微观装置的制造及其处理技术
  • 一种微机电器件的制备方法、及微机电器件与流程
    本申请涉及微机电器件,具体而言,涉及一种微机电器件的制备方法、及微机电器件。、微机电器件(mems,micro-electro-mechanical system),其内部结构一般在微米甚至纳米量级,现阶段,由于湿法刻蚀具有低成本、高选择比和大通量等特点,被广泛应用于制造微机电器件,但在湿...
  • 一种基于热泳实现持续周期运动的纳米装置
    本发明涉及纳米马达领域,具体为一种基于稳定温度梯度场下的定向热泳力实现可控的持续周期运动的纳米装置。、自古以来,人类的各种生产工作、生活娱乐都离不开“驱动”二字,即通过一定作用方式使得目标对象产生定向运动。这种能够将周围环境中的外部能量场或化学反应能转化为机械能从而产生驱动的装置常被称为马...
  • 传感器制备方法及传感器与流程
    本发明涉及传感器制备,特别是涉及一种传感器制备方法及传感器。、随着科技的发展和社会的不断进步,惯性类传感器的种类也越来越多,例如mems(micro electro mechanical system,微机电系统)加速计、陀螺仪或者imu(inertialmeasurement unit,...
  • 一种基于桥式谐振器的微运输装置构建方法与流程
    本发明属于微机电运输装置领域,具体涉及一种基于桥式谐振器的微运输装置构建方法。、近年来,对微型机电系统的需求持续上升,人们追求拥有更多传感器、执行器和处理器等功能丰富设备的同时,也要求其保持相同的缩小尺寸。小型化可以使这些系统达到所需的集成水平,通过缩小组件尺寸以增加其密度,同时提高其能源...
  • 一种微机电器件的制备方法、及微机电器件与流程
    本申请涉及微机电器件,具体而言,涉及一种微机电器件的制备方法、及微机电器件。、微机电器件(mems,micro-electro-mechanical system),其内部结构一般在微米甚至纳米量级,制备微机电器件的过程中,通常需要进行湿法刻蚀工艺,以在微机电器件上形成所需图形,但在湿法刻...
  • 基于柔性基底的穿针引线法制备微/纳米线电极的方法
    本发明属于微电极制备领域,具体涉及一种基于柔性基底的穿针引线法制备微/纳米线电极的方法。、随着纳米技术的发展,微/纳米线电极由于在选择性和灵敏度方面的优势为微环境的研究提供了机会。具有高长径比和小直径的微/纳米线可实时监测和量化细胞内的生物过程,并对细胞产生最小的侵袭,同时保持细胞活性。尽...
  • 一种用于环向持续输运纳米物体的装置及驱动方法
    本发明涉及纳米驱动设备领域,具体为一种可实现环向持续输运纳米物体的装置及驱动方法。、在固体表面驱动纳米物体实现环向持续输运对于生物传感、纳米发电机的设计与制造及纳米尺度的定向物质输运等领域具有重要意义。然而,目前的驱动装置及方法难以在固体表面产生持续的、稳定的环向运动。并且受到被驱动物体的...
  • 样品台和具有它的微纳加工装置的制作方法
    本技术涉及微纳加工,具体而言,涉及一种样品台和具有它的微纳加工装置。、随着人们对产品的加工精度越来越高,微纳加工技术获得快速发展,高精密运动的样品台是微纳加工系统中非常重要的部件。、在相关技术中,样品台在驱动承载样品的托盘运动时定位不精准,托盘运动的绝对精度、重复定位精度差,样品台的精密性...
  • 微机电系统致动器和电子系统的制作方法
    本公开涉及对拉入有弹性的长冲程mems致动器以及包括该长冲程mems致动器的电子系统。、众所周知,现在微机电(mems)致动器是可用的。例如,图a示出了由mems致动器实现的致动图。、详细地,mems致动器包括与mems致动器的衬底(未示出)集成的定子区域,以及形成所谓的梭和转子致动区域的...
  • 传感器和电子设备的制作方法
    本申请涉及传感器,特别是涉及一种传感器和电子设备。、随着科技的发展和社会的不断进步,惯性类传感器的种类也越来越多,例如mems(micro electro mechanical system,微机电系统)加速计、陀螺仪或者imu(inertialmeasurement unit,惯性测量单...
  • 一种自封装温度自监测热红外发射芯片
    本技术涉及领域,尤其涉及一种自封装温度自监测热红外发射芯片。、红外发射芯片是红外应用系统组成中的核心元器件。按红外光产生方式分为三类,分别是激光器、红外发光二极管、红外热发射器。其中红外热发射器以其结构区别,可以被划分为两类,传统的体结构发射器和基于mems技术制备的薄膜型红外发射器。红外...
  • 一种可以利用光学牵引力实现光学自组装的方法
    本发明涉及利用光学力对微观粒子进行操控领域,具体涉及一种可以利用光学牵引力实现光学自组装的方法。、光学自组装是指纳米或微米级的小颗粒耦合在一起的现象,它是由散射和背景电磁场与颗粒之间的相互作用引起的。散射光与背景入射光干涉,重新分配颗粒周围的电磁场,进而改变光力,将颗粒耦合在一起。由于具有...
  • 一种MEMS器件的应力隔离封装结构的制作方法
    本发明属于mems芯片封装领域,具体是一种mems器件的应力隔离封装结构。、mems(micro-electro-mechanical systems)是微机电系统的缩写,mems制造技术利用微细加工技术,特别是半导体圆片制造技术,制造出各种微型机械结构,结合专用的控制集成电路(asic)...
  • 具有腔体的硅基板以及使用了该硅基板的腔体SOI基板的制作方法
    本技术涉及用于mems(microelectro mechanical systems,微机电系统)器件等的具有腔体的硅基板以及使用了该硅基板的腔体soi(silicon on insulator,绝缘体上的硅)基板。特别是,涉及通过硅氧化膜将具有腔体的第硅基板和第硅基板进行了接合的腔体soi基板...
  • 用于由二氧化碳制备碳纳米材料纤维和纺织品的设备、系统和方法以及其材料和材料和产品与流程
    本公开涉及使用电解工艺制造产品。具体地,本公开涉及由使用电解工艺分解的二氧化碳制造碳纳米材料纤维产品的方法。、纤维有许多用途,包括但不限于制成纺织品、织物、布料、线和网。纤维的一个特别有用的性质是它们可以缝合、打结和/或缝纫在一起以用于各种形状和修复。纤维和纺织品的另一个有用性质是它们可以...
  • 一种压阻式压力传感器压敏电阻的制作方法
    本发明涉及mems传感器和mems工艺领域,具体涉及一种mems压阻式压力传感器压敏电阻的制作方法。、在mems压力传感器及工艺领域中,压阻式压力传感器因其具有结构简单、工艺简单、有显著的温度系数、易于测量、易于集成、稳定性好等在mems压力传感器中占有领先的应用份额。其中,传感器的压敏电...
  • 超声处理纳米几何形状控制过程和方法与流程
    本公开一般地涉及用于显示视觉信息的系统和方法,具体地说,涉及用于显示增强现实或混合现实环境中的视觉信息的目镜。更具体地说,本公开涉及制造在用于显示增强现实或混合现实环境中的视觉信息的目镜中使用的光栅的系统和方法。、虚拟环境在计算环境中无处不在,在视频游戏(其中,虚拟环境可以表示游戏世界);...
  • 一种基于同轴结构的离子凝胶复合微纳米纤维柔性双功能传感器及其制备方法和应用
    本发明涉及柔性传感与监测,尤其涉及一种基于同轴结构的离子凝胶复合微纳米纤维柔性双功能传感器及其制备方法和应用。、柔性传感器是电子设备感知外界变化刺激的媒介,是获取环境信息的桥梁,在柔性电子、可穿戴设备、软体机器人器械等领域有大量应用需求。传感器通常依据其探测信号功能进行划分,包括但不限于应...
  • 在基板上形成悬空的微细结构的方法与流程
    本发明属于半导体器件设计和制造领域,特别是涉及一种在基板上形成悬空的微细结构的方法。、有些半导体器件,特别是有些微机电系统(mems:micro electro mechanicalsystems)器件,依赖器件某些结构的震动进行工作,例如具有震动部件的mems加速度传感器、陀螺仪,震动部...
  • 微机电装置及其制造方法与流程
    本发明涉及微机电(mems)装置,特别涉及包含停止部件的微机电装置及其制造方法。、微机电(mems)装置是整合机械性组件和电性组件,以感测物理量和/或与周围环境交互作用的微型装置。近年来,微机电装置在微电子产业上越来越普遍,举例而言,微机电装置可作为微型传感器,例如动作传感器、压力传感器、...
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