微观装置的制造及其处理技术
  • 空腔SOI基板的制作方法
    空腔soi基板.本实用新型涉及一种用于mems(microelectromechanicalsystems,微机电系统)器件等的、通过硅氧化膜将具有空腔的第一硅基板与第二硅基板接合的空腔soi(c-soi基板)。.公开了如下结构:形成可动部等的器件的绝缘体上硅(silicon...
  • 一种制备交叉堆叠的异质结构阵列的方法与流程
    .本发明涉及化学,具体涉及一种制备交叉堆叠的异质结构阵列的方法。.在同一个基底上集成多种具有不同物理性质的光电功能材料,形成异质结构的制备,是构筑多功能、高性能的微纳集成复合器件的必要手段,也是实现微电子与光电子技术协同的基石。目前多组分异质结构的制备和应用主要集中在体相结构和薄膜...
  • 基于高深宽比二氧化硅微纳结构的光学调制器的制备方法与流程
    .本公开涉及微纳机电系统制造,特别涉及一种基于高深宽比二氧化硅微纳结构的光学调制器的制备方法。.无镜头成像技术,由于其具有更轻薄、更集成、更低成本、更稳定等优势,已成为了视觉检测设备的重要发展方向。现有的无镜头技术尝试采用编码掩模、衍射光学元件、光学调制器等光学器件替代物理镜头完成...
  • 一种预应变辅助的褶皱形式微纳结构制造装置及方法
    .本发明涉及微纳结构制造,具体涉及一种预应变辅助的褶皱形式微纳结构制造装置及方法。.这里的陈述仅提供与本发明相关的,而不必然地构成现有技术。.褶皱结构是一种特殊的正弦状微纳结构,对于硬质薄膜-柔软基底系统,当内部应力积累,表面失稳产生褶皱图案。在柔性电子器件、仿生功能表面、...
  • 一种微珠芯片离心制备方法与流程
    .本发明涉及生物芯片,具体地说,是一种微珠芯片离心制备方法。.伴随着近年来国内基因检测行业的迅速发展,高密度基因芯片凭借其检测灵敏度、可靠性及便捷性,目前已广泛用于各个相关领域。.高密度基因芯片的测序原理是杂交测序方法,即通过与一组已知序列的核酸探针杂交进行核酸序列测定的方法。高密...
  • 半导体组件及其切割方法、滤波器及电子设备与流程
    .本发明的实施例涉及半导体领域,尤其涉及一种半导体组件、一种半导体组件的切割方法,一种具有该半导体组件的滤波器,以及一种具有该滤波器的电子设备。.电子器件作为电子设备的基本元素,已经被广泛应用,其应用范围包括移动电话、汽车、家电设备等。此外,未来即将改变世界的人工智能、物联网、g通讯等技术...
  • 微电光的射束引导构件、用于制造所述引导构件的方法和包括所述引导构件的系统与流程
    .本发明涉及一种微电光的射束引导构件、一种用于制造微电光的射束引导构件的方法和一种包括微电光的射束引导构件的系统。.已经提出微电光的射束引导构件。发明内容.提出一种微电光的射束引导构件、尤其是分束器或者射束合并器,该微电光的射束引导构件具有至少一个第一主表面、具有至少一个第二主表面、具有主...
  • 密封的玻璃封装件的制作方法
    .本发明尤其涉及一种多层的玻璃封装件以及一种用于提供这种玻璃封装件的方法。.封装件,其尤其可以是密封的,可以例如用于保护如敏感性电子器件、电路、光学和光电组件(例如oled)以及传感器。医疗植入物例如可以用在心脏区域中、视网膜中或用于生物处理器。已知并且使用由钛制成的生物处理器。另一方面,...
  • 一种边缘受压屈曲的结构超滑器件及其制备方法
    .本申请涉及超滑,特别是涉及一种边缘受压屈曲的结构超滑器件及其制备方法。.结构超滑是指两个原子级光滑且非公度接触的范德华固体表面(如石墨烯、二硫化钼等二维材料表面)之间摩擦、磨损几乎为零的现象。目前,结构超滑器件中的超滑片大多为片状或岛状,超滑片与基底接触并相对运动时,超滑片下表面...
  • 一种应力驱动边缘翘曲的结构超滑器件及其制备方法
    .本申请涉及超滑,特别是涉及一种应力驱动边缘翘曲的结构超滑器件及其制备方法。.结构超滑是指两个原子级光滑且非公度接触的范德华固体表面(如石墨烯、二硫化钼等二维材料表面)之间摩擦、磨损几乎为零的现象。目前,结构超滑器件中的超滑片大多为片状或岛状,超滑片与基底接触并相对运动时,超滑片下...
  • 具有背侧引脚孔释放和重新密封的微机电系统(MEMS)器件的制作方法
    具有背侧引脚孔释放和重新密封的微机电系统(mems)器件.微机电系统(mems)器件可用于广泛的应用,例如传感器或致动器。mems器件可以被制造在衬底上。mems器件对垂直应力和横向应力(例如封装引起的应力)很敏感,并且可能会受到从衬底传来的热量的影响。发明内容.在一个示例中,一种器件包括...
  • 包括非衍生化激素在内的醇溶性物质的微乳液递送体系的制作方法
    包括非衍生化激素在内的醇溶性物质的微乳液递送体系.相关申请的引用.本申请要求年月日提交的题为“包括非衍生化激素在内的醇溶性物质的微乳液递送体系”的美国临时申请no./,的权益,通过引用的方式将其整体并入本文。.激素替代疗法(hrt)被广泛用于治疗由于衰老或对内分泌系统的病理影响而引起的激素...
  • 测试仪器及其测试方法与流程
    .本申请涉及一种测试仪器及其测试方法,特别是涉及一种能够提高检测效率和质量的测试仪器及其测试方法。.微机电系统(microelectromechanicalsystems,mems)声换能器通常在半导体制造过程中以晶片(wafer)形式制造。在半导体制造过程后,晶片在一单一化/切割过程(...
  • 一种采用脉冲型声波调整单层纳米微球阵列的方法与流程
    .本发明属于微纳米结构制备的,具体涉及一种采用脉冲型声波调整单层纳米微球阵列的方法。.纳米球光刻(nsl)是利用高度单分散的纳米球作为沉积或刻蚀掩模,结合物理或化学方法沉积得到形貌、尺寸可控的纳米阵列掩模板,是一种简便、经济而有效的光刻技术。nsl技术通常利用的模板有:密排六方纳米...
  • 半导体装置的制作方法
    .本申请涉及半导体,具体涉及半导体装置。.目前部分mems(micro-electro-mechanicalsystem,微机电系统)相关产品包括外露的mems晶片,mems晶片包括外露在产品外的感测区,用于接收来自外界的信号,例如声音、振动和气体等。除了mems晶片的感测区以外...
  • 微电子部件、电子设备和微电子部件的制备方法与流程
    .本申请涉及微电子集成电路的领域,尤其涉及微电子部件、电子设备和微电子部件的制备方法。.微电子机械系统(micro-electro-mechanicasystem,mems)技术是一种先进的制造技术,具有微小、可执行、可集成和工艺兼容性好等诸多优点,广泛应用于诸多高新技术产业。微电子部件...
  • 一种用于晶圆级MEMS真空封装的金属扩散吸附系统的制作方法
    一种用于晶圆级mems真空封装的金属扩散吸附系统.本实用新型涉及传感器领域,特别涉及一种用于晶圆级mems真空封装的金属扩散吸附系统。.为了在于陀螺仪,振荡器,薄膜谐振器以及红外,压力传感器等器件的吸附应用需求中,实现与氧气,氢气,氮气,碳水化合物,水汽等反应,吸附键合后真空腔的...
  • 一种组合多功能传感器集成方法及系统与流程
    .本发明涉及测量系统,尤其涉及一种组合多功能传感器集成方法及系统。.目前传感器的性能比较单一,终端产品往高性能、小型化发展、低成本发展,为了契合终端需求,发明一款多性能组合传感器,不仅可以解决采用多个单一传感器复杂电路设计的问题,也可节省终端设备小型化的问题。例如,智能家居产品需具...
  • 基于可伐合金的MEMS惯性器件低应力封装结构及方法
    基于可伐合金的mems惯性器件低应力封装结构及方法.本发明属于微机电,特别是一种基于可伐合金的mems惯性器件低应力封装结构及方法。.微机电系统(micro-electro-mechanicalsystems,mems)是一种将电和机械集成的微器件或微系统。mems沿用集...
  • 微针芯片及其制备方法与流程
    .本发明属于器械,涉及一种微针芯片及其制备方法。.皮肤含水量检测、皮肤酸碱度度检测等皮肤检测,目前都是通过在皮肤表面进行测试,以推算出皮肤各参数状态,其检测原理均为根据皮肤表面测量结果进行推算获得皮肤状态,因此,这种采用皮肤表面检测的结果受环境影响较大,测试准确性较低。.目前射频、...
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