晶圆储存放置货架的制作方法

1.本实用新型涉及储存设备技术领域，尤其涉及晶圆储存放置货架。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的ic产品。生产制成的晶圆通常需要放置于储存柜中进行储存，通常的储存柜由多个储存格体组成，传统储存柜的储存格的尺寸通常为固定规格，而由于生产制成的圆晶尺寸规格差异，固定规格的储存格无法满足存放的配用性。


技术实现要素：

3.为了解决上述问题，本实用新型提出晶圆储存放置货架，以更加确切地解决上述所述问题。
4.本实用新型通过以下技术方案实现的：
5.本实用新型提出晶圆储存放置货架，包括储存货架，所述储存货架的内腔焊接有多片水平横置的分隔板，储存货架的内腔由多片分隔板分隔为一级储存室、二级储存室和三级储存室，一级储存室的高度大于二级储存室，二级储存室的高度大于三级储存室，所述一级储存室中焊接有多片垂直设置的固定挡板，一级储存室由多片固定挡板分隔为若干个标准储存分格，所述二级储存室、三级储存室中均设有多片呈垂直设置的可调挡板，二级储存室、三级储存室均由多片可调挡板分隔为若干个可调式储存分格。
6.进一步的，所述分隔板的外边一体成型有滑轴，可调挡板的前侧底部焊接有滑套，且滑套与相对应的滑轴配合滑接，所述二级储存室、三级储存室的内部均设有一对水平横向的滑杆，且可调挡板的内端与相对应的一对滑杆配合滑接。
7.进一步的，所述滑套的内部粘合固定有阻尼内套，且阻尼内套与滑轴的外壁紧密贴合。
8.进一步的，沿所述滑套的外部螺接有一根限位螺钉，且限位螺钉的内端与阻尼内套相抵触。
9.进一步的，所述二级储存室、三级储存室被多片可调挡板分隔构成的可调式储存分格中，可调式储存分格的两侧壁均粘合固定有均匀排布设置的弹性橡胶凸块。
10.本实用新型的有益效果：
11.1、本实用新型中，储存货架的内腔由多片分隔板分隔为一级储存室、二级储存室和三级储存室，一级储存室由多片固定挡板分隔为若干个标准储存分格，标准储存分格用于放置常用的标准规格晶圆，二级储存室、三级储存室中均设有多片呈垂直设置的可调挡板，二级储存室、三级储存室均由多片可调挡板分隔为若干个可调式储存分格，可调式储存分格可进行改变调节宽度尺寸，用于与制成的晶圆规格配适；
12.2、本实用新型在可调式储存分格的两侧壁均粘合固定有均匀排布设置的弹性橡
胶凸块，在调节调式储存分格与圆晶的尺寸配适后，可调式储存分格的两侧壁上所设的弹性橡胶凸块与圆晶两侧相抵触，起到对圆晶的稳固效果，且弹性橡胶凸块在对圆晶固定的同时避免对其外壁发生滑擦损伤。
附图说明
13.图1为本实用新型的立体结构示意图；
14.图2为本实用新型结构的正视图；
15.图3为本实用新型结构的侧视图；
16.图4为图3中a处的放大图。
17.图中：1、储存货架；101、分隔板；2、一级储存室；201、二级储存室；202、三级储存室；3、固定挡板；4、可调挡板；401、滑套；4011、阻尼内套；4012、限位螺钉；402、弹性橡胶凸块；5、滑轴；501、滑杆。
具体实施方式
18.为了更加清楚完整的说明本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
19.请参考图1-图4，本实用新型提出晶圆储存放置货架，包括储存货架1，储存货架1的内腔焊接有多片水平横置的分隔板101，储存货架1的内腔由多片分隔板101分隔为一级储存室2、二级储存室201和三级储存室202，一级储存室2的高度大于二级储存室201，二级储存室201的高度大于三级储存室202，一级储存室2中焊接有多片垂直设置的固定挡板3，一级储存室2由多片固定挡板3分隔为若干个标准储存分格，标准储存分格用于放置常用的标准规格晶圆，故而无需做出储存腔尺寸的调整，二级储存室201、三级储存室202中均设有多片呈垂直设置的可调挡板4，二级储存室201、三级储存室202均由多片可调挡板4分隔为若干个可调式储存分格，可调式储存分格可进行改变调节宽度尺寸，用于与制成的晶圆规格配适。
20.结合图1和图3所示，分隔板101的外边一体成型有滑轴5，可调挡板4的前侧底部焊接有滑套401，且滑套401与相对应的滑轴5配合滑接，二级储存室201、三级储存室202的内部均设有一对水平横向的滑杆501，且可调挡板4的内端与相对应的一对滑杆501配合滑接，使得可调挡板4可沿滑轴5、滑杆501的导向进行水平横移，进而达到调节可调式储存分格横向间距的目的，用于与各个尺寸的圆晶相配适。
21.结合图1和图4所示，滑套401的内部粘合固定有阻尼内套4011，且阻尼内套4011与滑轴5的外壁紧密贴合，沿滑套401的外部螺接有一根限位螺钉4012，在调节可调挡板4移位后，通过对限位螺钉4012拧紧，使限位螺钉4012的内端与阻尼内套4011相抵触，进而对可调挡板4进行限位，避免发生偏移。
22.结合图1和图2所示，二级储存室201、三级储存室202被多片可调挡板4分隔构成的可调式储存分格中，可调式储存分格的两侧壁均粘合固定有均匀排布设置的弹性橡胶凸块402，在调节调式储存分格与圆晶的尺寸配适后，可调式储存分格的两侧壁上所设的弹性橡胶凸块402与圆晶两侧相抵触，起到对圆晶的稳固效果，且弹性橡胶凸块402在对圆晶固定的同时避免对其外壁发生滑擦损伤。
23.本实用新型中，储存货架1的内腔由多片分隔板101分隔为一级储存室2、二级储存室201和三级储存室202，一级储存室2由多片固定挡板3分隔为若干个标准储存分格，标准储存分格用于放置常用的标准规格晶圆，二级储存室201、三级储存室202中均设有多片呈垂直设置的可调挡板4，二级储存室201、三级储存室202均由多片可调挡板4分隔为若干个可调式储存分格，可调式储存分格可进行改变调节宽度尺寸，用于与制成的晶圆规格配适；
24.本实用新型在可调式储存分格的两侧壁均粘合固定有均匀排布设置的弹性橡胶凸块402，在调节调式储存分格与圆晶的尺寸配适后，可调式储存分格的两侧壁上所设的弹性橡胶凸块402与圆晶两侧相抵触，起到对圆晶的稳固效果，且弹性橡胶凸块402在对圆晶固定的同时避免对其外壁发生滑擦损伤。
25.当然，本实用新型还可有其它多种实施方式，基于本实施方式，本领域的普通技术人员在没有做出任何创造性劳动的前提下所获得其他实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。


技术特征：
1.晶圆储存放置货架，包括储存货架(1)，其特征在于，所述储存货架(1)的内腔焊接有多片水平横置的分隔板(101)，储存货架(1)的内腔由多片分隔板(101)分隔为一级储存室(2)、二级储存室(201)和三级储存室(202)，一级储存室(2)的高度大于二级储存室(201)，二级储存室(201)的高度大于三级储存室(202)，所述一级储存室(2)中焊接有多片垂直设置的固定挡板(3)，一级储存室(2)由多片固定挡板(3)分隔为若干个标准储存分格，所述二级储存室(201)、三级储存室(202)中均设有多片呈垂直设置的可调挡板(4)，二级储存室(201)、三级储存室(202)均由多片可调挡板(4)分隔为若干个可调式储存分格。2.根据权利要求1所述的晶圆储存放置货架，其特征在于，所述分隔板(101)的外边一体成型有滑轴(5)，可调挡板(4)的前侧底部焊接有滑套(401)，且滑套(401)与相对应的滑轴(5)配合滑接，所述二级储存室(201)、三级储存室(202)的内部均设有一对水平横向的滑杆(501)，且可调挡板(4)的内端与相对应的一对滑杆(501)配合滑接。3.根据权利要求2所述的晶圆储存放置货架，其特征在于，所述滑套(401)的内部粘合固定有阻尼内套(4011)，且阻尼内套(4011)与滑轴(5)的外壁紧密贴合。4.根据权利要求3所述的晶圆储存放置货架，其特征在于，沿所述滑套(401)的外部螺接有一根限位螺钉(4012)，且限位螺钉(4012)的内端与阻尼内套(4011)相抵触。5.根据权利要求1所述的晶圆储存放置货架，其特征在于，所述二级储存室(201)、三级储存室(202)被多片可调挡板(4)分隔构成的可调式储存分格中，可调式储存分格的两侧壁均粘合固定有均匀排布设置的弹性橡胶凸块(402)。

技术总结
本实用新型提出提出晶圆储存放置货架，包括储存货架，储存货架内腔由分隔板分隔为一级储存室、二级储存室和三级储存室，一级储存室由多片固定挡板分隔为若干个标准储存分格，二级储存室、三级储存室均由多片可调挡板分隔为若干个可调式储存分格。本实用新型中，储存货架的内腔由多片分隔板分隔为一级储存室、二级储存室和三级储存室，一级储存室由多片固定挡板分隔为若干个标准储存分格，标准储存分格用于放置常用的标准规格晶圆，二级储存室、三级储存室中均设有多片呈垂直设置的可调挡板，二级储存室、三级储存室均由多片可调挡板分隔为若干个可调式储存分格，可调式储存分格可进行改变调节宽度尺寸，用于与制成的晶圆规格配适。适。适。


技术研发人员：胡臻程
受保护的技术使用者：江阴市富磊钢板加工有限公司
技术研发日：2021.12.27
技术公布日：2022/6/28