一种用于光阻涂布机型的防呆系统的制作方法

1.本实用新型涉及一种用于光阻涂布机型的防呆系统，可用于半导体技术领域。


背景技术：

2.黄光制程作业材料需要在晶圆表面涂上光阻，依据机台报警信息，得到机台具体放置化学品位置所需化学品类型，至其专属化学品存储防爆柜，依据先进先出原则，取出所需化学品，做好物料管理系统维护后即可将化学品添加至机台化学品对应位置。由于在实际操作过程中光阻种类多，外观相似，操作人员更换时有拿错可能，添加方式为手动添加，操作人员有添加错误位置可能。若添加错误未及时发现，会导致产品异常，耗费人力物力处理，影响产品品质与交期。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提出一种用于光阻涂布机型的防呆系统。
4.本实用新型的目的将通过以下技术方案得以实现：一种用于光阻涂布机型的防呆系统，该防呆系统设置于机台上，该防呆系统包括n个电子锁，plc控制器及操作界面，扫码枪，每个所述电子锁分别与plc控制器及操作界面电性连接，所述plc控制器及操作界面分别独立地控制每个所述电子锁，所述plc控制器及操作界面与扫码枪之间电性连接并进行信号互通和交互，所述plc控制器及操作界面还包括报警单元及具体添加化学品位置，扫码枪在化学品上机前扫描所添加化学品的具体信息，并将扫描信息传送至plc控制器及操作界面做比对判断。
5.优选地，所述机台上设置有化学品添加处，每个所述电子锁分别独立设置于机台化学品添加处。
6.优选地，所述电子锁的个数至少为两个，每个电子锁分别对应一个存储化学品的位置。
7.优选地，所述电子锁的个数为四个，分别为第一电子锁、第二电子锁、第三电子锁和第四电子锁。
8.优选地，所述第一电子锁、第二电子锁、第三电子锁和第四电子锁分别独立受plc控制器及操作界面控制。
9.优选地，所述报警单元与plc控制器及操作界面电性连接，并受plc控制器及操作界面控制。
10.优选地，所述plc控制器及操作界面还包括延时单元，所述延时单元与每个所述电子锁各自电性连接。本实用新型技术方案的优点主要体现在：本技术方案可以避免因为人为比对错误造成的异常，极大地降低了错误风险，同时通过每日的巡查，对plc的报警信息进行分析，及时了解产线操作人员添加光阻的真实情况，及时对异常作业人员进行教育训练，有效地防止因人员添加错误而导致产品异常发生。
附图说明
11.图1为本实用新型的一种用于光阻涂布机型的防呆系统的结构示意图。
12.图2为本实用新型的一种用于光阻涂布机型的防呆系统的结构示意图。
具体实施方式
13.本实用新型的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本实用新型技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本实用新型要求保护的范围之内。
14.本实用新型揭示了一种用于光阻涂布机型的防呆系统，该防呆系统设置于机台上，如图1和图2所示，该防呆系统包括n个电子锁1，plc控制器及操作界面2，扫码枪3，机台4，每个所述电子锁分别与plc控制器及操作界面2电性连接，所述plc控制器及操作界面分别独立地控制每个所述电子锁。所述机台上设置有化学品添加处，每个所述电子锁分别独立设置于机台化学品添加处。该防呆系统还包括抽酸管路5，所述抽酸管路的一端与化学品添加处连接，另一端与电子锁连接，所述抽酸管路将管路内的酸供应给机台使用。
15.所述plc控制器及操作界面2与扫码枪3之间电性连接并进行信号互通和交互，所述plc控制器及操作界面2还包括报警装置及具体添加化学品位置，扫码枪3在化学品上机前扫描所添加化学品的具体信息，将扫描信息传送至plc控制器及操作界面做比对判断。
16.所述电子锁1的个数为四个，分别为第一电子锁11、第二电子锁12、第三电子锁13和第四电子锁14，每个电子锁分别对应一个存储化学品的位置，第一电子锁、第二电子锁、第三电子锁和第四电子锁分别独立受plc控制器及操作界面控制。在本技术方案中，所述电子锁的个数可为多个，本实施例中不对所述电子锁的个数做具体限定。
17.所述plc控制器及操作界面还包括延时单元，所述延时单元与每个所述电子锁各自电性连接。
18.扫码开锁控制：根据扫码信息plc控制器打开对应的锁；plc控制器开锁之后做延时（可设定），延时时间到，检测相应的电子锁状态，锁无锁上相应锁报警并报警提示，直至锁锁上结束。
19.初次安装，plc控制器写入需要添加光阻的编号、tank位置、机台编号，点击plc控制器及操作界面将需要添加光阻所对应的tank位置，扫码枪扫光阻外贴编号，如信息比对正确，则电子锁解锁，光阻添加完成后，电子锁倒计时结束，电子锁关闭。
20.本技术方案在使用时，比如应当添加的是化学品a，添加位置是b，实际使用中会存在以下的错误情形：1、操作人员拿来的是化学品c，添加位置是b，防呆系统会报警提示错误；2、操作人员拿来的是化学品a，添加位置是d，防呆系统会报警提示错误；3、操作人员拿来的是化学品c，添加位置是d，防呆系统报警提示错误，正确的是操作人员拿来化学品a，添加位置是b，防呆系统才会将电子锁解锁使用。
21.该技术方案主要解决操作人员拿错化学品或添加至错误放置化学品位置位置的风险，对每台机台安装防呆系统，并将该机台所使用的化学品类型以及具体的位置写入防呆系统中，在添加化学品至机台前，需要条码机刷化学品上的条码信息，比对正确，化学品使用正确，机台对应放置化学品位置电子锁解锁，该化学品才可以上机，该防呆系统大大地降低了操作人员的出错率。
22.本实用新型尚有多种实施方式，凡采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种用于光阻涂布机型的防呆系统，其特征在于：该防呆系统设置于机台上，该防呆系统包括n个电子锁，plc控制器及操作界面，扫码枪，每个所述电子锁分别与plc控制器及操作界面电性连接，所述plc控制器及操作界面分别独立地控制每个所述电子锁，所述plc控制器及操作界面与扫码枪之间电性连接并进行信号互通和交互，所述plc控制器及操作界面还包括报警单元及具体添加化学品位置，扫码枪在化学品上机前扫描所添加化学品的具体信息，并将扫描信息传送至plc控制器及操作界面做比对判断。2.根据权利要求1所述的一种用于光阻涂布机型的防呆系统，其特征在于：所述机台上设置有化学品添加处，每个所述电子锁分别独立设置于机台化学品添加处。3.根据权利要求1所述的一种用于光阻涂布机型的防呆系统，其特征在于：所述电子锁的个数至少为两个，每个电子锁分别对应一个存储化学品的位置。4.根据权利要求3所述的一种用于光阻涂布机型的防呆系统，其特征在于：所述电子锁的个数为四个，分别为第一电子锁、第二电子锁、第三电子锁和第四电子锁。5.根据权利要求4所述的一种用于光阻涂布机型的防呆系统，其特征在于：所述第一电子锁、第二电子锁、第三电子锁和第四电子锁分别独立受plc控制器及操作界面控制。6.根据权利要求1所述的一种用于光阻涂布机型的防呆系统，其特征在于：所述报警单元与plc控制器及操作界面电性连接，并受plc控制器及操作界面控制。7.根据权利要求1所述的一种用于光阻涂布机型的防呆系统，其特征在于：所述plc控制器及操作界面还包括延时单元，所述延时单元与每个所述电子锁各自电性连接。

技术总结
本实用新型揭示了一种用于光阻涂布机型的防呆系统，该防呆系统设置于机台上，该防呆系统包括N个电子锁，PLC控制器及操作界面，扫码枪，每个所述电子锁分别与PLC控制器及操作界面电性连接，PLC控制器及操作界面分别独立地控制每个所述电子锁，PLC控制器及操作界面与扫码枪之间电性连接并进行信号互通和交互，PLC控制器及操作界面还包括报警单元及具体添加化学品位置，扫码枪在化学品上机前扫描所添加化学品的具体信息，并将扫描信息传送至PLC控制器及操作界面做比对判断。本技术方案可以避免因为人为比对错误造成的异常，及时了解产线操作人员添加光阻的真实情况，有效地防止因人员添加错误而导致产品异常发生。人员添加错误而导致产品异常发生。人员添加错误而导致产品异常发生。


技术研发人员：张祥保 何俊升
受保护的技术使用者：矽品科技（苏州）有限公司
技术研发日：2021.04.25
技术公布日：2021/11/30