液体喷出装置以及液体喷出方法与流程

本发明涉及一种液体喷出装置以及液体喷出方法。

背景技术：

关于喷出液体的液体喷出装置，例如，在专利文献1中公开了如下结构，即，为了变更向压力室供给液体的供给流道的流道阻力，而使在与供给流道相对应的位置处形成有贯穿孔的平板状的板沿着供给流道的开口面而滑动的结构。

但是，例如，在使板高速地往复移动的情况下，板可能会发热。当板发热时，液体的特性可能会因该热量而发生变化，进而难以进行稳定的喷出。

专利文献1：日本特开2007-320042号公报

技术实现要素：

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的发明，并且能够作为以下的方式而实现。

(1)根据本发明的一种方式，提供一种液体喷出装置。该液体喷出装置的特征在于，具备：液室,其与喷嘴连通；连通流道，其与所述液室连通，并且具有供液体流入的第一开口；排出流道，其将所述液体排出，并且具有供所述液体流入的第二开口；供给流道，其能够向所述连通流道以及所述排出流道供给所述液体；以及第一滑动部，其被配置在所述供给流道与所述连通流道之间，并且具有用于使所述供给流道与所述连通流道连通的第一贯穿孔，所述第一滑动部通过沿着所述第一开口的开口面滑动移动，而变更所述第一贯穿孔相对于所述连通流道的位置，从而对所述连通流道的流道阻力进行变更。如果采用这种方式的液体喷出装置，则即使第一滑动部因滑动移动而发热，也能够通过从排出流道排出液体而释放热量。因此，能够抑制液体的特性因发热而发生变化的情况，从而能够稳定地使液体喷出。

(2)在上述方式的液体喷出装置中，也可以采用如下方式，即，所述第一滑动部通过在与所述连通流道以及所述排出流道之间变更所述第一贯穿孔的位置，而对所述连通流道以及所述排出流道的流道阻力进行变更。如果采用这种方式的液体喷出装置，则由于能够将第一贯穿孔用于液体的供给和液体的排出这两个用途，因此能够简化结构。

(3)上述方式的液体喷出装置也可以采用如下方式，即，具备第二滑动部，所述第二滑动部被配置在所述供给流道与所述排出流道之间，并且具有用于使所述供给流道与所述排出流道连通第二贯穿孔，所述第二滑动部通过沿着所述第二开口的开口面滑动移动，而变更所述第二贯穿孔相对于所述排出流道的位置，从而对所述排出流道的流道阻力进行变更。如果采用这种方式的液体喷出装置，则能够通过使第二滑动部移动而对是否排出液体进行切换。

(4)上述方式的液体喷出装置也可以采用如下方式，即，具备滑动部，所述滑动部一体地具有所述第一滑动部和所述第二滑动部。如果采用这种方式的液体喷出装置，则由于能够同时变更连通流道的流道阻力和排出流道的流道阻力，因此能够简化结构。

(5)在上述方式的液体喷出装置中，也可以采用如下方式，即，在从所述喷嘴喷出所述液体的情况下，所述第一滑动部增大所述连通流道的流道阻力，所述第二滑动部减小所述排出流道的流道阻力。如果采用这种结构的液体喷出装置，则能够在喷出液体时高效地使液体从喷嘴喷出。此外，在喷出液体时，能够通过从排出流道排出液体而释放热量。

(6)在上述方式的液体喷出装置中，也可以采用如下方式，即，在向所述喷嘴填充所述液体的情况下，所述第一滑动部减小所述连通流道的流道阻力，所述第二滑动部增大所述排出流道的流道阻力。如果采用这种结构，则在液体的填充时，能够高效地向喷嘴填充液体。

(7)在上述方式的液体喷出装置中，也可以采用如下方式，即，在从所述喷嘴喷出所述液体的情况下，所述第一滑动部增大所述连通流道的流道阻力。如果采用这种结构的液体喷出装置，则在液体喷出时，能够高效地使液体从喷嘴喷出。

(8)在上述方式的液体喷出装置中，也可以采用如下方式，即，所述第二开口的开口面积大于所述第一开口的开口面积。如果采用这种方式的液体喷出装置，则能够有效地排出液体。

(9)在上述方式的液体喷出装置中，也可以采用如下方式，即，所述第一滑动部从所述供给流道侧受到的力大于从所述连通流道侧受到的力。如果采用这种方式的液体喷出装置，则能够对液体从第一滑动部与连通流道之间泄漏的情况进行抑制。

(10)上述方式的液体喷出装置也可以采用如下方式，即，具备多组所述液室和所述连通流道，所述第一滑动部对多个所述连通流道的流道阻力进行变更。如果采用这种方式的液体喷出装置，则由于能够通过一个第一滑动部而变更多个连通流道的流道阻力，因此能够简化结构。

(11)在上述方式的液体喷出装置中，也可以采用如下方式，即，所述第一滑动部在每次从所述喷嘴喷出所述液体时进行滑动移动。如果采用这种方式的液体喷出装置，则即使第一滑动部因滑动移动而发热，也能够通过从排出流道排出液体而释放热量。

本发明除了作为上述液体喷出装置的方式以外，也可以通过各种各样的方式来实现。例如，能够通过由液体喷出装置而被执行的液体喷出方法、用于控制液体喷出装置的计算机程序、记录有该计算机程序的非临时性的有形的记录介质等方式而实现。

附图说明

图1为表示第一实施方式中的液体喷出装置的概要结构的说明图。

图2为表示喷头部的概要结构的剖视图。

图3为滑动部在图2中的iii向视图。

图4为表示待机状态下的喷头部的动作的说明图。

图5为表示待机状态下的第一贯穿孔以及第二贯穿孔的位置的图。

图6为表示填充状态下的喷头部的动作的说明图。

图7为表示喷出状态下的喷头部的动作的说明图。

图8为表示从喷嘴喷出了液体的情况的图。

图9为表示第二实施方式中的喷头部的概要结构的剖视图。

图10为表示第三实施方式中的喷头部的概要结构的剖视图。

图11为表示第四实施方式中的喷头部的概要结构的剖视图。

图12为表示第五实施方式中的喷头部的概要结构的剖视图。

具体实施方式

第一实施方式：

图1为表示本发明的第一实施方式中的液体喷出装置100的概要结构的说明图。液体喷出装置100具备：罐10、加压泵20、第一流道30、喷头部200、第二流道50、液体贮留部60、负压产生源70以及控制部80。

在罐10中收纳有液体。作为液体，例如收纳有具有预定的粘度的油墨。罐10内的液体通过加压泵20而穿过第一流道30被供给至喷头部200。被供给至喷头部200的液体通过喷头部200而被喷出。喷头部200的动作通过控制部80而被控制。控制部80作为具备cpu与存储器的计算机而被构成，并通过cpu执行被存储于存储器中的程序，从而对喷头部200的动作进行控制。程序也可以被记录于非临时性的有形的记录介质上。

未被喷头部200喷出的液体穿过第二流道50而被排出至液体贮留部60中。可由各种泵构成的负压产生源70与液体贮留部60连接。负压产生源70通过将液体贮留部60内设为负压，从而穿过第二流道50而从喷头部200抽吸液体。加压泵20以及负压产生源70作为使第一流道30和第二流道50产生差压而向第一流道30供给液体的液体供给部而发挥功能。此外，也可以省略加压泵20以及负压产生源70中的任意一个，从而加压泵20或者负压产生源70中的任意一个以单体的形式构成液体供给部。如上文所述，在本实施方式中，由于未从喷头部200喷出的液体从喷头部200被排出至第二流道50，因此能够对液体内的沉降成分堆积在喷头部200内的情况进行抑制。

在本实施方式中，液体贮留部60和罐10通过循环流道90而被连接在一起。被贮留于液体贮留部60中的液体穿过循环流道90而返回至罐10中，并再次通过加压泵20而被供给至喷头部200。也就是说，循环流道90具有将从第二流道50被排出的液体再次供给至第一流道30的功能。在循环流道90中也可以设置有用于从液体贮留部60抽吸液体的泵。此外，在循环流道90中也可以设置有异物去除过滤器或脱气模块。此外，也可以省略循环流道90，而将液体喷出装置100设为不使液体循环的结构。

液体喷出装置100也能够作为打印机而构成。在该情况下，例如，喷头部200被搭载于在记录介质上进行扫描的滑架上，并且在从控制部80得到了指示的时刻在记录介质上喷出液体。

图2为表示喷头部200的概要结构的剖视图。喷头部200具备液室210、连通流道220、排出流道230、供给流道240以及滑动部250。

液室210为具有被供给液体的空间的室。液室210与喷嘴211连通。液室210通过内部空间的容积发生变化而使液体从喷嘴211喷出。在液室210的侧面的一部分上设置有振动板212。振动板212与未图示的压电致动器接触。当压电致动器被驱动时，振动板212会随此发生挠曲，从而液室210的容积被变更。控制部80通过对压电致动器进行控制而减小液室210的容积，由此提高液室210内的压力。而且，当液室210内的压力超过喷嘴211内的液体的弯液面耐压时，液体从喷嘴211被喷出。此时，至多液室210的与容量变化相应的量的液体从喷嘴211喷出至外部。

连通流道220与液室210连通。连通流道220具有供液体流入的第一开口221。从第一开口221流入连通流道220的液体被供给至液室210。

排出流道230为排出液体的流道。排出流道230与第二流道50(图1)连接。排出流道230具有供液体流入的第二开口231。在本实施方式中，连通流道220的第一开口221和排出流道230的第二开口231被形成在同一平面上。

在本实施方式中，将形成有连通流道220以及排出流道230的部件称为主体部件201。主体部件201可以由sus(steelusestainless：不锈钢)等各种金属、树脂、硅等构成。在下文中，将主体部件201的设置有第一开口221的开口面和第二开口231的开口面的面称为滑动面202。在滑动面202上，为了提高耐摩擦性，也可以通过陶瓷或氧化锆等而形成覆盖膜。

供给流道240为能够向连通流道220以及排出流道230供给液体的流道。供给流道240与第一流道30(图1)连接。在下文中，将形成有供给流道240的部件称为供给流道形成部件203。

滑动部250具备第一滑动部251和第二滑动部255。第一滑动部251被配置在供给流道240与连通流道220之间。第一滑动部251的被夹持于供给流道240与连通流道220之间的部分被形成为平板状。第一滑动部251具有用于使供给流道240与连通流道220连通的第一贯穿孔252。第一滑动部251通过沿着第一开口221的开口面而滑动移动，从而变更第一贯穿孔252相对于连通流道220的位置，进而对连通流道220的流道阻力进行变更。

第二滑动部255被配置在供给流道240与排出流道230之间。第二滑动部255的被供给流道240与排出流道230夹着的部分被形成为平板状。第二滑动部255具有用于使供给流道240与排出流道230连通的第二贯穿孔256。第二滑动部255通过沿着第二开口231的开口面而滑动移动，从而变更第二贯穿孔256相对于排出流道230的位置，进而对排出流道230的流道阻力进行变更。控制部80通过使第二滑动部255移动，从而能够对是否从排出流道230排出液体进行切换。

在本实施方式中，第一滑动部251和第二滑动部255作为滑动部250而被一体地形成。因此，滑动部250能够同时变更连通流道220的流道阻力和排出流道230的流道阻力。如果采用这种结构，则能够简化喷头部200的结构。在本实施方式中，为了使第一开口221和第二开口231不会同时成为开放状态，而在滑动部250进行滑动移动的方向上，使滑动部250中的第一贯穿孔252与第二贯穿孔256之间的间隔不同于滑动面202中的连通流道220(第一开口221)与排出流道230(第二开口231)之间的间隔。具体而言，使滑动部250中的第一贯穿孔252与第二贯穿孔256之间的间隔窄于滑动面202中的连通流道220(第一开口221)与排出流道230(第二开口231)之间的间隔。此外，也可以使滑动部250中的第一贯穿孔252与第二贯穿孔256之间的间隔宽于滑动面202中的连通流道220(第一开口221)与排出流道230(第二开口231)之间的间隔。

滑动部250与用于使滑动部250沿着滑动面202而移动的致动器258连接。通过致动器258被控制部80控制，从而使滑动部250在滑动面202上滑动移动。只要能够使滑动部250滑动移动，则作为致动器258而能够利用压电致动器、螺线管、磁致伸缩元件等各种致动器。此外，也能够将滑动部250称为闸门部或板部。

在本实施方式中，在滑动部250与滑动面202之间配置有第一密封部件261。第一密封部件261由硅橡胶或氟橡胶等各种橡胶材料而形成。第一密封部件261被固定于主体部件201的滑动面202上夹着第一开口221以及第二开口231的位置处。另外，第一密封部件261被配置在滑动部250的滑动面202侧的面上夹着第一贯穿孔252和第二贯穿孔256的位置处。滑动部250在第一密封部件261上进行滑动。此外，第一密封部件261也可以不被固定在主体部件201上，而被固定于滑动部250侧。另外，也可以省略第一密封部件261，而采用滑动部250直接在滑动面202上滑动移动的结构。

在本实施方式中，在供给流道形成部件203与滑动部250之间配置有第二密封部件262。第二密封部件262与第一密封部件261同样地由硅橡胶或氟橡胶等各种橡胶材料而形成。第二密封部件262被固定于供给流道形成部件203的滑动部250侧的面上夹着供给流道240的位置处。另外，第二密封部件262被配置在滑动部250的供给流道形成部件203侧的面上夹着第一贯穿孔252和第二贯穿孔256的位置处。滑动部250在第二密封部件262上进行滑动。也就是说，滑动部250在第一密封部件261与第二密封部件262之间进行滑动。由供给流道形成部件203、滑动部250和第二密封部件262所包围的空间作为供给流道240的一部分而发挥功能。此外，第二密封部件262也可以不被固定于供给流道形成部件203上，而被固定在滑动部250侧。

在本实施方式中，优选为，滑动部250(第一滑动部251以及第二滑动部255)从供给流道240侧受到的力大于从连通流道220侧受到的力。更具体而言，优选为，滑动部250从通过加压泵20而被加压了的液体所受到的压力与从第二密封部件262受到的按压力之和(以下，称为“第一力”)，大于在从各喷嘴211喷出液体时穿过各连通流道220内的液体而从液室210受到的压力和与由第一密封部件261施加的按压力之和(以下，称为“第二力”)。如果第一力大于第二力，则能够抑制液体从连通流道220与滑动部250之间向外部泄漏的情况。此外，如果液体未从连通流道220与滑动部250之间向外部泄漏，则可视为第一力大于第二力。在从喷头部200的结构中省略了第一密封部件261的情况下，前述的第二力中的由第一密封部件261施加的按压力变为零。

图3为滑动部250的图2中的iii向视图。在本实施方式中，图2所示的喷嘴211、液室210以及连通流道220在主体部件201上形成有两组。因此，如图3所示，在滑动部250上，在与两个连通流道220的第一开口221相对应的位置上设置有两个第一贯穿孔252。因此，能够通过一个滑动部250(第一滑动部251)而变更多个连通流道220的流道阻力。因此，能够简化结构。另外，在本实施方式中，仅形成有一个排出流道230。因此，在滑动部250上设置有一个第二贯穿孔256。在本实施方式中，第二开口231(第二贯穿孔256)的开口面积大于第一开口221(第一贯穿孔252)的开口面积的总和。因此，能够有效地将液体从喷头部200排出。

此外，喷头部200并不限于设置两组的喷嘴211、液室210、连通流道220以及第一贯穿孔252，既可以仅设置一组，也可以设置三组以上。另外，也可以设置多组排出流道230以及第二贯穿孔256。此外，也可以采用使第二开口231(第二贯穿孔256)的开口面积小于第一开口221(第一贯穿孔252)的开口面积的总和的结构。

基于图4～8，对通过液体喷出装置100而被执行的液体喷出方法进行说明。

图4为表示待机状态下的喷头部200的动作的说明图。图5为表示待机状态下的第一贯穿孔252以及第二贯穿孔256的位置的图。在未喷出液体的待机状态下，第一滑动部251增大连通流道220的流道阻力，第二滑动部255减小排出流道230的流道阻力。更具体而言，控制部80对致动器258进行控制以使滑动部250移动，从而将被设置于第二滑动部255上的第二贯穿孔256与排出流道230设为连通的状态，进而，将被设置于第一滑动部251上的第一贯穿孔252与连通流道220设为不连通的状态。在该待机状态下，从第一流道30被供给至喷头部200的液体穿过供给流道240，就此从排出流道230被排出。

图6为表示填充状态下的喷头部200的动作的说明图。在待机状态后，在为了喷出液体而向液室210以及喷嘴211填充液体的填充状态下，第一滑动部251减小连通流道220的流道阻力，第二滑动部255增大排出流道230的流道阻力。更具体而言，控制部80对致动器258进行控制以使滑动部250移动，并将被设置于第二滑动部255上的第二贯穿孔256与排出流道230设为不连通的状态，进而，将被设置于第一滑动部251上的第一贯穿孔252与连通流道220设为连通的状态。通过采用这种方式，从而在填充状态下，从供给流道240被供给的液体不会从排出流道230被排出，而是穿过连通流道220而被填充至液室210以及喷嘴211中。在图3中，示出了填充状态下的第一贯穿孔252以及第二贯穿孔256的位置。

图7为表示喷出状态下的喷头部200的动作的说明图。图8为表示从喷嘴211喷出了液体的情况的图。在填充状态后，在使液体喷出的喷出状态下，第一滑动部251增大连通流道220的流道阻力，第二滑动部255减小排出流道230的流道阻力。更具体而言，控制部80对致动器258进行控制以使滑动部250移动，并将被设置于第二滑动部255上的第二贯穿孔256与排出流道230设为连通状态，进而，将被设置于第一滑动部251上的第一贯穿孔252与连通流道220设为不连通状态。根据该填充状态，由于能够抑制液体从液室210向连通流道侧倒流，因此能够有效地使液体从喷嘴211被喷出。另外，由于能够抑制由振动板212引起的液室210内的压力变化穿过连通流道220而影响其他的液室210，因此能够从各喷嘴211稳定地喷出液体。控制部80在通过振动板212而减小液室210的容积以使液体从喷嘴211喷出之后，通过利用振动板212而增大液室210的容积以使液室210内的压力降低，从而实施被喷出的液体的断尾。通过采用这种方式，从而如图8所示，预定量的液体被喷出。

通过控制部80对致动器258进行控制，从而将喷头部200的状态反复控制为上述的待机状态、填充状态、喷出状态，由此能够从喷嘴211连续地喷出液滴状的液体。在本实施方式中，在从待机状态转变为填充状态时、以及在从填充状态转变为喷出状态时，滑动部250进行滑动移动。也就是说，滑动部250在每次从喷嘴喷出液体时进行滑动移动。

在液体喷出装置100作为打印机而被构成的情况下，控制部80例如根据用于检测设置有喷头部200的滑架的移动速度或者移动量的编码器所输出的信号，针对液体的喷出时刻，而分别在一定的延迟时间之后对用于使滑动部250移动的致动器258和设置在各个液室210中的压电致动器进行驱动。通过采用这种方式，能够以与喷头部200的动作同步的方式，将喷头部200的状态反复控制为待机状态、填充状态、喷出状态。

根据以上所说明的本实施方式的液体喷出装置100，即使因伴随着滑动部250(第一滑动部251以及第二滑动部255)的滑动移动所产生的摩擦而发热，也能够通过从排出流道230排出液体而释放该热量。由此，能够抑制液体的特性因热量而发生变化的情况，从而能够稳定地喷出液体。特别是在本实施方式中，由于在每次喷出液体时使滑动部250滑动移动，因此滑动部250因与第一密封部件261或第二密封部件262的摩擦而发热的可能性较高。因此，通过从排出流道230排出液体而释放热量的效果较为显著。

此外，根据本实施方式，由于滑动部250一体地具备第一滑动部251和第二滑动部255，因此能够同时变更连通流道220的流道阻力和排出流道230的流道阻力。因此，能够简化结构。

此外，在本实施方式中，在从喷嘴211喷出液体的情况下，第一滑动部251增大连通流道220的流道阻力，第二滑动部255减小排出流道230的流道阻力。因此，在液体喷出时，能够高效地使液体从喷嘴211被喷出，同时，通过使液体从排出流道230排出，从而能够释放因滑动部250的滑动移动所产生的热量。

此外，在本实施方式中，在向喷嘴211填充液体的情况下，第一滑动部251减小连通流道220的流道阻力，第二滑动部255增大排出流道230的流道阻力。因此，在液体填充时，能够穿过连通流道220而有效地向液室210以及喷嘴211填充液体。

第二实施方式：

图9为表示第二实施方式中的喷头部200a的概要结构的剖视图。在第一实施方式中，滑动部250一体地具备第一滑动部251和第二滑动部255。相对于此，在第二实施方式中，第一滑动部251和第二滑动部255作为分体而被构成。而且，在第一滑动部251和第二滑动部255中分别单独地设置有致动器258、259。

根据这种结构，由于能够单独地使第一滑动部251和第二滑动部255移动，因此能够单独地对连通流道220的流道阻力和排出流道230的流道阻力进行调节。因此，例如，能够容易地实施在通过第二滑动部255而使排出流道230完全地被堵塞之后再使第一滑动部251移动而使连通流道220与供给流道240连通这样的、对连通流道220和供给流道240的开闭时刻的调节。

第三实施方式：

图10为表示第三实施方式中的喷头部200b的概要结构的剖视图。在第一实施方式以及第二实施方式中，喷头部200具备第一滑动部251和第二滑动部255。相对于此，在第三实施方式中，喷头部200b仅具备第一滑动部251，而不具备第二滑动部255。因此，排出流道230一直处于开放状态。在这样的结构中，在将液体填充至喷嘴211以及液室210的填充状态下，液体被分流至连通流道220和排出流道230，由此被供给至液室210内。但是，由于通过这样的结构也能够将液体从排出流道230排出，因此能够将伴随着第一滑动部251的滑动移动而产生的热量释放。此外，在本实施方式中，也可以使排出流道230的第二开口231的开口面积小于连通流道220的第一开口221的开口面积。如果第二开口231的开口面积小于第一开口221的开口面积，则能够在填充状态下迅速地将液体供给至液室210以及喷嘴211。

第四实施方式：

图11为表示第四实施方式中的喷头部200c的概要结构的剖视图。在第一实施方式中，通过被设置在第一滑动部251上的第一贯穿孔252而变更连通流道220的流道阻力，并通过被设置在第二滑动部255上的第二贯穿孔256而变更排出流道230的流道阻力。相对于此，第四实施方式中的喷头部200c不具备第二滑动部255，而仅具备第一滑动部251，第一滑动部251通过在与连通流道220以及排出流道230之间变更第一贯穿孔252的位置，从而对连通流道220以及排出流道230的流道阻力进行变更。

根据这种结构，由于能够将被设置于第一滑动部251上的第一贯穿孔252用于液体的供给和液体的排出这两个用途中，因此能够简化结构。另外，由于通过这样的结构也能够将液体从排出流道230排出，因此能够将伴随着第一滑动部251的滑动移动而产生的热量向外部释放。

第五实施方式：

图12为表示第五实施方式中的喷头部200d的概要结构的剖视图。在上述各实施方式中，通过被设置于液室210的侧面的一部分上的振动板212和与振动板212接触的压电致动器而对液室210的容积进行变更。相对于此，在第五实施方式中，通过被设置于液室210内的移动体213而对液室210的容积进行变更。通过移动体213被压电致动器等各种致动器驱动而在液室210内朝向喷嘴211移动，从而对液室210内的容积进行变更。也能够将移动体213称为活塞或者柱塞。在本实施方式中，通过控制部80对该移动体213进行控制以使移动体213接近或者碰撞设置有喷嘴211的内壁面，从而从喷嘴211喷出液体。如此，作为从喷嘴211喷出液体的机构，而并不限于由压电致动器和振动板212所构成的机构，也能够采用各种各样的机构。

其他实施方式：

在上述实施方式中，为了高效地使液体从喷嘴211被喷出，控制部80在每次喷出液体时使第一滑动部251进行滑动移动。相对于此，例如，控制部80也可以为了对液体的喷出量进行调节而使第一滑动部251滑动移动。

本发明并不限于喷出油墨的液体喷出装置，也能够应用于喷出油墨以外的其他的液体的任意的液体喷出装置中。例如，本发明能够应用于以下这样的各种各样的液体喷出装置中。

(1)传真装置等图像记录装置。

(2)在液晶显示器等图像显示装置用的滤色器的制造中所使用的颜色材料喷出装置。

(3)在有机el(electroluminescence，电致发光)显示器、面发光显示器(fieldemissiondisplay，fed)等的电极形成中所使用的电极材料喷出装置。

(4)喷出包含在生物芯片制造中所使用的生物体有机物在内的液体的液体喷出装置。

(5)作为精密移液器的试料喷出装置。

(6)润滑油的喷出装置。

(7)树脂液的喷出装置。

(8)利用针头而向时钟、照相机等精密机械喷出润滑油的液体喷出装置。

(9)为了形成光通信元件等中所使用的微小半球透镜(光学透镜)等而在基板上喷出紫外线固化树脂液等透明树脂液的液体喷出装置。

(10)为了对基板等进行蚀刻而喷出酸性或者碱性的蚀刻液的液体喷出装置。

(11)具备喷出其他的任意的微小量的液滴的液体喷出头的液体喷出装置。

另外，“液滴”是指从液体喷出装置被喷出的液体的状态，包括粒状、泪状、丝状拉出尾状物的状态。此外，在此所说的“液体”只要是能够被液体喷出装置消耗的材料即可。例如，“液体”只要是物质为液相时的状态下的材料即可，粘性较高或较低的液状体的材料以及溶胶、凝胶水、其他的无机溶剂、有机溶剂、溶液、液状树脂、液状金属(金属熔液)这样的液状体的材料也被包含在“液体”中，此外，不仅是作为物质的一种状态的液体，在溶剂中溶解、分散或混合有由颜料或者金属颗粒等固体物所构成的功能材料的粒子也被包含在“液体”中。作为液体的代表性的示例而列举出油墨或液晶等。此处，油墨包括一般的水性油墨以及油性油墨、凝胶油墨、热熔性油墨等各种液体组合物。

本发明并不限于上述的实施方式，能够在不脱离其主旨的范围内以各种的结构来实现。例如，为了解决上述课题的一部分或者全部，或者为了达到上述技术效果的一部分或者全部，能够对与发明内容部分所记载的各个方式中的技术特征相对应的实施方式的技术特征适当地进行替换或组合。此外，只要在本说明书中并未将该技术特征作为必要技术特征来进行说明，则能够适当地删除。

符号说明

10…罐；20…加压泵；30…第一流道；50…第二流道；60…液体贮留部；70…负压产生源；80…控制部；90…循环流道；100…液体喷出装置；200、200a、200b、200c、200d…喷头部；201…主体部件；202…滑动面；203…供给流道形成部件；210…液室；211…喷嘴；212…振动板；213…移动体；220…连通流道；221…第一开口；230…排出流道；231…第二开口；240…供给流道；250…滑动部；251…第一滑动部；252…第一贯穿孔；255…第二滑动部；256…第二贯穿孔；258、259…致动器；261…第一密封部件；262…第二密封部件。