的构件的中央设置有开口。但是，变形例2的框构件150与变形例1的框构件130相比，厚度较厚，并且形成于中央部分的开口的面积较小。框构件150以与上述变形例1的框构件130同样的状态设置于支撑体117。
[0178]
另外，在框构件150沿着开口的周围形成有多个螺栓孔150a。在这些螺栓孔150a分别螺旋紧固有按压构件160。在按压构件160的轴部形成有螺纹槽。按压构件160的顶端是球面状，向z轴负侧突出。
[0179]
图12是从z轴负侧观察按压构件160安装于框构件150的状态的立体图。
[0180]
多个按压构件160配置于能够按压基板f的边材部f2的区域内的位置。即，多个按压构件160以在基板f支撑于支撑部120的状态下沿着基板f的边材部f2的区域排列的方式安装于框构件150。另外，多个按压构件160设置为从框构件150突出的突出量各不相同。具
体而言，多个按压构件160在框构件150被设定为，当基板f支撑于支撑部120且按压构件160位于基板f的上方时，多个按压构件160与基板f(边材部f2区域内)之间的距离随着划线l1的周向的位置的变化而变长。各按压构件160的突出量可以通过按压构件160相对于框构件150的螺纹拧入量来调整。
[0181]
在图11的状态下，支撑体117和框构件150的高度位置(z轴方向上的位置)被调整为，突出量最大的按压构件160与载置于支撑构件121的基板f的表面隔开规定距离。支撑体117和框构件150的高度位置与上述实施方式同样地，通过螺栓116的突出量来调整。
[0182]
在该状态下，用户将基板f载置于支撑部120(支撑构件121的载置面121a)，并通过使未图示的吸附部动作，来将基板f吸附于支撑构件121。然后，用户将框构件150向下方下压，使多个按压构件160与框构件150一起下降。由此，与基板f的表面(边材部f2的表面)距离最短的按压构件160最先与边材部f2抵接，然后，以与边材部f2的距离短的顺序，各按压构件160依次与边材部f2抵接。由此，按压构件160按压的边材部f2的位置，沿着划线l1的周向间歇地移动。
[0183]
此时，按压位置沿着在图6a中用虚线示出的轨迹移动。如此，以使按压位置发生变化的方式调节多个按压构件160的突出量。由此，与图6a的情况同样地，首先，外接部l2的外周侧边缘的裂纹向基板f的厚度方向扩展，进而裂纹沿着外接部l2扩展。然后，当按压下一个按压位置时，裂纹向划线l1的直线部l12扩展，进一步地，随着按压位置的移动，裂纹沿着划线l1扩展。如此，当按压位置绕回到外接部l2附近时，裂纹在划线l1的整周扩展，从而边材部f2被从基板f分断。
[0184]
如上所述，在变形例2的结构中，仅通过由升降机构110直线驱动框构件150，就能够在划线l1的周向上改变按压构件160的按压位置。因此，能够利用简单的结构分断基板f，而无需复杂的控制。
[0185]
需要说明的是，相邻的按压构件160之间的间隔被调整为，使由一个按压构件160按压而产生于划线l1的裂纹能够通过其相邻的按压构件160的按压扩展到该按压位置附近的划线l1。
[0186]
另外，在此，手动升降框构件150，但是框构件150还可以通过以马达或汽缸等作为驱动源的驱动机构来升降。在该情况下，例如，驱动机构构成为使两个轴113同时升降。另外，在该驱动机构中，还可以与上述实施方式同样地控制为，按压位置在划线l1的曲线部l11附近移动时的速度低于按压位置在划线l1的直线部l12附近移动时的速度。另外，如上所述，即使在手动升降框构件150的情况下，用户也可以改变框构件150的下降速度，以实现与上述控制同样的动作。
[0187]
[变形例3]
[0188]
图13是从z轴负侧观察变形例3的分断装置100的框构件170和按压构件180的结构的立体图。
[0189]
在变形例3的分断装置100中，框构件170和按压构件180与变形例1的框构件130和按压构件140不同。由于变形例3的其他结构与变形例1相同，因此省略说明。分断装置100的结构与图11的结构相同。图13的框构件170取代图11的框构件150安装于支撑体117。
[0190]
如图13所示，框构件170具有与上述变形例2的框构件150相同的形状。在变形例3的框构件170中，开口部分的四角附近分别形成有两个螺栓孔170a。螺栓182螺纹固定于各
个螺栓孔170a。
[0191]
按压部181通过粘接剂等固定手段固定于八个螺栓182的顶端。按压部181具有细长的一连续的板状构件折弯成框状的形状。在俯视图中，按压部181以轨道状旋绕。八个螺栓182从框构件170突出的突出量各不相同。具体而言，在基板f安装于图11的支撑构件121且按压部181位于基板f的上方的状态下，螺栓182的下端与基板f(边材部f2区域内)之间的距离被设定为随着划线l1的周向的位置的变化而变大。
[0192]
如上所述，通过调整八个螺栓182的突出量，按压部181与基板f之间的距离也随着划线l1的周向的位置的变化而变大。因此，当将框构件170安装于图11的分断装置100，进而手动降低框构件170时，按压部181从与基板f的距离短的部分开始依次与基板f抵接。
[0193]
在俯视图中，按压部181沿着基板f的边材部f2的区域配置。在按压部181中，与边材部f2之间的距离最短的端部位于图6a的起点位置q1，从该位置开始，沿着图6a的虚线箭头，与边材部f2之间的距离逐渐变大。因此，当用户手动降低框构件170时，按压部181从图6a的起点位置q1沿着虚线箭头与边材部f2抵接。由此，按压位置沿着划线l1的周向连续地移动。
[0194]
如上所述，当按压位置连续地移动时，产生在起点位置q1附近的裂纹沿着划线l1扩展。通过使裂纹在划线l1的整周扩展，来沿着划线l1分断基板f。
[0195]
如上所述，同样在变形例3中，仅通过手动直线地降低框构件170，就能够使按压部181按压边材部f2的位置在划线l1的周向上变化。因此，能够利用简单的结构分断基板f，而无需复杂的控制。另外，在变形例3的结构中，与上述变形例2不同地，按压部181按压边材部f2的位置沿着边材部f2连续地变化。因此，可以使裂纹沿着划线l1更平稳地扩展。
[0196]
需要说明的是，同样在变形例3中，与上述变形例2同样地，可以通过驱动机构来使框构件170升降。另外，可以控制框构件170升降，以使曲线部l11附近的按压位置的移动速度小于直线部l12附近的按压位置的移动速度。由此，可以使曲线部l11的分断良好地进行。
[0197]
＜其他变形例＞
[0198]
在上述实施方式中，在控制部50的控制下，按压构件30的按压位置沿着边材部f2连续变化。但是，控制部50也可以使按压构件30按压的位置沿着边材部f2间歇地变化。
[0199]
在该情况下，在边材部f2区域内，沿着划线l1设定有多个按压位置。控制部50控制断裂头驱动部54和移动台驱动部55，以使按压构件30依次按压上述按压位置。具体而言，控制部50一边使按压构件30沿着边材部f2移动，一边在按压构件30在相邻的按压位置之间移动之时，朝向断裂头4使按压构件30上升，从而使按压构件30从边材部f2分离。
[0200]
根据该控制，与上述变形例2同样地，能够利用按压构件30在周向上间歇地按压边材部f2。由此，可以使裂纹沿着外接部l2和划线l1扩展，从而可以使基板f沿着划线l1分断。
[0201]
另外，在上述实施方式中，在分断基板f时，第一框部22a和第二框部22b依次下降，但是在分断基板f时，第一框部22a和第二框部22b也可以同时下降。
[0202]
在该情况下，与上述实施方式不同地，当按压构件30按压起点位置q1时，基板f不被第二框部22b支撑。因此，如果按压起点位置q1，则对于边材部f2来说，隔着外接部l2而与起点位置q1相反的一侧的位置也与起点位置q1一起向下方移动，其结果，与上述实施方式相比，外接部l2难以受到开裂方向的力。因此，在分断基板f时，如果使第一框部22a和第二框部22b同时下降，则外接部l2中裂纹的形成可能比上述实施方式的情况略差。
[0203]
因此，为了使裂纹在外接部l2良好地扩展，优选地，如上述实施方式那样，当按压起点位置q1时，仅使第一框部22a从基板f离开而利用第二框部22b支撑基板f。需要说明的是，使第二框部22b从基板f离开的时机可以不必如上述实施方式那样地是按压构件30从起点位置q1开始移动前的时机，只要是按压构件30的按压位置进入第二框部22b之前的任一时机即可。
[0204]
另外，第一框部22a和第二框部22b从基板f退避的方法，不限于上述实施方式那样地使第一框部22a和第二框部22b下降的方法，例如，还可以通过使第一框部22a和第二框部22b向平行于x-y平面的方向滑动，来使第一框部22a和第二框部22b从基板f退避。
[0205]
另外，在上述实施方式中，构成支撑部20的第一框部22a和第二框部22b的形状形成为l字状，但是第一框部22a和第二框部22b的形状不限于此。
[0206]
图14a是示出另一变形例的分断装置中的支撑部40的结构的示意图。图14b是示出载置基板f时的支撑部40的结构的示意图。图14c是示出按压构件30按压基板f时的基板f和支撑部40的结构的示意图。此外，在图14b中，为了说明第二框部41b的配置，假想地，用虚线示出了按压构件30在基板f中的移动轨迹。
[0207]
如图14a所示，支撑部40具有配置为包围支撑构件21的整周的支撑框41。支撑框41由第一框部41a和矩形状的第二框部41b构成，第二框部41b被配置为构成第一框部41a的一部分。如图14b所示，更详细而言，第二框部41b配置于如下位置：在将基板f载置于支撑部40时，能够在隔着外接部l2而与起点位置q1相反的一侧(y轴负侧)支撑基板f，并且不会妨碍按压构件30的移动。
[0208]
以与上述实施方式相同的步骤对被上述支撑部40支撑的基板f形成划线l和分断基板f。在此，在上述实施方式中，在图4a的流程图中，在步骤s16中，为了按压构件30移动，因此使第二框部22b升降。但是，如上所述，在支撑部40中，第二框部41b配置于不会妨碍按压构件30的移动轨迹的位置。因此，能够不执行图4a的步骤s16的处理，并如图14c所示，以第二框部41b配置于工作台8上的状态，使按压构件30移动。
[0209]
需要说明的是，在图14a至图14c中，示出第二框部41b的形状为矩形形状，但是只要是在按压构件30在起点位置q1进行按压时，能够在隔着外接部l2而与起点位置q1相反的一侧(y轴负侧)支撑基板f的形状即可。
[0210]
另外，在上述变形例2中，按压构件160通过螺纹固定配置于框构件150，但是按压构件160还可以以螺纹固定之外的方法配置。例如，轴状的按压构件160还可以压入于形成在框构件150的孔而安装到框构件150。或者，多个按压构件160还可以一体地形成于框构件150的下表面。变形例3的螺栓182也能够同样地变更。
[0211]
另外，在实施方式1所示的分断装置1的结构中，可以适当变更图1a的结构。例如，可以通过在图1a所示的结构中省略划线头3，来构成分断装置1。在该情况下，可以通过其他划线装置来在基板f形成划线l1和外接部l2。
[0212]
另外，变形例2的按压构件160的排列方法不限于图12所示的排列方法。例如，相邻的按压构件160之间的间隔和所配置的按压构件160的数量，可以从图12所示的间隔和数量变更。另外，按压构件160的直径不必相同，也可以沿着边材部f2配置直径不相同的多个种类的按压构件160。
[0213]
另外，上述实施方式和变形例1至3所示的各按压构件的结构也可以适当变更。例
如，在上述实施方式和变形例1、2中，按压构件的顶端是球状，但是按压构件的顶端还可以是椭圆或圆锥的顶端被圆化的形状等其他形状。
[0214]
另外，在上述实施方式中，按压构件30是圆筒形，也可以是在边材部f2上滚动的构件。
[0215]
另外，产品部f1的形状也不限于上述实施方式和变形例1至3所示的形状，例如，还可以是具有直线部和曲线部的其他形状。例如，产品部f1的形状可以是将正方形或梯形的角部圆角化为圆弧状的形状。在该情况下，只要在包围产品部f1的边材部f2的区域中，以按压位置在周向上移动的方式按压边材部f2即可。
[0216]
另外，在上述实施方式中，基板f直接载置于支撑构件21的载置面21a，但是还可以在基板f与载置面21a之间，例如夹设诸如弹性体的片材。在该情况下，当在基板f形成划线l时，能够置于支撑构件21的载置面21a。该片材使来自形成载置面21a的孔23的空气通向基板f。
[0217]
支撑构件21的载置面21a具有微小的凹凸。当片材置于基板f与载置面21a之间时，由于片材吸收上述的微小的凹凸，因此可以使基板f水平地载置于载置面21a。因此，可以使基板f稳定地载置，从而能够使划线l准确地形成，并且能够沿着划线l分断基板f。
[0218]
另外，在上述实施方式中，利用按压构件30按压基板f，从而分断基板f，但是还可以例如通过从喷嘴喷射空气等流体，来按压基板f。
[0219]
此外，在权利要求保护范围所示的技术思想的范围内，可以适当地对本发明的实施方式进行各种变形。