一种基于mems低频振动位移传感器的制造方法

专利名称:一种基于mems低频振动位移传感器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种基于MEMS的低频振动位移传感器，包括DSP处理器，所述DSP处理器连接有MEMS加速度传感器和电源模块，所述DSP处理器外接操作键盘、外部存储器和液晶显示器，所述电源模块给DSP处理器和MEMS加速度传感器供电，所述MEMS加速度传感器包括长方体外壳，所述液晶显示器安装于长方体外壳正面，所述长方体外壳正面设有五个按键，所述长方体外壳背面两侧设有半圆形安装板，通过DSP采集MEMS加速度传感器的加速度数据，进行分析计算能够得出位移信息，并且在传感器上显示出各个信息，加速度传感器具有抗干扰能力强、可靠性高、不易老化、动态响应能力快、成本低的优点，还具有液晶显示信息，方便了及时获取信息。
【专利说明】
一种基于MEMS低频振动位移传感器
技术领域
[0001]本实用新型涉及工业测控技术领域，具体涉及一种基于MEMS低频振动位移传感器。
【背景技术】
[0002]在现代工控测试领域，对于低频振动的各项参数的测量相对于以前已经有了很大的发展，许多原理不同、结构不同的传感器得到了应用。随着技术的不断发展，工业测控领域对传感器的采集精度、抗干扰能力、动态响应能力、成本以及频带宽度都有了更高的标准。目前市场上运用的低频振动位移传感器多采用磁电式和压电式传感器通过配套的放大器把加速度转化为电信号进行放大，通过A/D采集，但其抗干扰能力差、可靠性差、易老化、动态响应速度慢和成本高等缺点，所采集的数据容易失真。还有一些数字低频振动加速度传感器采用采集信号部分和信号处理部分通过信号传输线连接，这样传输线就会造成信号的衰减和失真，导致采集端采集的信号与原始信号误差较大，可靠性差，很难满足目前工业测控领域对大型机械参数长期的、实时的智能的采集的需求。
【实用新型内容】
[0003]针对以上问题，本实用新型提供了一种基于MEMS低频振动位移传感器，通过DSP采集MEMS加速度传感器的加速度数据，进行分析计算能够得出位移信息，并且在传感器上显示出各个信息，加速度传感器具有抗干扰能力强、可靠性高、不易老化、动态响应能力快、成本低的优点，还具有液晶显示信息，方便了及时获取信息。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下:一种基于MEMS的低频振动位移传感器，包括DSP处理器，所述DSP处理器连接有MEMS加速度传感器和电源模块，所述DSP处理器外接操作键盘、外部存储器和液晶显示器，所述电源模块给DSP处理器和MEMS加速度传感器供电，所述MEMS加速度传感器包括长方体外壳，所述液晶显示器安装于长方体外壳正面，所述长方体外壳正面设有四个按键，所述长方体外壳背面两侧设有半圆形安装板。
[0005]作为本实用新型一种优选的技术方案，所述半圆形安装板上设有螺丝孔。
[0006]作为本实用新型一种优选的技术方案，所述长方体外壳背面设有电池盒。
[0007]本实用新型的有益效果:
[0008]本实用新型通过DSP采集MEMS加速度传感器的加速度数据，进行分析计算能够得出位移信息，并且在传感器上显示出各个信息，加速度传感器具有抗干扰能力强、可靠性高、不易老化、动态响应能力快、成本低的优点，还具有液晶显示信息，方便了及时获取信息，MEMS加速度传感器具有抗干扰能力强、可靠性高、不易老化、动态响应能力快、成本低的优点，还具有液晶显示信息，方便了及时获取信息。
【附图说明】

[0009]图1为本实用新型的原理框图。
[0010]图2为本实用新型MEMS加速度传感器的正面结构示意图。
[0011 ]图3为本实用新型MEMS加速度传感器的背面结构示意图。
[0012]图4为本实用新型执行流程图。
[0013]图中标号为:1-DSP处理器；2-MEMS加速度传感器;3_电源模块;4-操作键盘;5-外部存储器;6-液晶显示器;7-长方体外壳;8-按键;9-半圆形安装板;10-螺丝孔;11-电池盒。
【具体实施方式】
[0014]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0015]实施例:
[0016]如图1至图3所示，一种基于MEMS的低频振动位移传感器，其特征在于，包括DSP处理器I，所述DSP处理器I连接有MEMS加速度传感器2和电源模块3，所述DSP处理器I外接操作键盘4、外部存储器5和液晶显示器6，所述电源模块3给DSP处理器I和MEMS加速度传感器2供电，所述MEMS加速度传感器2包括长方体外壳7，所述液晶显示器6安装于长方体外壳7正面，所述长方体外壳7正面设有四个按键8，所述长方体外壳7背面两侧设有半圆形安装板9。
[0017]在上述实施例上优选，所述半圆形安装板9上设有螺丝孔10，固定长方体外壳。
[0018]在上述实施例上优选，所述长方体外壳7背面设有电池盒11，安装电池，供电方便。
[0019]具体的，本实用新型工作原理及各模块功能介绍如下:
[0020]参照图4所示，本实用新型采用的DSP芯片为主控制芯片，由MEMS加速度传感器采集加速度信息，然后将信息传给DSP进行处理，使用小波算法，先用滤波函数对采集的数据进行滤波，然后加速度数据进行一重积分，得到速度数据，再对速度数据进行一重积分得到位移数据，然后将数据显示在液晶屏上;将得到的数据存储在外部存储器的，便于后期的数据分析和采集；
[0021]按键的功能分别是:
[0022](I)开始和关闭功能:再按一下开始键就关闭；
[0023](2)是切换数据显示模式:用来选择合适的数据模式，分别有三种，振动的加速度、速度和位移；
[0024](3)设置计时功能:用来设置传感器工作的时间，以20分钟为一阶，从O开始到24h的时间长度；
[0025](4)是确定功能:对上述按键进行确定的。
[0026]液晶显示屏上显示传感器采集的数据、传感器工作时间这两个部分，传感器采集的数据在时间的下面一一对应，屏幕上会出现10组数据，每隔I分钟切换一次，采集的数据都存在外部存储器里，每隔48h自动清除48h之前的数据。
[0027]螺丝孔是为了将传感器固定在建筑物上，用来固定传感器。
[0028]该传感器采用电池作为供电电源，方便使用。
[0029]基于上述，本实用新型通过DSP采集MEMS加速度传感器的加速度数据，进行分析计算能够得出位移信息，并且在传感器上显示出各个信息，加速度传感器具有抗干扰能力强、可靠性高、不易老化、动态响应能力快、成本低的优点，还具有液晶显示信息，方便了及时获取信息，MEMS加速度传感器具有抗干扰能力强、可靠性高、不易老化、动态响应能力快、成本低的优点，还具有液晶显示信息，方便了及时获取信息。
[0030]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种基于MEMS的低频振动位移传感器，其特征在于，包括DSP处理器(I)，所述DSP处理器(I)连接有MEMS加速度传感器(2)和电源模块(3)，所述DSP处理器(I)外接操作键盘(4)、外部存储器(5)和液晶显示器(6)，所述电源模块(3)给DSP处理器(I)和MEMS加速度传感器(2)供电，所述MEMS加速度传感器(2)包括长方体外壳(7)，所述液晶显示器(6)安装于长方体外壳(7)正面，所述长方体外壳(7)正面设有四个按键(8)，所述长方体外壳(7)背面两侧设有半圆形安装板(9)。2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS的低频振动位移传感器，其特征在于:所述半圆形安装板(9)上设有螺丝孔(10)。3.根据权利要求1所述的一种基于MEMS的低频振动位移传感器，其特征在于:所述长方体外壳(7)背面设有电池盒(11)。
【文档编号】G01H17/00GK205719234SQ201620202379
【公开日】2016年11月23日
【申请日】2016年3月16日
【发明人】李改有
【申请人】安徽师范大学