摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
  • 图像形成装置的制作方法
    本发明涉及一种对应产品印刷的图像形成装置。产品印刷中,评估在市场上广泛流通的代表性记录用纸,将由印刷所需的记录用纸一组属性值汇集成的纸张详细规格目录数据库作为纸张目录进行提供(例如,参照专利文献1、2)。由此,使用者只需在操作印刷时从纸张目录中选择要使用的记录用纸,就能够基于纸张详细规格根...
  • 加热装置,带加热装置,定影装置和图像形成设备的制作方法
    本公开的实施例总体上涉及加热装置,带加热装置,定影装置和图像形成设备。作为在诸如复印机或打印机的图像形成设备中使用的加热装置,已知例如有在加热下将调色剂定影在片材上的定影装置,以及使片材上的墨水干燥的干燥装置。在这样的加热装置中,部件之间的热膨胀系数的差异可能导致部件的定位精度降低。为了解...
  • 成像系统的制作方法
    在一些配备有包括显影装置主体和显影套筒的调色剂移动机构的成像系统中,流动通道形成构件在显影装置主体的内壁与显影套筒之间沿着显影套筒的旋转方向具有细长形状,以防止显影装置主体内部的空气压力增加,并防止调色剂散落到显影装置主体的外部。附图说明图1是包括示例显影装置的示例成像设备的示意图。图2是示例显影...
  • 同时获取平行对准标记的设备和方法与流程
    相关申请的交叉引用本申请要求于2018年12月20日提交的美国申请62/782715的优先权,且该申请的全部内容以引用的方式而合并入本文中。本公开涉及使用光刻技术制造器件。具体地,本公开涉及用于检测对准标记以表征和控制半导体光刻过程的装置。光刻设备可以用于例如集成电路(ic)制造中。对于该...
  • 用于对准信号的噪声校正的制作方法
    相关申请的交叉引用本申请要求于2018年12月21日提交的美国临时专利申请号62/784,010的优先权,其通过引用整体并入本文。本公开涉及可以在例如光刻装置中被使用的量测系统。光刻装置是将期望图案施加到衬底的目标部分上的机器。例如,光刻装置可以被用于制造集成电路(ic)。在这种情况下,图...
  • 本申请发明涉及一种在使用极紫外光作为光源的光致抗蚀剂图案工艺中,用于对包括聚羟基苯乙烯(polyhydroxystyrene)的光致抗蚀剂图案进行坍塌程度改善及缺陷数减少的工艺液体;及使用其的光致抗蚀剂图案形成方法。通常,半导体通过将193nm、248nm或365nm等波长带的紫外线作为曝...
  • 量测传感器、照射系统、和产生具有能够配置的照射斑直径的测量照射的方法与流程
    相关申请的交叉引用本申请要求于2018年12月20日递交的欧洲申请18214547.4的优先权,所述申请的全部内容通过引用并入本文中。背景本发明涉及能在例如由光刻技术进行的器件制造中使用的方法和设备,并且涉及使用光刻技术来制造器件的方法。本发明更具体地涉及量测传感器。光刻设备是一种将期望的...
  • 用于计量的方法和装置与流程
    相关申请的交叉引用本申请要求于2018年12月21日提交的ep申请18215345.2和于2019年2月19日提交的ep申请19158015.8的优先权,并且通过引用将其全部内容并入本文。本发明涉及在计量中使用的方法和装置,特别是在光刻图案化工艺的计量中使用的方法和装置。在特定布置中,本发明涉及在...
  • 测量图案化过程的参数的方法、量测设备、目标与流程
    相关申请的交叉引用本申请要求2018年12月18日递交的欧洲申请18213270.4和2019年3月13日递交的欧洲申请19162436.0的优先权,这两个欧洲申请的全部内容通过引用并入本文中。本说明书涉及测量图案化过程的参数,诸如重叠或聚焦。光刻设备是将期望的图案施加至衬底上(通常施加至...
  • 用于控制制造过程的方法和相关设备与流程
    相关申请的交叉引用本申请要求于2018年12月19日提交的ep申请18214013.7和于2019年2月8日提交的美国申请62/802,866的优先权,这些申请通过引用整体并入本文。本公开涉及用于生产例如半导体器件的衬底的处理。光刻设备是一种被构造为将期望图案施加到衬底上的机器。光刻设备可...
  • 用于对图像图案分组以确定图案化过程中晶片行为的设备和方法与流程
    相关申请的交叉引用本申请要求2018年12月14日递交的美国申请62/779,637的优先权,所述美国申请的全部内容通过引用并入本文中。本文中的说明书总体上涉及掩模制造和图案化过程。更具体地,本说明书涉及用于利用经训练的机器学习模型对图案化过程中引起匹配晶片和/或晶片缺陷行为的图像图案进行分组的设...
  • 量测方法、图案形成装置、设备和计算机程序与流程
    相关申请的交叉引用本申请要求于2018年10月08日提交的欧洲专利申请18199182.9的优先权,其全部内容通过引用并入本文。本发明涉及可用于例如通过光刻技术制造器件的量测学的方法和设备,并且涉及使用光刻技术制造器件的方法。本发明进一步涉及可在这种方法中使用的图案形成装置和计算机程序产品。背景技...
  • 本发明涉及固化性树脂组合物和其干膜、它们的固化物以及具有该固化物的电子部件。在印刷电路板中,在具有电路图案的导体层的基材上形成有阻焊剂。不限定于这种阻焊剂,作为印刷电路板的层间绝缘材料、柔性印刷电路板的覆盖层等永久保护膜的材料,以往提出了各种固化性树脂组合物。各种固化性树脂组合物中,出于对...
  • 感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件与流程
    本发明涉及感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件。以往,半导体元件的表面保护膜和层间绝缘膜使用兼具优异的耐热性和电特性、机械特性等的聚酰亚胺、聚苯并唑。近年来,使用对于这些树脂本身赋予了感光特性的感光性树脂组合物,如果使用该感光性树脂组合...
  • 感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件与流程
    本发明涉及感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜以及电子部件。以往,半导体元件的表面保护膜和层间绝缘膜使用兼具优异的耐热性和电特性、机械特性等的聚酰亚胺、聚苯并唑。近年来,使用对于这些树脂本身赋予了感光特性的感光性树脂组合物,如果使用该感光性树脂组...
  • 制造隔膜组件的方法与流程
    相关申请的交叉引用本申请要求于2018年12月20日递交的ep申请18214904.7的优先权,该ep申请的全部内容以引用的方式并入本文中。本发明涉及制造隔膜组件的方法,并且涉及隔膜组件前驱体。本发明具有结合euv光刻设备和euv光刻工具的特定但非排他性的用途。光刻设备是构造成将期望的图案...
  • 采用基板对齐特征和印刷区域对齐特征的喷射控制的制作方法
    相关申请的交叉引用本申请要求在2018年12月20日提交的美国临时专利申请第62/782,442号,在2019年8月26日提交的美国临时专利申请第62/891,807号,以及在2019年12月16日提交的美国非临时申请第16/716,143号的优先权,上述申请的全部内容以引用的方式并入于此。总体上...
  • 信息投影系统、控制装置以及信息投影方法与流程
    本发明主要涉及一种信息投影系统,其用於在工作场所投影信息。过往,在进行零件的加工、涂装、组装等工作的工作场所中,已知一种使用虚拟图象来支援工作的系统。专利文献1公开了这种使用头戴式显示器(以下称为hmd)的系统。在专利文献1中,作为示例显示了一种系统,其用于支援在主体零件上组装筒状零件的工...
  • 透镜单元和摄像机模块的制作方法
    本发明涉及例如可构成汽车等车辆中搭载的车载摄像机的透镜单元和摄像机模块。以往,在汽车中搭载有车载摄像机来辅助驻车,并通过图像识别来防止碰撞,进而尝试将这种方式用于自动驾驶。另外,这种车载摄像机等的摄像机模块通常具备透镜单元,该透镜单元具有:由多个透镜沿着光轴排列而成的透镜组、容纳保持该透镜...
  • 用于制造图案化SrB4BO7和PbB4O7晶体的方法与流程
    发明背景本公开涉及具有带有交替极性的体积周期性结构域/孪晶结构的四硼酸锶(srb4o7或sbo)和四硼酸铅(pbb4o7或pbo)晶体,制造这些晶体的方法,以及包含本发明的晶体的高功率固态激光器。激光器对于许多技术进步的发展起关键的作用。为了解决材料加工行业、医药、数据存储、光通信、娱乐和...
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