微观装置的制造及其处理技术
  • 一种MEMS传感器及其制作方法与流程
    本发明涉及mems(micro-electro-mechanical system,即微机电系统),尤其涉及一种mems传感器及其制作方法。、、常见的mems结构使用绝缘体氧化物如氧化硅作为阻挡块以限制mems运动,但绝缘体在碰撞过程中将积累大量电荷并产生静电力,静电力将牵...
  • 封装产品及电子设备的制作方法
    本发明涉及胎压监测,尤其涉及一种封装产品及电子设备。、轮胎压力监测系统(tpms,英文全称:tire pressure monitoring system)是在汽车形式过程中对轮胎气压进行实时自动监测,并对轮胎漏气和低气压进行报警,以确保行车安全。现有的tpms器件采用四平面无引线(qfn...
  • 一种检测器件及其制备方法、传感装置与流程
    本申请涉及微机电机械系统领域,尤其涉及一种检测器件及其制备方法、传感装置。、压力传感器是一种能够将压力信号转换为电信号的器件,可以包括压阻式、电容式、谐振式、压电式等四种类型。其中,压力传感器中的空腔结构的尺寸精度与压力传感器的测试精度息息相关;、相关技术中,在制备压力传感器时,在空腔结构...
  • 一种基于半导体薄膜的压力传感器芯片及其制备方法与流程
    本申请涉及半导体器件制备,尤其涉及一种基于半导体薄膜的压力传感器芯片及其制备方法。、目前,压力传感器在电子信息、医疗和机器人等领域具有重要作用。压力传感器的结构多种多样,就其响应特性来说,大致可以分为压阻响应型、电容响应型、压电响应型和摩擦起电响应型四种类型。不论是哪一种柔性压力传感器,其...
  • 一种大高宽比硅纳米锥阵列的制造和湿法锐化方法与流程
    本发明属于纳米材料制备与应用,尤其涉及一种大高宽比硅纳米锥阵列的制造和湿法锐化方法。、随着半导体工业的飞速发展,硅纳米结构已成为科学、医学和工程领域中最广泛研究的方向之一,在这些结构中,硅纳米锥阵列已成为各种研究应用的焦点,应用范围涵盖了场发射x射线、太阳能电池、光学传感器、纳米针以及各种...
  • 适用于MEMS传感器的低应力封装结构的制作方法
    本技术涉及一种mems芯片封装技术,尤其涉及一种针对mems芯片减低残余应力影响的封装结构。、mems芯片是指微机电系统(micro-electro-mechanical systems)芯片,也被称为微机电系统集成电路。它通过微纳制造技术将微小的机械部件制造在芯片表面上,并与电路元件相互...
  • 光学系统、光刻装置与方法与流程
    本发明是关于一种光学系统、一种具有此光学系统的光刻装置、以及一种用于制造此光学系统的方法。相关申请的交互引用优先权申请案de    .的内容整个并入本文供参考。、微光刻技术用于产生微结构部件,诸如,例如集成电路。微光刻技术制程是利用具有照明系统和投射系统的光刻装置来实施。借助于照明系统所照...
  • 一种MEMS传感器及其制作方法与流程
    本发明涉及mems(micro-electro-mechanical system,即微机电系统),尤其涉及一种mems传感器及其制作方法。、、常见的mems结构使用绝缘体氧化物如氧化硅作为阻挡块以限制mems运动,但绝缘体在碰撞过程中将积累大量电荷并产生静电力,静电力将牵...
  • 用于求取MEMS设备的动态参数的方法和装置以及MEMS设备与流程
    当前所述发明涉及一种用于确定微机电(mems)设备动态参数的方法和用于确定微机电装置动态参数的装置。此外,本发明涉及一种mems设备。、mems系统可用于测量加速度、旋转率、磁场、压力等诸如此类的测量。在de    b中已知一个示例性压力传感器设备。此类系统可以包含机械或电子元件,所述元件...
  • 一种MEMS微加热器及其制备方法与流程
    本申请涉及半导体光电,特别涉及一种mems微加热器及其制备方法。、基于微电子机械系统(microelectromechanical systems,mems)的微型加热器具有体积小、响应速度快、功率低、与半导体工艺兼容等方面的优势,在热疗法、药物输送、液体雾化、气体传感、压力传感、湿度传感...
  • 一种半导体结构及其制备方法与流程
    本发明实施例涉及半导体,尤其涉及一种半导体结构及其制备方法。、采用微机电系统(micro-electro-mechanical system,mems)加工工艺,基于压电薄膜而制备的mems压电器件,具有体积小、重量轻、灵敏度高、集成度高、成本低等优点,成为研究和使用的重点。、但是,目前m...
  • 直流电场诱导制备图案化纳米线阵列的方法
    本发明属于纳米材料制备,具体的涉及一种直流电场诱导制备图案化纳米线阵列的方法。、纳米粒子的调控组装是纳米科技发展的重要组成部分,是探索纳米材料性能及其应用的基础。诺贝尔奖获得者feynman曾经预言:“如果我们对物体微小规模上的排列加以某种控制,就能使物体得到大量异乎寻常的特性,材料的性能...
  • 微型MEMS红外传感器及其制备方法
    本发明涉及微电子机械系统,特别涉及一种微型mems红外传感器及其制备方法。、近年来,随着微电子系统(mems,micro-electro-mechanical system)技术快速发展,mems红外传感器可用于温度、气体等高性能检测,因而是一种广泛应用技术之一。其工作原理是利用特殊的滤光...
  • 具有经改善的功耗的微机电传感器装置的制作方法
    本公开涉及具有经改善的功耗的微机电(mems)传感器装置。、以已知的方式,mems传感器装置具有被定义为“超低功耗”应用的多个应用,在这些应用中,例如在移动设备中,特别是可穿戴设备或可听设备(诸如电子手表或表带或手镯、耳机、智能隐形眼镜、智能笔等)中,期望极低的功耗。、在这样的应用中影响m...
  • 一种电路封装结构及惯性测量单元的制作方法
    本技术涉及电路封装,具体而言,涉及一种电路封装结构及惯性测量单元。、在传统惯性测量单元设计中,由于mems传感器管壳一般为陶瓷材质,将芯片焊接在基板上后,在高低温环境下,传感器管壳与基板热膨胀系数不同,会导致传感器受到热应力影响,从而产生噪声,影响正常数据输出。且基板的膨胀也会导致各元器件...
  • 一种六边形纳米金环围绕的圆形孔阵列的制备方法及载片与流程
    本发明涉及光电材料领域,特别涉及一种六边形纳米金环围绕的圆形孔阵列的制备方法及载片。、目前,金纳米结构阵列和孔相关的纳米结构阵列分别是逐步通过传统的光刻技术进行的,即通过沉积、涂胶、曝光、显影、刻蚀五步完成孔阵列的制备,并且需要多次循环上述五步的过程来完成金纳米结构阵列,导致传统的方法非常...
  • 一种二维材料表面褶皱阵列结构的制备方法
    本发明涉及二维材料与微纳加工;尤其涉及一种二维材料表面褶皱阵列结构的制备方法。、二维材料的褶皱是指在二维材料表面或结构中形成的皱纹、褶皱或波纹。这些褶皱结构可以是在实验过程中自发形成的,也可以是通过人工手段制备的。二维材料的褶皱结构对其性能和应用具有重要影响,包括其机械性能,光学性能,电子...
  • 功能性膜的制造方法和功能性膜与流程
    本发明涉及功能性膜的制造方法和功能性膜。本发明特别涉及能够以少量的掩模形成次数形成耐摩擦性强、高耐久性且超疏水性的微细凹凸结构并能够谋求削减成本的功能性膜的制造方法等。、至今为止,不存在耐摩擦性优异的凹凸结构。一般来说,人眼不可见的凹凸结构是微细的,因此不具备摩擦等的耐久性。、例如,在利用...
  • 一种MEMS传感器嵌入式封装结构的制作方法
    本技术涉及传感器,具体涉及一种mems传感器嵌入式封装结构。、随着物联网技术的蓬勃发展,传感器的应用逐步普及,mems传感器(加速度传感器,陀螺仪,压力传感器等等)在诸如消费领域,工业类及汽车电子领域的应用越来越广泛。但是,相较于其它ic芯片,mems芯片有如下两点特殊性()mems产品内...
  • 一种用于调谐和/或激励的多层结构及其使用方法与流程
    本发明属于微电子器件,特别涉及一种用于调谐和/或激励的多层结构及其使用方法。、微机电系统(micro electromechanical system,简称mems)和纳机电系统(nanoelectromechanical systems,简称nems)都是近年来发展迅速的一种微小型化、集...
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